基板夹紧装置制造方法及图纸

基板夹紧装置具备：第一夹紧部件，与基板的一方的侧边抵接；第二夹紧部件，与基板的另一方的侧边抵接，在第二夹紧部件与第一夹紧部件之间夹紧基板；浮动机构，在与基板平行的面内将第二夹紧部件支撑为能够旋转，并且上述浮动机构的至少一部分与基板位于同一平面上；及基座单元，经由浮动机构对第二夹紧部件进行支撑。

【技术实现步骤摘要】
基板夹紧装置
在此公开的技术涉及一种夹紧基板的基板夹紧装置。此外，在本说明书中所说的基板是指所谓刚性基板(即，柔性基板除外)，较典型地，是指电子电路基板(生基板、印刷基板)、玻璃基板。
技术介绍
已知有夹紧基板的基板夹紧装置(以下，称为夹紧装置)。夹紧装置广泛地采用于向基板(生基板)曝光布线图案的基板曝光机、向基板印刷焊料的焊料印刷机、向基板涂敷粘接剂的粘接剂涂敷机、向基板安装电子元件的元件安装机及其他基板作业机。例如，在日本特开2008-168442号公报中，记载有具有夹紧装置的焊料印刷机。该焊料印刷机的夹紧装置具备一对夹紧部件和将一对夹紧部件的一方支撑为能够旋转的浮动机构。根据这种结构，即使在基板的两侧边不平行时，一对夹紧部件也能够通过一方的夹紧部件被动地进行旋转而牢固地夹紧基板。通常，浮动机构使机械装置的刚性降低。因此，即使在上述的夹紧装置中也存在如下情况:在一对夹紧部件夹紧基板时，设有浮动机构的夹紧部件由于来自基板的反作用力而沿上下方向(与基板垂直的方向)发生位移。在这种情况下，基板的位置、姿势发生变化，因此焊料印刷、电子元件的安装这类对基板的处理可能无法准确地进行。
技术实现思路
考虑上述的实际情况，本说明书提供一种在基板夹紧装置中能够防止或减少由浮动机构引起的刚性的降低的技术。本说明书公开了一种夹紧基板的基板夹紧装置。该基板夹紧装置具备:第一夹紧部件，与基板的一方的侧边抵接；第二夹紧部件，与基板的另一方的侧边抵接，在第二夹紧部件与第一夹紧部件之间夹紧基板；浮动机构，在与基板平行的面内将第二夹紧部件支撑为能够旋转，并且上述浮动机构的至少一部分与基板位于同一平面上；及基座单元，经由浮动机构对第二夹紧部件进行支撑。此外，在本说明书中只记载为基板时，作为原则，是指由第一夹紧部件及第二夹紧部件夹紧时的基板。根据上述的结构，在第一夹紧部件及第二夹紧部件夹紧基板时，第二夹紧部件从基板受到的反作用力的位置相对于与基板垂直的方向而与浮动机构的位置一致。因此，即使在第二夹紧部件从基板受到了较大的反作用力时，也能够防止或减少第二夹紧部件以浮动机构为中心向与基板垂直的方向发生位移(旋转)这一,清况。优选为，通过浮动机构进行旋转的第二夹紧部件的旋转轴在第二夹紧部件的长度方向上位于中央。根据这种结构，第二夹紧部件的结构的刚性以浮动机构为中心具有对称性，而能够抑制由浮动机构引起的刚性的大幅度的降低。基板夹紧装置也可以具备线性导向机构，该线性导向机构将第一夹紧部件及第二夹紧部件的至少一方支撑为能够相对于基板进行平行移动。在这种情况下，根据上述的对称性的观点，优选为，通过浮动机构进行旋转的第二夹紧部件的旋转轴位于线性导向机构的宽度方向中央。在此所说的线性导向机构的宽度方向中央在线性导向机构具有单个导轨的情况下是指该导轨的宽度方向的中央、在线性导向机构具有一对导轨的情况下是指一对导轨之间的中央。优选为，基座单元具有固定基座部件与可动基座部件。在这种情况下，优选为，浮动机构将第二夹紧部件支撑为能够相对于可动基座部件进行旋转，线性导向机构将可动基座部件支撑为能够相对于固定基座部件进行平行移动。即，优选为，线性导向机构与浮动机构一起将第二夹紧部件支撑为能够平行移动。但是，作为其他实施方式，也可以是浮动机构与线性导向机构一起将第二夹紧部件支撑为能够旋转的结构。优选为，作为一个结构例，浮动机构具有:轴部，设于第二夹紧部件与基座单元的一方，并且上述轴部的至少一部分与基板位于同一平面上；及轴孔，设于第二夹紧部件与基座单元的另一方，并且将轴部收纳成能够旋转。根据这种结构，第二夹紧部件从基板受到的反作用力实质上垂直地作用于浮动机构的轴部。由此，能够更有效地防止或减少第二夹紧部件向与基板垂直的方向发生位移这一情况。优选为，浮动机构具有设置在轴部与轴孔之间的轴承。由此，能够降低由浮动机构产生的摩擦阻力。优选为，轴承具有多个滚动体，该滚动体的至少一部分与基板位于同一平面上。根据这种结构，第二夹紧部件从基板受到的反作用力实质上垂直地作用于轴承的滚动体。因此，能够有效地防止或减少第二夹紧部件以浮动机构为中心(特别是以轴承为中心)在与基板垂直的方向上发生位移(旋转)这一情况。虽未特别地限定，但轴承的内径优选为25mm以上、且50mm以下，轴承的外径优选为40mm以上、且70mm以下。优选为，基板夹紧装置还具备姿势维持机构。在这种情况下，优选为，姿势维持机构具有固定于第二夹紧部件的第一单元和固定于基座单元的第二单元。而且，优选为，第一单元与第二单元在与由第一夹紧部件及第二夹紧部件夹紧的基板垂直的方向上互相抵接，而抑制第二夹紧部件向与基板垂直的方向发生位移。根据这种结构，能够有效地防止或减少第二夹紧部件向与基板垂直的方向发生位移这一情况。优选为，作为姿势维持机构的结构例，第一单元与第二单元中的一方具有与基板平行的支撑面，第一单元与第二单元中的另一方具有随着第二夹紧部件通过浮动机构进行旋转而在支撑面上进行滑动或滚动的抵接部。优选为，姿势维持机构的抵接部是在姿势维持机构的支撑面上进行滚动的旋转体。根据这种结构，能够降低由姿势维持机构产生的摩擦阻力。但是，姿势维持机构的抵接部并不限定于旋转体，例如也可以为在支撑面上进行滑动的突起。优选为，旋转体的旋转轴与通过浮动机构进行旋转的第二夹紧部件的旋转轴交叉。在这种情况下，更优选为，旋转体的旋转轴与基板平行，并与通过浮动机构进行旋转的第二夹紧部件的旋转轴正交。根据这种结构，在第二夹紧部件通过浮动机构的功能而进行旋转时，姿势维持机构的旋转体在支撑面上顺畅地进行滚动，因此能够有效地抑制摩擦阻力的产生。优选为，姿势维持机构的支撑面与旋转体的抵接部隔着浮动机构位于基板的相反侦U。根据这种结构，能够通过姿势维持机构有效地消除第二夹紧部件从基板受到的反作用力。优选为，作为姿势维持机构的结构例，第一单元具有抵接部(例如旋转体)，第二单元具有支撑面。但是，也可以为与此相反的结构。【附图说明】图1是示意性地表示夹紧基板之前的基板夹紧装置的主视图。图2是示意性地表示夹紧基板之后的基板夹紧装置的主视图。图3是基板夹紧装置的立体图。图4是基板夹紧装置的俯视图。图5是基板夹紧装置的主视图。图6是沿着图4中的V1-VI线的剖视图。图7是沿着图4中的VI1-VII线的剖视图。附图标记说明10 基板夹紧装置(夹紧装置)12 第一夹紧部件14 第二夹紧部件16 夹紧动作单元20 浮动机构22 轴部24 轴孔26 轴承26a轴承的滚动体30 基座单元32 固定基座部件34 线性导向机构36 可动基座部件38 气缸38a活塞杆40 姿势维持机构42 姿势维持机构的第一单元44 姿势维持机构的第二单元46 姿势维持机构的旋转体48 姿势维持机构的支撑面100 基板【具体实施方式】参照附图，对实施例的基板夹紧装置10 (以下，称为夹紧装置10)进行说明。基板夹紧装置10是夹紧基板(例如生基板、电子电路基板)100的装置，用于基板曝光机、焊料印刷机、粘接剂涂敷机及元件安装机这类向基板100实施各种处理的基板作业机。如图1、图2所示，夹紧装置10通常与搬运基板100的基板搬运装置102、使基板100升降的基板升降装置104—起进行利用。较典型地，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板夹紧装置，用于夹紧基板，所述基板夹紧装置具备：第一夹紧部件，与所述基板的一方的侧边抵接；第二夹紧部件，与所述基板的另一方的侧边抵接，在所述第二夹紧部件与第一夹紧部件之间夹紧所述基板；浮动机构，在与所述基板平行的面内将所述第二夹紧部件支撑为能够旋转，并且所述浮动机构的至少一部分与所述基板位于同一平面上；及基座单元，经由所述浮动机构对所述第二夹紧部件进行支撑。

【技术特征摘要】
1.一种基板夹紧装置，用于夹紧基板，所述基板夹紧装置具备: 第一夹紧部件，与所述基板的一方的侧边抵接； 第二夹紧部件，与所述基板的另一方的侧边抵接，在所述第二夹紧部件与第一夹紧部件之间夹紧所述基板； 浮动机构，在与所述基板平行的面内将所述第二夹紧部件支撑为能够旋转，并且所述浮动机构的至少一部分与所述基板位于同一平面上；及 基座单元，经由所述浮动机构对所述第二夹紧部件进行支撑。2.根据权利要求1所述的基板夹紧装置，其中， 通过所述浮动机构进行旋转的所述第二夹紧部件的旋转轴在所述第二夹紧部件的长度方向上位于中央。3.根据权利要求2所述的基板夹紧装置，其中， 所述基板夹紧装置具备线性导向机构，所述线性导向机构将所述第一夹紧部件及所述第二夹紧部件的至少一方支撑为能够相对于所述基板进行平行移动， 通过所述浮动机构进行旋转的所述第二夹紧部件的旋转轴位于所述线性导向机构的宽度方向的中央。4.根据权利要求1~3中任一项所述的基板夹紧装置，其中， 所述浮动机构具有: 轴部，设于所述第二夹紧部件与所述基座单元的一方，并且所述轴部的至少一部分与所述基板位于同一平面上；及 轴孔，设于所述第二夹紧部件与所述基座单元的另一方，并且将所述轴部收纳成能够旋转。5.根据权利要求4所述的基...

【专利技术属性】
技术研发人员：龟谷泰范，藤田阳司，
申请(专利权)人：富士机械制造株式会社，
类型：新型
国别省市：日本;JP