层叠部件的制造方法技术

本发明专利技术提供一种制造层叠部件的制造方法，该制造方法能够得到在薄的树脂膜上具备功能层的层叠部件，并且既考虑到该制造过程中的操作性，又抑制了对功能层品质的影响。一种层叠部件的制造方法，是将卷绕成筒状的长条的基材膜沿长边方向导出并进行成膜处理，根据需要进行图案形成处理，在基材膜上形成功能层而制造层叠部件的方法，上述基材膜具备在支承材料上涂布聚酰胺酸溶液并使其酰亚胺化而成的聚酰亚胺层，在该聚酰亚胺层侧形成功能层后，利用聚酰亚胺层与支承材料的界面分离除去支承材料，将基材膜薄壁化。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供一种制造，该制造方法能够得到在薄的树脂膜上具备功能层的层叠部件，并且既考虑到该制造过程中的操作性，又抑制了对功能层品质的影响。一种，是将卷绕成筒状的长条的基材膜沿长边方向导出并进行成膜处理，根据需要进行图案形成处理，在基材膜上形成功能层而制造层叠部件的方法，上述基材膜具备在支承材料上涂布聚酰胺酸溶液并使其酰亚胺化而成的聚酰亚胺层，在该聚酰亚胺层侧形成功能层后，利用聚酰亚胺层与支承材料的界面分离除去支承材料，将基材膜薄壁化。【专利说明】
本专利技术涉及，详细而言涉及将长条的基材膜沿长边方向导出并形成规定的功能层后，分离除去基材膜的一部分使其薄壁化而得到层叠部件这样的。
技术介绍
例如，液晶显示装置、有机EL显示装置等显示装置用于以电视机这种大型显示器，手机、个人计算机、智能手机等小型显示器为代表的各种显示器用途。其中，例如，有机EL显示装置是在玻璃基板上形成薄膜晶体管(以下，TFT)，再依次形成电极、发光层、电极，最后用其它玻璃基板、多层薄膜等气密密封而制成。在这些显示装置中，通过将玻璃基板替换成树脂基板，与以往相比能够实现薄型、轻型及挠性化，能够进一步拓宽显示装置的用途、改型。然而，通常树脂与玻璃相比尺寸稳定性、透明性、耐热性、耐湿性、阻气性等差，所以目前进行了各种用于改善这些特性的研究。例如，在专利文献I中提出了涉及作为挠性显示器用树脂基板有用的聚酰亚胺及其前体的专利技术，公开了使用环己基苯基四羧酸等这样的含有脂环式结构的四羧酸类并与各种二胺反应而成的聚酰亚胺的透明性优异。另外，在非专利文献I和2中，提出了在支承基板中采用透明性高的树脂材料的有机EL显示装置。另一方面，通过使用挠性优异的树脂基板，能够用辊对辊方式进行制造。例如，在专利文献2中，记载了在有机EL显示装置的制造中，使用在聚碳酸酯等这种透明的塑料基板的两面具有阻隔层的筒状膜基板，用辊对辊方式传送，利用溅射装置在筒状膜基板上形成薄膜晶体管的活性层的技术(参照图6)。通过使用这样的长条的树脂基材，能够连续作业，可以期待显示装置的生产率提高。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2008-231327号公报专利文献2:日本特开2011-181590号公报非专利文献非专利文献l:S.An et.al.，“2.8-1nch WQVGA Flexible AMOLED Using HighPerformance Low Temperature Polysilicon TFT on Plastic Substrates”, SID2010DIGEST, p706(2010)非专利文献2:0ishi et.al.，“Transparent PI for flexible display”, IDW‘11FLX2/FMC4-1
技术实现思路
如上所述，通过将显示装置中使用的玻璃基板替换成树脂基板(树脂膜)，能够实现薄型、轻型及挠性化。特别是以智能手机为代表的移动设备在薄型.轻型化方面的开发竞争激烈，对薄型?轻型化的需求极强。然而，想要使树脂基板的厚度变薄必须充分考虑操作性，尤其是以辊对辊的方式传送长条的树脂膜时，如果膜极薄则在卷绕时等其拉伸成为问题，根据情况有时膜可能发生褶皱、或者发生破损。另外，即便膜本身不发生褶皱、破损等的情况下，TFT、电极、发光层之类的在膜上形成的各种功能层也可能因膜的伸缩在制造过程中品质受到影响。因此，本专利技术是鉴于这些问题而进行的，其目的在于，提供一种制造层叠部件的方法，该方法能够得到在薄的树脂膜上具备功能层的层叠部件，并且既考虑到其制造过程中的操作性，又抑制了对功能层品质的影响。为了解决上述课题，本专利技术人等经过深入研究，结果发现通过使用在支承材料上具备聚酰亚胺层的基材膜，在聚酰亚胺层侧形成功能层后，利用聚酰亚胺层与支承材料的界面分离除去支承材料而实现薄壁化，从而能够抑制在制造过程中的操作性的降低、对功能层品质的影响，得到在由聚酰亚胺层构成的树脂膜上具备功能层的层叠部件，从而完成了本专利技术。即，本专利技术涉及一种，是将卷绕成筒状的长条的基材膜沿长边方向导出并进行成膜处理，根据需要进行图案形成处理，在基材膜上形成功能层而制造层叠部件的方法，其特征在于，上述基材膜具备在支承材料上涂布聚酰胺酸溶液并使其酰亚胺化而成的聚酰亚胺层，在该聚酰亚胺层侧形成功能层后，利用聚酰亚胺层与支承材料的界面分离除去支承材料，将基材膜薄壁化。在本专利技术中，将卷绕成筒状的长条状的基材膜在长边方向导出并进行成膜处理，根据需要对其成膜进行图案形成处理等，在基材膜上形成功能层后，分离除去基材膜的一部分使其薄壁化，得到在薄的树脂膜(聚酰亚胺层)上具备功能层的层叠部件。通常采用辊对辊方式时，被卷绕在送出侧的辊卷机构上的长条的树脂膜一边被送出机构沿长边方向导出一边被辊传送，进行成膜等工艺处理，介由卷绕机构，被卷绕侧的辊卷机构卷绕。在此，在上述专利文献2中，作为长条的树脂膜，除使用聚碳酸酯之外，还可以使用聚砜系树脂、烯烃系树脂、环状聚烯烃系树脂等这类的透明塑料膜，其厚度为50~200 μ m左右(参照第0083段)。然而，至少因为树脂膜在被卷绕侧的辊卷机构卷绕时会处于施加拉伸应力的状态，所以如果树脂膜的厚度薄，拉伸、收缩自然成为问题。因此，如果不具有至少IOOym左右的厚度，则在实际操作中，被辊卷机构卷绕时会出现产生褶皱、或者膜破损这样的不良现象。另外，为了形成功能层而进行多层的成膜、或者一边将成膜后暂时卷绕的树脂膜再次以辊对辊方式导出一边对已成膜的金属进行图案形成处理等经过多个工序的情况下，如果膜有伸缩则无法保持尺寸精度，有时也会对所得的功能层的品质造成影响。 因此，在本专利技术中，通过使用在支承材料上具备涂布聚酰胺酸溶液并使其酰亚胺化而成的聚酰亚胺层的基材膜，采用辊对辊方式等，在至少形成功能层期间，利用基材膜的厚度确保机械强度，在形成功能层后，利用聚酰亚胺层与支承材料的界面分离除去支承材料，从而得到在由聚酰亚胺层构成的薄的树脂膜上具备功能层的层叠部件。应予说明，本专利技术中的当然可适用于具备送出侧的辊卷机构和卷绕侧的辊卷机构的辊对辊方式，例如，也可以适用于利用卷绕侧的辊卷机构之前的卷绕机构将被辊传送的基材膜剪裁成片状这样的不完全辊对辊方式，无论何种情形只要是对膜施加张力的情况就特别有效。在本专利技术中，为了能够利用聚酰亚胺层与支承材料的界面分离除去支承材料而将基材膜薄壁化，需要使聚酰亚胺层与支承材料的界面成为易剥离的状态。作为其方式，优选在聚酰亚胺层与支承材料的界面利用具有特定的化学结构的聚酰亚胺。通常聚酰亚胺是将作为原料的酸酐和二胺聚合而得到的，可以由下述通式(I)表示。【权利要求】1.一种，其特征在于，是将卷绕成筒状的长条的基材膜沿长边方向导出并进行成膜处理，根据需要进行图案形成处理，在基材膜上形成功能层而制造层叠部件的方法， 所述基材膜具备在支承材料上涂布聚酰胺酸溶液并使其酰亚胺化而成的聚酰亚胺层，在该聚酰亚胺层侧形成功能层后，利用聚酰亚胺层与支承材料的界面分离除去支承材料，将基材膜薄壁化。2.根据权利要求1所述的，其中，所述聚酰亚胺层由单层或多层构成，并且至少与所述支承材料的界面由含氟聚酰亚胺形成。3.根据权利要求1或2所述的，其中，所述聚酰本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种层叠部件的制造方法，其特征在于，是将卷绕成筒状的长条的基材膜沿长边方向导出并进行成膜处理，根据需要进行图案形成处理，在基材膜上形成功能层而制造层叠部件的方法，所述基材膜具备在支承材料上涂布聚酰胺酸溶液并使其酰亚胺化而成的聚酰亚胺层，在该聚酰亚胺层侧形成功能层后，利用聚酰亚胺层与支承材料的界面分离除去支承材料，将基材膜薄壁化。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：平石克文，西泽重喜，须藤芳树，高吉若菜，冈崎奈津子，
申请(专利权)人：新日铁住金化学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP