一种防干燥液供给系统及涂布设备技术方案

本发明专利技术提供了一种防干燥液供给系统和一种涂布设备。所述防干燥液供给系统，包括第一通路、第二通路、与所述第一通路连接的第一防干燥槽、与所述第二通路连接的第二防干燥槽、连通所述第一通路和第二通路的第三通路、以及与所述第一通路和第二通路连接的流量控制单元。其中，所述第一防干燥槽和第二防干燥槽用于盛放防干燥液，所述流量控制单元用于控制所述第一通路和所述第二通路交替导通。所述涂布设备还包括与所述第一防干燥槽对应设置的第一喷吐头、与所述第二防干燥槽对应设置的第二喷吐头。本发明专利技术的防干燥液供给系统和涂布设备，能在保证提高产能的同时，实现对两个防干燥槽进行加液，从而对暂不工作的喷吐头进行保养。

【技术实现步骤摘要】
一种防干燥液供给系统及涂布设备
本专利技术涉及面板制造领域，尤其涉及一种防干燥液供给系统及涂布设备。
技术介绍
当前，在液晶面板的生产过程中，需要经过各种工艺流程完成相关器件的制造，其中，常用的制造薄膜晶体管液晶显示器(thin film transistor liquid crystaldisplay, TFT-1XD)面板的工艺包括曝光工艺。针对曝光工艺，通常需要在曝光之前先涂布光刻胶以形成特定图案后，再进行曝光。现有技术采用HCT (head coater，涂布机)或者狭缝式涂布机(slit coater)来涂布光刻胶,如图1所示。涂布机包括左右两个工作头(head,也称喷吐头)，在正常生产过程中，左headl和右head2同时处于待机状态。涂布机会在被调用相关指令时，根据特定的指令程序(recipe)中设定的各种参数值，来启用左headl或右head2进行涂布。然而，在实际使用中，右head2的使用频次极低，例如平均只有2天/月。在右head2在待机过程中，需要每隔600s对它进行一次清洁、空喷、排气泡、补充防干燥液等动作，以对右head2进行保养，同时使正常工作的左headl暂停工作，一次保养时长约120s。保养时，右head2会下沉浸入到右head2下方的防干燥液槽(图1中未不出),待需要工作时才会上升到待涂布的基板4上方，沿着基板4两侧的导轨3运动，对基板4进行涂布。同样，当右head2工作而左headl待机时，也需每隔600s对左head进行一次清洁、空喷、排气泡、补充防干燥液等动作，以对左headl进行保养，同时使正常工作的右head2暂停工作。这样一来就会造成产能损失。据不完全统计，采用上述工作模式，使左右两个工作头同时处于待机状态，产能损失16%。因此为了提高产能，可以将不工作的右head2 (或者左headl)切换到停止状态。然而这又产生了另一个问题。以将右head2切换到停止状态为例，一旦将右head2切换到停止状态，给右head2和相应药液管路填充防干燥液的操作也会全部停止；可是如前所说，任意一侧的head都是需要保养的，那么就需要人为地定期给右head2的防干燥槽手动补充防干燥液。那么存在以下几方面问题:1、防干燥液无法及时补充到位，降低了右head2的保护效果，导致右head2在涂布时，精度和稳定性降低；2、防干燥液的挥发性极强，保养和检查频率很高，工程师的劳动量大大增加了。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是现有技术中在保证涂布机产能提高的同时，不能有效对两侧的防干燥槽加液以实现保养。为解决以上问题，本专利技术提供了一种防干燥液供给系统和一种涂布设备。具体地，本专利技术提供的一种防干燥液供给系统，包括第一通路、第二通路、与所述第一通路连接的第一防干燥槽、与所述第二通路连接的第二防干燥槽、连通所述第一通路和第二通路的第三通路、以及与所述第一通路和第二通路连接的流量控制单元。其中，所述第一防干燥槽和第二防干燥槽用于盛放防干燥液，所述流量控制单元用于控制所述第一通路和所述第二通路交替导通。本专利技术提供的一种涂布设备，包括上述任意一种防干燥液供给系统、以及与所述第一防干燥槽对应设置的第一喷吐头、与所述第二防干燥槽对应设置的第二喷吐头，其中，在任意时刻使所述第一喷吐头或者第二喷吐头中任一处于工作模式，另一处于休息模式。采用本专利技术的防干燥液供给系统和涂布设备，能在保证提高产能的同时，实现对任意一侧的防干燥槽进行加液，从而对暂不工作的喷吐头进行保养。【附图说明】图1是现有技术中涂布机的俯视不意图；图2a是本专利技术实施例一所述供给系统的示意图；图2b是本专利技术实施例一所述供给系统的另一示意图；图3是本专利技术实施例二所述供给系统的示意图。【具体实施方式】为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本专利技术的【具体实施方式】做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本专利技术，但是本专利技术还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，因此本专利技术不受下面公开的具体实施例的限制。实施例一本实施例提供了一种防干燥液供给系统，如图2a所示，所述系统包括第一通路10、第二通路20、与第一通路10连接的第一防干燥槽11、与第二通路20连接的第二防干燥槽21、连通第一通路10和第二通路20的第三通路30、以及与第一通路10和第二通路20连接的流量控制单元40。其中，第一防干燥槽11和第二防干燥槽21用于盛放防干燥液，流量控制单元40用于控制第一通路10和第二通路20交替导通。这里的第一防干燥槽11可以与涂布机的左head对应，用于在左head不工作时浸入其中以对其进行保养；第二防干燥槽21可以与涂布机的右左head对应，用于在右head不工作时浸入其中对其进行保养。在任意时刻，流量控制单元40会对所示系统进行控制，使得第一通路10和第二通路20中仅有一条通路有防干燥液流经。当流量控制单元40控制第一通路10导通时，如图2a所示，流经第一通路10的防干燥液一部分流至第一防干燥槽11，另一部分通过第三通路30流至述第二防干燥槽21。当流量控制单元40控制第二通路20导通时，如图2b所示，流经第二通路20的防干燥液一部分流至第二防干燥槽21，另一部分通过第三通路30流至第一防干燥槽11。配合喷吐头的工作模式，可以使所述左head工作且所述右head不工作时，通过控制流量控制单元40，使防干燥液只流向第一通路10，那么除了与第一通路10连接的第一防干燥槽11能够及时被供给到防干燥液之外，第二防干燥槽21也可以通过第三通路30得到补液。同理，当所述右head工作且所述左head不工作时，通过控制流量控制单元40，使防干燥液只流向第二通路20，那么除了与第二通路20连接的第二防干燥槽21能够及时被供给到防干燥液之外，第一防干燥槽11也可以通过第三通路30得到补液。这样就可以实现在一侧工作头(例如所述右head)工作效率极低的情况下，能够将之切换到停止状态，同时也保证另一侧的工作头(例如所述左head)的防干燥槽也能得到补液的结果，实现在提高产能的情况下不影响工作头的保养的目的。本实施例对流量控制单元40的具体结构不做限定，只要能够实现本实施例中控制第一通路10和第二通路20交替导通，使得在任意时刻防干燥液能通过其中的一个通路流至第一防干燥槽11和第二防干燥槽21即可。需要说明的是，图2仅是为便于理解对本实施例进行说明采用的示意图，并不代表实际管道的排布或者结构的设置，因此不应以图2显示的具体结构作为对本实施例技术方案形成的限制。实施例二本实施例是在实施例一的基础上形成的，与实施例一的区别在于本实施例中，如图3所示，流量控制单元40具体地可以包括第一控制阀41和第二控制阀42，第一控制阀41与第一通路10连接，第二控制阀42与第二通路20连接，第一控制阀41用于控制所述第一通路10导通或关闭，第二控制阀42用于控制第二通路20导通或者关闭。本实施例对流量控制单元40的内部结构进行一种扩展，第一控制阀41可以控制第一通路10在导通和关闭两种状态下切换；第二控制阀42则可以控制第二通路20在导通和关闭两种状态下切换，从而使得流量控制单元40能够在任一时刻控制第一通路10和第二通路2本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种防干燥液供给系统，所述系统包括第一通路、第二通路、与所述第一通路连接的第一防干燥槽、与所述第二通路连接的第二防干燥槽、连通所述第一通路和第二通路的第三通路、以及与所述第一通路和第二通路连接的流量控制单元，其中，所述第一防干燥槽和第二防干燥槽用于盛放防干燥液，所述流量控制单元用于控制所述第一通路和所述第二通路交替导通。

【技术特征摘要】
1.一种防干燥液供给系统，所述系统包括第一通路、第二通路、与所述第一通路连接的第一防干燥槽、与所述第二通路连接的第二防干燥槽、连通所述第一通路和第二通路的第三通路、以及与所述第一通路和第二通路连接的流量控制单元，其中，所述第一防干燥槽和第二防干燥槽用于盛放防干燥液，所述流量控制单元用于控制所述第一通路和所述第二通路交替导通。2.如权利要求1所述的防干燥液供给系统，其特征在于，所述第一通路导通时，流经所述第一通路的防干燥液一部分流至所述第一防干燥槽，另一部分通过所述第三通路流至所述第二防干燥槽；所述第二通路导通时，流经所述第二通路的防干燥液一部分流至所述第二防干燥槽，另一部分通过所述第三通路流至所述第一防干燥槽。3.如权利要求1所述的防干燥液供给系统，其特征在于，所述流量控制单元包括第一控制阀和第二控制阀，所述第一控制阀与所述第一通路连接，所述第二控制阀与所述第二通路连接，所述第一控制阀用于控制所述第一通路导通或关闭，所述第二控制阀用于控制所述第二通路导通或者关闭。4.如权利要求3所述的防干燥液供给系统，其特征在于，所述第一控制阀用于控制流经所述第一通路中的防干燥液的流量；所述第二控制阀用于控制流经所述第二通路中的防干燥液的流量。5.如权利要求3所述的防干燥液供给系统，其特征在于，还包括与所述第三通路连接的第三控制阀，所述第三控制阀用于控制流经所述第三...

【专利技术属性】
技术研发人员：段乐乐，陈崔军，
申请(专利权)人：成都天马微电子有限公司，天马微电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：四川;51