用于调整辐射光点大小的方法及设备技术

本发明专利技术揭示一种设备，其可包括：一第一光束裁剪机，其经组态以裁剪具有一第一光点大小的一辐射脉冲的一部分以形成一中间经裁剪辐射脉冲，该中间经裁剪辐射脉冲具有一中间经裁剪光点，该中间经裁剪光点具有小于该第一光点大小的一中间经裁剪光点大小；及一第二光束裁剪机，其经组态以裁剪该中间经裁剪光点以形成一第二经裁剪辐射脉冲，该第二经裁剪辐射脉冲具有一第二经裁剪光点，该第二经裁剪光点具有小于该中间经裁剪光点大小的一第二经裁剪光点大小。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于调整辐射光点大小的方法及设备
技术介绍
如在本文中例示性描述的本专利技术的实施例大体上是关于用于调整辐射脉冲的光点大小的设备及调整辐射脉冲的光点大小的方法。分析设备(诸如质谱仪)可分析目标材料的组成。通常目标材料的样本以气溶胶的形式提供给分析设备。习知气溶胶产生设备可藉由引导具有足以烧蚀目标材料的一部分剂量的辐射脉冲产生气溶胶。经烧蚀材料通常呈气溶胶烟羽形式自目标材料块体喷出。通常需使用分析设备对目标材料执行不同类型的组成分析。因此，气溶胶产生设备可能需产生含有不同目标材料量的气溶胶的个别烟羽。例如，为对目标材料执行「块体组成分析」，气溶胶烟羽应大体自目标材料的相对较大区域产生。因此，气溶胶产生设备产生大小相对较大且含有自目标移除的相对较大量材料的气溶胶烟羽。此一块体组成分析可有助于提供指示任意组分的量存在于目标材料中的信息。然而，为执行目标材料「空间组成分析」，气溶胶烟羽应大体上自目标材料的相对较小区域产生，因此，气溶胶产生设备产生大小相对较小且含有自目标移除的相对较小量材料的气溶胶烟羽。此一空间组成分析可有助于提供指示任意组分的量在目标材料中的不同位置(例如，在受关注区域内)改变的信息。习知上，气溶胶产生设备藉由使用具有光阑的孔径轮而产生不同大小的气溶胶烟羽，该光阑具有界定于其中的多个不同大小的孔径以「裁剪」用于产生气溶胶烟羽的辐射脉冲的光点大小。尽管孔径的尺寸可在该孔径轮内被精确界定，但是孔径轮内所界定的孔径数量取决于孔径轮的大小以及气溶胶产生设备的其他大小限制。
技术实现思路
在一实施例中，一种设备可具备:第一光束裁剪机，其经组态以裁剪具有第一光点大小的辐射脉冲的一部分以形成具有中间经裁剪光点的中间经裁剪辐射脉冲，该中间经裁剪光点具有小于该第一光点大小的中间经裁剪光点大小；第二光束裁剪机，其经组态以裁剪该中间经裁剪光点以形成具有第二经裁剪光点的第二经裁剪辐射脉冲，该第二经裁剪光点具有小于该中间经裁剪光点大小的第二经裁剪光点大小。在另一实施例中，一种方法可包括裁剪具有第一光点大小的辐射脉冲的一部分以形成具有中间经裁剪光点的中间经裁剪辐射脉冲，该中间经裁剪光点具有小于该第一光点大小的中间经裁剪光点大小；及裁剪该中间经裁剪光点以形成具有第二经裁剪光点的第二经裁剪辐射脉冲，该第二经裁剪光点具有小于该中间经裁剪光点大小的第二经裁剪光点大小。【附图说明】图1是图解说明根据一实施例的设备的示意图。图2是图解说明图1所示的烧蚀光束源的一实施例的示意图。图3是图解说明根据一实施例的图2所示的第一光束裁剪机的平面图。图4是图解说明根据一实施例的图2所示的第二光束裁剪机的平面图。【具体实施方式】下文参考附图更全面地描述本专利技术，其中该等附图中展示本专利技术的例示性实施例。然而，本专利技术可以许多不同形式具体实施并且不应被解释为限于本文所述的实施例，而是，此等实施例经提供使得本揭示内容将是透彻及全面的，并且将全面传达本专利技术的范畴给熟习此项技术者。在图式中，层及区域的大小及相对大小可出于明了而扩大。应了解，虽然术语第一、第二、第三等在本文中可用于描述各种组件、组件、区域、装置等，但是此等组件、组件、区域、装置不应受此等术语限制。此等术语仅用于区分一组件、组件、区域、装置等与另一组件、组件、区域、装置等。因此，下文论述的第一组件、组件、区域、装置等可称为第二组件、组件、区域等，而不脱离本文所提供的教示。本文所使用的术语仅出于描述特定例示性实施例的目的且并非旨在限制本专利技术。如本文所使用，除非上下文另有明确指示，否则单数形式「一」、「一个」、「该」旨在亦包括多个形式。应进一步了解术语「包括(comprise及/或comprising)」在本说明书中使用时，指定规定特征、整数、步骤、操作、组件及/或组件的存在，但不排除一个或多个其他特征、整数、步骤、操作、组件、组件及/或其等群组的存在或添加。图1是图解说明根据一实施例的设备的示意图。参考图1，设备(诸如设备100)包括烧蚀腔室102、烧蚀光束源104及分析系统106。然而，在其他实施例中，该烧蚀腔室102及该分析系统106的一者或两者可自设备100省略。如例示性所示，该烧蚀腔室102包括:烧蚀腔室本体108，其界定经组态以容纳目标Iio的容纳区域108a ;传输窗112,其经组态以沿着传输方向传输福射脉冲114 ;载气入口 116，其经组态以将载气(例如，氦气、氩气或类似气体或其等组合)自烧蚀腔室102外部的载气源(未展示)传输至容纳区域108a中；及气溶胶输送导管118，其耦合至该烧蚀腔室本体108。如下文将更详细论述，辐射脉冲114具有足以烧蚀目标110的一部分的剂量，自而产生气溶胶烟羽(本文中也简称为「气溶胶」、「烟羽」、「气溶胶烟羽」等等)，包括自目标烧蚀夹带在载气中的材料。气溶胶输送导管118经组态以接收气溶胶烟羽的至少一部分并且将气溶胶烟羽输送至分析系统106。如下文将更详细论述，分析系统106经组态以对由气溶胶输送导管118输送的气溶胶执行组成分析。如下文将更详细论述，烧蚀光束源104经组态以产生辐射脉冲114，该辐射脉冲114具有足以产生含有自目标110移除的所需量的材料的气溶胶烟羽的所需光点大小。分析系统106经组态以对由气溶胶输送导管118输送的气溶胶烟羽执行组成分析。分析系统106可提供为任何合适系统，诸如MS系统(例如，惰性气体MS系统、稳定同位素MS系统等)、OES系统、或类似系统或其等组合。然而，一般而言，该分析系统106包括经组态以激发(例如，离子化、雾化、照亮、加热等)所接收的气溶胶烟羽的一种或多种组分的样本制备模块及经组态以侦测所接收的气溶胶烟羽的所激发组分的一个或多个特性(例如，电磁发射或吸收、颗粒质量、离子质量、或类似特性、或其等组合)的侦测模块。用于激发所接收的气溶胶烟羽的一种或多种组分的技术包括电浆产生(例如，经由感应耦合式电浆(ICP)火炬)、火花离子化、热离子化、大气压力化学离子化、快速原子轰击、辉光放电、或类似技术、或其等的组合。在一实施例中，分析系统106可进一步包括排序模块，该排序模块经组态以在侦测模块侦测到特性之前基于前述特性的一者或多者对所接收的气溶胶烟羽的(诸)所激发组分进行排序。在一实施例中，设备100进一步包括安置在烧蚀腔室102与烧蚀光束源104之间的遮蔽板122。该遮蔽板122可由对辐射脉冲114至少部分透明材料形成。在所示实施例中，该遮蔽板122邻接烧蚀腔室本体108并覆盖传输窗112以在烧蚀目标110期间防止碎屑(例如，灰尘、水蒸气、大体气体(诸如空气)及类似物)非预期地进入容纳区域108a中。烧蚀光束源106 —般安置为紧邻遮蔽板122 (如所示)，且可邻接遮蔽板122以减少或消除由烧蚀腔室本体108外部的碎屑引起的对辐射脉冲至容纳区域108a中的传输的任何不利干涉。在一实施例中，该遮蔽板122可耦合至烧蚀光束源104及烧蚀腔室本体108的一者或两者。图2是图1所示的烧蚀光束源的一实施例的示意图。图3是图解说明根据一实施例的图2所示的第一光束裁剪机的平面图。图4是图解说明根据一实施例的图2所示的第二光束裁剪机的平面图。参考图2，根据一实施例，图1所示的烧蚀光束源104可包括:辐射源202，其经组态以产生本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种设备，其包括：一第一光束裁剪机，其具有界定安置在沿其可传输一辐射脉冲束的一光束传输路径中的一第一孔径的一第一光圈，该辐射脉冲光束具有具一第一光点大小的一第一光点，其中一第一光束裁剪机经组态使得在该光束传输路径中的一辐射脉冲束中的一辐射脉冲的一部分可透过该第一孔径相对于该第一光圈选择性地传输以传递具有一中间经裁剪光点的一中间经裁剪辐射脉冲，该中间经裁剪光点具有小于该第一光点大小的一中间经裁剪光点大小；及一第二光束裁剪机，其具有界定多个第二孔径的一第二光圈，其中该第二光束裁剪机经组态使得该多个第二孔径的各者可选择性地安置在该光束传输路径中，其中该多个第二孔径的各者经组态使得该经裁剪辐射脉冲的一部分可透过该多个第二孔径相对于该第二光圈选择性地传输以传递具有一第二经裁剪光点的一第二经裁剪辐射脉冲，该第二经裁剪光点具有小于该中间经裁剪光点大小的一第二经裁剪光点大小。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.12.23 US 13/336,9921.一种设备，其包括: 一第一光束裁剪机，其具有界定安置在沿其可传输一福射脉冲束的一光束传输路径中的一第一孔径的一第一光圈，该辐射脉冲光束具有具一第一光点大小的一第一光点，其中一第一光束裁剪机经组态使得在该光束传输路径中的一辐射脉冲束中的一辐射脉冲的一部分可透过该第一孔径相对于该第一光圈选择性地传输以传递具有一中间经裁剪光点的一中间经裁剪辐射脉冲，该中间经裁剪光点具有小于该第一光点大小的一中间经裁剪光点大小；及 一第二光束裁剪机，其具有界定多个第二孔径的一第二光圈，其中该第二光束裁剪机经组态使得该多个第二孔径的各者可选择性地安置在该光束传输路径中，其中该多个第二孔径的各者经组态使得该经裁剪辐射脉冲的一部分可透过该多个第二孔径相对于该第二光圈选择性地传输以传递具有一第二经裁剪光点的一第二经裁剪辐射脉冲，该第二经裁剪光点具有小于该中间经裁剪光点大小的一第二经裁剪光点大小。2.如权利要求1所述的设备，其中该第一光圈包括界定该第一孔径的多个组件，其中该多个组件的至少一者可相对于该多个组件的另一者致动以调整该第一孔径的一大小及一形状的至少一者。3.如权利要求2所述的设备，其中该多个组件的该至少一者可相对于该多个组件的另一者移动以调整该第一孔径的一大小及一形状的至少一者。4.如权利要求2所述的设备，其中该第一孔径的一大小及一形状的至少一者可调整使得该中间经裁剪光点大小可在介于一第一中间经裁剪光点大小与小于该第一中间经裁剪光点大小的一第二中间经裁剪光点大小之间的一第一经裁剪光点大小范围内调整。5.如权利要求4所述的设备，其中该第一中间经裁剪光点大小小于该第一光点大小。6.如权利要求4所述的设备,其中该第一中间经裁剪光点大小大于约1.7mm2。7.如权利要求4所述的设备,其中该第二中间经裁剪光点大小小于约63.5mm2。8.如权利要求4所述的设备，其中该第一孔径的一大小及一形状的至少一者可调整使得该中间经裁剪光点大小可调整至小于该第一中间经裁剪光点大小并大于该第二中间经裁剪光点大小的至少一额外经裁剪大小。9.如权利要求8所述的设备，其中该第一孔径的一大小及一形状的至少一者可调整使得该中间经裁剪光点大小可调整至多于50个中间经裁剪光点大小。10.如权利要求4所述的设备，其中该多个第二孔径的一者经组态使得该第二经裁剪大小基本上等于该第二中间经裁剪光点大小。11.如权利要求1所述的设备，其中该多个第二孔径包括至少30个第二孔径。12.如权利要求1所述的设备，其中...

【专利技术属性】
技术研发人员：席亚朗·约翰·派崔克·欧康纳，雪恩·希利雅德，蕾芙·萨墨菲尔德，
申请(专利权)人：伊雷克托科学工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：美国;US