【技术实现步骤摘要】
一种带加热柜节能多晶硅铸锭炉
本专利技术涉及一种多晶硅铸锭炉,具体是一种带加热柜节能多晶硅铸锭炉,属于多晶硅铸锭炉的热场结构设计与制造
。
技术介绍
多晶硅铸锭炉是一种硅重熔设备,生产中,将达到一定纯度要求的多晶硅装入炉中,按工艺要求加热融化、定向长晶、热处理、冷却出炉。多晶硅重熔长晶的这样核心环境,我们称之为热场。热场不单位多晶硅熔化提供大量的热能,在长晶过程中又提供合理的温度梯场以得到合乎要求的多晶硅晶体。多晶硅铸锭炉是一种能耗高、工时长的多晶硅生产设备,因此合理的多晶硅铸锭炉热场不仅仅要能生产出高质量符合要求的多晶硅铸锭,更要往节能增效方面深入考虑。而现有多晶硅铸锭炉设置加热装置,但加热效率不高,热能利用率很低,保温效果不明显。
技术实现思路
针对上述现有技术存在的问题,本专利技术提供一种带加热柜节能多晶硅铸锭炉,能够有效地提高多晶硅质量,提高热能利用率、缩短工艺效率,提高生产率。为了实现上述目的,本专利技术采用的技术方案是:一种带加热柜节能多晶硅铸锭炉,包括炉体、加热器、保温顶板和保温笼体;加热器固定在保温顶板,保温笼体设置在炉体内,保温笼体上部设有保温顶板,保温笼体下部设有带支柱的保温底板;还包括加热柜,加热柜固定在炉体内部,保温笼体与加热柜连接,保温顶板、保温笼体、保温底板组成一个封闭的热场腔体。支柱的顶 端设有热交换台,热交换台上部设有坩埚。还包括保温环条,设置在加热器和热交换台之间,保温环条通过连接条与保温顶板固定连接。本专利技术的有益效果是:在原有的基础上添加加热柜,有效提高加热效率,保温效果更好,可以生产出高品质硅锭, ...
【技术保护点】
一种带加热柜节能多晶硅铸锭炉,包括炉体(1)、加热器(2)、保温顶板(4)和保温笼体(5);加热器(2)固定在保温顶板(4),保温笼体(5)设置在炉体(1)内,保温笼体(5)上部设有保温顶板(4),保温笼体(5)下部设有带支柱(10)的保温底板(8);其特征在于,还包括加热柜(12),加热柜(12)固定在炉体(1)内部,保温笼体(5)与加热柜(12)连接,保温顶板(4)、保温笼体(5)、保温底板(8)组成一个封闭的热场腔体。
【技术特征摘要】
1.一种带加热柜节能多晶硅铸锭炉,包括炉体(1)、加热器(2)、保温顶板(4)和保温笼体(5);加热器(2)固定在保温顶板(4),保温笼体(5)设置在炉体(1)内,保温笼体(5)上部设有保温顶板(4),保温笼体(5)下部设有带支柱(10)的保温底板(8);其特征在于,还包括加热柜(12),加热柜(12)固定在炉体(1)内部,保温笼体(5)与加热柜(12)连接,保温顶板(4 )、保温笼...
【专利技术属性】
技术研发人员:王富贵,
申请(专利权)人:江苏联方钢结构工程有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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