液晶阵列检查装置及液晶阵列检查装置的信号处理方法制造方法及图纸

技术编号:10384980 阅读:208 留言:0更新日期:2014-09-05 11:53
本发明专利技术在从由扫描图像而获得的检测像素坐标检测与各像素相对应的检测像素坐标时,减少检测像素坐标的误检测。本发明专利技术涉及一种信号处理,该信号处理用来在液晶阵列检查中通过将对应于液晶基板上的阵列的像素与从扫描图像而获得的检测像素的坐标建立对应关系,而指定用于阵列检查的像素,所述液晶阵列检查是对液晶基板施加规定电压的检查信号而驱动阵列,且扫描对液晶基板照射电子射线而获得的二次电子,基于通过该扫描而获得的扫描图像来检查液晶基板的阵列,且本发明专利技术在液晶基板上的像素与从扫描图像而获得的检测像素坐标的对应关系中,使用在列内的检测像素坐标连续的坐标列代替先前的列方向的两端的检测像素坐标作为成为基准的检测像素坐标。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】本专利技术在从由扫描图像而获得的检测像素坐标检测与各像素相对应的检测像素坐标时,减少检测像素坐标的误检测。本专利技术涉及一种信号处理,该信号处理用来在液晶阵列检查中通过将对应于液晶基板上的阵列的像素与从扫描图像而获得的检测像素的坐标建立对应关系,而指定用于阵列检查的像素,所述液晶阵列检查是对液晶基板施加规定电压的检查信号而驱动阵列,且扫描对液晶基板照射电子射线而获得的二次电子,基于通过该扫描而获得的扫描图像来检查液晶基板的阵列,且本专利技术在液晶基板上的像素与从扫描图像而获得的检测像素坐标的对应关系中,使用在列内的检测像素坐标连续的坐标列代替先前的列方向的两端的检测像素坐标作为成为基准的检测像素坐标。【专利说明】
本专利技术涉及一种使用对液晶基板上进行拍摄而获得的拍摄图像来检查液晶阵列(array)的液晶阵列检查装置,尤其是涉及检查对象的像素(pixel)的坐标位置的指定。
技术介绍
在液晶阵列检查装置中,可使用扫描图像,该扫描图像是使电子束(EIectronBeam)或离子束(1n Beam)等带电粒子束在基板上二维地扫描而获得。例如,在用于薄膜晶体管(Thin Film Transistor,TFT)显示装置的TFT阵列基板的制造步骤中,检查所制造的TFT阵列基板是否正确地驱动,在该TFT阵列基板检查中,例如使用电子束作为带电粒子束来扫描TFT阵列基板,由此取得扫描图像,并基于该扫描图像进行检查。(专利文献1、专利文献2)例如,已知一种阵列检查装置,该阵列检查装置是对检查对象的液晶基板的阵列施加检查信号,且使电子束或离子束等带电粒子束在基板上进行二维地扫描,基于通过射束扫描而获得的扫描图像进行基板检查。在阵列检查中,利用光电倍增管(photomultiplier)等将通过照射电子射线而释放的二次电子(Secondary Electron)转换成模拟信号(analog signal)进行检测,并基于该检测信号的信号强度判定阵列缺陷。阵列检查是检测扫描图像上的像素位置,并基于检测出的像素位置上的扫描图像的信号强度而进行。像素位置的检测是通过以下方式进行,即,对扫描图像进行图像处理而检测像素坐标,且配合设定在液晶基板的像素配置来排列所检测出的像素坐标。在扫描图像上的像素位置的检测中,存在如下情况:因载置液晶基板的平台(stage)的移动误差或电子束的照射位置的偏移等,导致在扫描图像上的像素位置产生位置偏移,而产生以下不妥,即,相对于所设定的像素位置不同的像素建立对应关系。为了避免因该像素位置的位置偏移而导致的不妥,在像素坐标的排列中,将检测出的像素坐标排列为像素配置,以便所设定的像素位置与像素的对应关系中不会产生偏移。该像素坐标的排列是针对像素排列的每一列进行。此处,像素排列的列与电子束的扫描方向相对应,通过在像素排列的每一列中排列像素坐标,而避免在同一平台位置使电子束扫描时的位置偏移。排列是通过以下方式进行,即,算出最前列(第一列)的像素坐标位置,第二列或者第二列以后的像素坐标位置是基于在最前列算出的坐标位置而算出,且从检测像素坐标中搜索位于算出的各列像素坐标位置附近的检测坐标。图17是用来说明先前的液晶阵列检查的顺序的流程图(flow chart)。在图17的流程图中,对液晶基板上进行扫描而取得扫描图像(S10),从所取得的扫描图像检测像素,而取得检测像素坐标。像素的检测可根据扫描图像的检测信号的信号强度进行。另外,检测像素坐标可根据取得检测信号时的平台的位置或电子束的照射位置等而取得(S20)。为了进行像素坐标的排列而算出搜索用像素坐标(S30、S40),基于算出的搜索用像素坐标来搜索检测像素坐标(S50),并使用与搜索到的检测像素坐标相对应的检测像素进行检查(S60)。在算出搜索用像素坐标中,首先算出最前列(第一列)的搜索用像素坐标(S30),接着算出第二列或者第二列以后的搜索用像素坐标(S40)。最前列(第一列)的搜索用像素坐标是使用列方向(X方向)的检测像素坐标中的两端的检测像素坐标而算出,第二列或者第二列以后的搜索用像素坐标是通过对第一列搜索用像素坐标加上I方向的间距(pitch)而算出。图18、图19是用来说明第一列搜索用像素坐标的算出的流程图及说明图。首先,根据扫描图像的检测信号取得检测像素坐标。例如,根据扫描图像的白色部分(高信号强度部)的检测像素的坐标取得。图19 (a)以十字记号表示检测像素的坐标位置(S31)。在检测出的检测像素坐标内,对列方向的检测像素坐标进行霍夫转换(houghtransform),算出通过这些检测像素坐标的直线。图19 (b)表示通过霍夫转换而求出的直线(S32)。算出位于直线附近的检测像素坐标内的列方向的两端的检测像素坐标的坐标值。图19 (c)中的圆形记号表示两端的检测像素坐标(S33)。基于算出的左右两端的检测像素坐标算出最前列(第一列)的搜索用像素坐标。图19 Cd)中的X记号表示搜索用像素坐标。搜索用像素坐标例如可通过使左右两端的检测像素坐标与列方向(X方向)的间距Δχ相加或相减而算出。图19 (e)表示使用所获得的搜索用像素坐标(图中的X记号)搜索检测像素坐标的状态,对搜索用像素坐标附近的检测像素坐标进行搜索。图中以虚线表示的圆形记号表示搜索用像素坐标附 近的区域。附近区域的范围例如可由所述圆形记号的直径决定。图19(f )中的虚线内的检测像素坐标表示通过搜索而获得的检测像素坐标(S34)。接着,基于第一列搜索用像素坐标,加上y方向的间距Ay,由此算出第二列或者第二列以后的搜索用像素坐标(S35)。搜索位于算出的搜索用像素坐标附近的检测像素坐标(S36)。
技术介绍
文献专利文献专利文献1:日本专利特开2004-271516号公报专利文献2:日本专利特开2004-309488号公报
技术实现思路
如上所述,在算出最前列(第一列)的搜索用像素坐标时,以列方向的两端的检测像素坐标的坐标值为基准。此时,会产生如下情况,即,列方向的两端的检测像素位置因扫描图像的失真或不均而导致其中一端部检测另一列的像素。这样,若列方向的两端的检测像素位置的其中一个误检测另一列的像素,且基于该误检测出的像素的像素坐标算出搜索用像素坐标,那么最前列(第一列)的搜索用像素坐标中会产生误差。若使用含有误差的搜索用像素坐标搜索检测像素坐标,那么会产生无法正常地进行像素位置的检测的问题。图20是用来说明检测像素坐标的误检测的图。图20表示与图19相同的状态,且表示在最前列(第一列)的左端的检测像素位置存在位置偏移的情况。图20 (C)表示如下情况:在根据位于直线附近的检测像素坐标算出列方向的两端的检测像素坐标的坐标值时,在左端将第二列检测像素坐标作为附近的检测像素坐标而检测出。在误检测出另一列的检测像素坐标作为左端的检测像素坐标的情况下,如图20(d)所示般算出错误的搜索用像素坐标。图20 (d)表示列的左方的搜索用像素坐标产生了位置偏移的状态。由此,检测出检测像素坐标的第二列的像素坐标,而无法进行正常的像素位置的检测。图20 (e)表示使用所获得的搜索用像素坐标(图中的X记号)搜索检测像素坐标的状态,对搜索用像素坐标附近的检测像素坐标进行搜索。图20 (f)的本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种液晶阵列检查装置的信号处理方法,对液晶基板施加规定电压的检查信号而驱动阵列,且扫描对所述液晶基板照射电子射线而获得的二次电子,基于通过所述扫描而获得的扫描图像来检查液晶基板的阵列,所述液晶阵列检查装置的信号处理方法的特征在于包括:搜索用像素坐标步骤,从扫描图像中的二维排列像素求出检测像素坐标在列方向上连续的坐标列,且以所述坐标列为基准,求出用来搜索列方向的检测像素坐标的搜索用像素坐标;以及检测像素坐标步骤,通过比较所述搜索用像素坐标与所述检测像素坐标的坐标,而检测出所述搜索用像素坐标附近的检测像素坐标,并搜索列方向的检测像素坐标;且将所述搜索到的检测像素坐标的检测像素作为检查对象像素进行阵列检查。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员:永井正道
申请(专利权)人:株式会社岛津制作所
类型:发明
国别省市:日本;JP

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