图案检查装置及图案检查方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及图案检查装置及图案检查方法。在该图案检查装置上设有：第一光源部（331），将光照射至透明基材（9）的形成有图案的一侧主表面（91）上；第二光源部（332），将光照射至另一侧主表面（92）上；一个第一受光部（341），接受第一光源部（331）的光中被图案反射的反射光和第二光源部（332）的光中透过了透明基材（9）的透过光。而且，一边使透明基材（9）连续移动，一边交替点亮第一光源部（331）和第二光源部（332），从而用一个第一受光部（341）获取基于图案的反射光而形成的反射图像和基于透明基材（9）的透过光而形成的透过图像。由此，能够减少图案检查装置的部件数目。

【技术实现步骤摘要】
图案检查装置及图案检查方法
本专利技术涉及对透明基材上的图案进行检查的图案检查装置及图案检查方法。
技术介绍
在制造智能手机等中利用的触摸屏时，在PET（聚对苯二甲酸乙二醇酯）薄膜等的透明薄膜上形成金属配线图案。作为引线的金属配线图案形成在触摸屏的外缘部上，与形成在作为触摸屏的画面的中央部上的透明电极图案相连接。近年来，为了增大触摸屏的画面，进行将外缘部上的金属配线图案的图案要素形成得更细小的研究。在该情况下，为了在与以往相同的条件下将相同大小的电流施加到金属配线图案上，通过将金属配线图案的厚度设置得比以往大（增大高宽比）来保持图案要素的截面面积。此外，在日本特开昭62-119444号公报（文献1）、日本特开2006-72147号公报（文献2）及日本特开2006-105816号公报（文献3）中，公开了如下的检查基材上的图案的方法，即，通过获取反射图像和透过图像来检查基材上的图案，该反射图像基于照射至透明基材的一侧主表面上的光的反射光而形成，该透过图像基于照射至基材的另一侧主表面上的光的透过光而形成。但是，金属配线图案是例如通过局部蚀刻金属薄膜来形成的。此时，根据蚀刻条件，有时图案要素的上表面变成粗糙的状态或者图案要素蚀刻得不够锐利（Sharp）。从而，对图案要素的上表面和图案要素的下端（下部）这两房进行检查的要求变高。在利用印刷电子技术（PrintedElectronics）形成金属配线图案的情况下，由于图案要素的下端易变宽，因而对金属配线图案的下端检查的必要性进一步变高。在该情况下，可以考虑应用文献1至文献3的方法来获取表示图案要素的上表面的反射图像和表示图案要素的下端的透过图像。然而，在文献1至3的装置中，需要分别用于获取反射图像及透过图像的两个撮像部。由此，导致图案检查装置的部件数目增多，从而导致装置的制造成本上升。
技术实现思路
本专利技术针对用于检查透明基材上形成的图案检查装置，其目的在于，减少能够获取反射图像及透过图像的图案检查装置的部件数目。本专利技术的图案检查装置包括：第一光源部，将光照射至在板状或薄膜状的透明基材的形成有图案的一侧主表面上；第二光源部，将光照射至所述透明基材的另一侧主表面上；一个第一受光部，接受所述第一光源部的光中被所述图案的上表面反射的反射光和所述第二光源部的光中透过了所述透明基材的透过光；移动机构，使所述透明基材在沿所述一侧主表面的移动方向上相对于所述第一光源部、所述第二光源部及所述第一受光部移动；控制部，利用所述移动机构一边使所述透明基材连续或断续地进行相对移动，一边交替点亮所述第一光源部和所述第二光源部，从而用所述第一受光部获取基于由所述图案的所述上表面反射的所述反射光而形成的第一反射图像和基于所述透过光而形成的透过图像；检查部，通过比较所述第一反射图像和所述透过图像来获取所述图案的检查结果。根据本专利技术，能够用一个受光部来获取反射图像及透过图像，从而能够减少图案检查装置的部件数目。在本专利技术的一个优选的方式中，所述第一受光部，是用于获取在所述透明基材上与所述移动方向交叉的线状区域的图像的线传感器；由所述线传感器交替获取所述第一反射图像的线状图像和所述透过图像的线状图像。由此，能够高效地获取反射图像及透过图像。在本专利技术的另一个优选的方式中，图案检查装置还具有一个第二受光部，该第二受光部接受所述第二光源部的光中被所述图案的下表面反射的反射光，由此获取第二反射图像，其中，所述图案的下表面是与所述一侧主表面接触的面。由此，能够容易地检查出图案要素的下端的变粗情况或变细情况。优选地，所述图案由金属形成。本专利技术还针对利用图案检查装置来检查透明基材上的图案的图案检查方法。上述的目的及其他的目的、特征、方式及优点，通过下面参照附图进行的对本专利技术的详细说明得以明确。附图说明图1是示出图案检查装置的结构的图。图2是示出图像获取单元的内部结构的图。图3是示出检查透明基材上的图案的动作流程的图。图4是示出透明基材上的图案的剖视图。图5是示出了上表面反射图像及透过图像上的亮度值的变化的图。图6是示出了图案要素的俯视图。图7是示出了透过图像的图。图8是示出了上表面反射图像的图。图9是示出了透明基材上的图案的剖视图。图10是示出了另一实施方式的图案检查装置的图像获取单元的结构的图。图11是示出了上表面反射图像及下表面反射图像上的亮度值的变化的图。附图标记的说明1图案检查装置2移动机构9透明基材11控制部12检查部81图案91第一主表面92第二主表面331第一光源部332第二光源部341、342受光部具体实施方式图1是示出本专利技术一实施方式的图案检查装置1的结构的图。图案检查装置1是对由金属形成在树脂制透明基材9（例如，PET薄膜）上的图案进行检查的装置。图案检查装置1具有：移动机构2，使作为连续薄膜的透明基材9的连续部位向图1中的Y方向（下面，称为“移动方向”）连续移动；图像获取单元3，获取移动途中的透明基材9的图像；控制部11，负责图案检查装置1的整体控制。控制部11具有基于所获取的图像来检查图案的检查部12。此外，检查部12也可与控制部11分开设置。移动机构2具有沿图1中的X方向（与移动方向垂直的方向）延伸的长的两个滚子21，两个滚子21隔着图像获取单元3排列在移动方向上。在两个滚子21的负Y（-Y）侧设有供给部22，供给部22用于保持检查前的透明基材9的卷材并且从该卷材送出透明基材9的各部位。在两个滚子21的正Y（+Y）侧设有卷绕部23，卷绕部23将透明基材9的进行了检查的部位以卷曲状卷绕并保持。在下面的说明中，所简称的“透明基材9”是表示，向移动方向的移动途中的透明基材9的部位（即，两个滚子21之间的透明基材9的部位）。如图1所示，在配置在两个滚子21之间的图像获取单元3中，透明基材9垂直于图1中的Z方向（即，在X方向及Y方向上）扩展。图2是示出图像获取单元3的内部结构的图。图像获取单元3具有：第一光源部331，配置在透明基材9的正Z（+Z）侧；第一光学系统31；第一受光部341；第二光源部332，配置在透明基材9的负Z（-Z）侧；第二光学系统32。详细地，第一光源部331是多个发光二极管（LED）排成一列的LED阵列，各LED出射蓝色波段的光。来自第一光源部331的光经由第一光学系统31的准直透镜（Collimatorlens）311被准直（collimated）后，被半透半反境（Halfmirror）312反射而入射到物镜313。通过了物镜313的光照射至作为透明基材9的一侧（（+Z）侧的）主表面的第一主表面91上。被来自第一光源部331的光照射的透明基材9上的区域，是与移动方向交叉的（优选地，与移动方向垂直）线状区域。在透明基材9的第一主表面91上形成有铜等金属的图案，来自物镜313的光中的照射在图案上的光被该图案反射，照射在其他区域的光则透过透明基材9（参照后述的图4）。被图案表面反射的光（主要是被图案的朝向正Z（+Z）方向的面所反射的光）入射至物镜313，通过了物镜313的光经由半透半反境312及成像透镜314导入至受光部341。受光部341是多个受光元件排成一列的线传感器（linesensor），透明基材9上的线状区域上的蓝色光在多个受光元件的受光面上成像，即在线状的受光区域本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种图案检查装置，用于检查透明基材上的图案，其特征在于，包括：第一光源部，将光照射至板状或薄膜状的透明基材的形成有图案的一侧主表面上；第二光源部，将光照射至所述透明基材的另一侧主表面上；一个第一受光部，接受所述第一光源部的光中被所述图案反射的反射光和所述第二光源部的光中透过了所述透明基材的透过光；移动机构，使所述透明基材在沿所述一侧主表面延伸的移动方向上相对于所述第一光源部、所述第二光源部及所述第一受光部移动；控制部，利用所述移动机构一边使所述透明基材连续或断续地进行相对移动，一边交替点亮所述第一光源部和所述第二光源部，从而用所述第一受光部获取基于所述反射光而形成的第一反射图像和基于所述透过光而形成的透过图像；检查部，基于所述第一反射图像和所述透过图像来获取所述图案的检查结果。

【技术特征摘要】
2013.02.15 JP 2013-0282171.一种图案检查装置，用于检查透明基材上形成的图案，其特征在于，包括：第一光源部，将光照射至板状或薄膜状的透明基材的形成有图案的一侧主表面上；第二光源部，将光照射至所述透明基材的另一侧主表面上；一个第一受光部，接受所述第一光源部的光中被所述图案的上表面反射的反射光和所述第二光源部的光中透过了所述透明基材的透过光；移动机构，使所述透明基材在沿所述一侧主表面延伸的移动方向上相对于所述第一光源部、所述第二光源部及所述第一受光部移动；控制部，利用所述移动机构一边使所述透明基材连续或断续地进行相对移动，一边交替点亮所述第一光源部和所述第二光源部，从而用所述第一受光部获取基于由所述图案的所述上表面反射的所述反射光而形成的第一反射图像和基于所述透过光而形成的透过图像；检查部，通过比较所述第一反射图像和所述透过图像，获取所述第一反射图像示出的所述图案的所述上表面的边缘位置与所述透过图像示出的所述图案下表面的边缘位置之间的差，由此，作为检查结果获取所述图案的下端的变粗量。2.如权利要求1所述的图案检查装置，其特征在于，所述第一受光部，是用于获取在所述透明基材上与所述移动方向交叉的线状区域的图像的线传感器；由所述线传感器交替获取所述第一反射图像的线状图像和所述透过图像的线状图像。3.如权利要求1所述的图案检查装置，其特征在于，还具有一个第二受光部，该第二受光部接受所述第二光源部的光中被所述图案的所述下表面反射的反射光，由此获取第二反射图像，其中，所述图案的所述下表面是与所述一侧主表面接触的面。4.如权利要求2所述的图案检查装置，其特征在于，还具有一个第二受光部，该第二受光部接受所述第二光源部的光中被所述图案的所述下表面反射的反射光，由此获取第二反射图像，其中，所述图案的所述下表面是与所述一侧主表面接触的面。5.如权利要求1至4中任一项所述的图案检查装置，其特征在于，所述图案由金属形成。6.一种图案检查...

【专利技术属性】
技术研发人员：藤原成章，
申请(专利权)人：大日本网屏制造株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP