过滤器滤材和过滤器滤材的制造装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术课题在于提供一种过滤器滤材和过滤器滤材的制造装置。该过滤器滤材通过使滤材原材与间隔保持部之间的接触面积变小，从而确保较大的捕集面积并防止滤材原材损伤，而捕集效率较高。过滤器滤材是将构成为能够捕集被过滤气体所含有的颗粒的滤材原材在多处弯曲而形成为皱襞状而成的，该过滤器滤材包括：多个弯曲部，该多个弯曲部是通过将上述滤材原材弯曲而形成的；多个平板部，该多个平板部由滤材原材中的除了弯曲部以外的板状的区域形成并以相对的方式配置；以及间隔保持部，其形成在滤材原材的至少一面侧中的平板部之间而保持相邻的平板部之间的间隔，该间隔保持部以其与滤材原材之间的接触角为90°以上的方式构成。

【技术实现步骤摘要】
过滤器滤材和过滤器滤材的制造装置
本技术涉及一种使构成为能够捕集被过滤气体所含有的颗粒的过滤器滤材弯曲为皱襞状(进行打裥加工)而形成的过滤器滤材和过滤器滤材的制造装置。
技术介绍
以往，作为在制造半导体、液晶的工厂的洁净室等中使用的过滤器滤材，公知有如图4所示那样的过滤器滤材100 (参照专利文献I)。该过滤器滤材100是通过将构成为能够捕集被过滤气体所含有的颗粒的滤材原材200在多处弯曲而形成为皱襞状而成的。该过滤器滤材100包括:多个弯曲部100a，该多个弯曲部IOOa是通过将滤材原材200弯曲而形成的；多个平板部100b，该多个平板部IOOb由滤材原材200中的除了弯曲部IOOa以外的板状的区域形成并以对峙的方式配置；以及多个间隔保持部300，该多个间隔保持部300用于保持相邻的平板部IOObUOOb之间的间隔。该间隔保持部300是通过以下方法形成的:将在滤材原材200的要成为平板部IOOb的各区域上涂敷粘接剂(热熔胶等)而形成的肋部300a相互间在相邻的平板部IOOb之间接合。另外，在形成间隔保持部300时，在肋部300a软化期间(敞露时间)内以使平板部IOOb之间的间隔变窄的方式将皱襞状的滤材原材100压缩，由此将肋部300a相互间压接(接合)而形成间隔保持部300。然而，在像上述那样形成的过滤器滤材100中，如图5所示，有时间隔保持部300与滤材原材200之间的接触角Θ小于90°。例如，在使在形成肋部300a时的粘接剂的温度升高、或在敞露时间的早期阶段将肋部300a相互间压接(接合)了的情况下，会使间隔保持部300中的与滤材原材200之间的接触位置的附近的形状变形而使接触角Θ小于90°。这样，当接触角小于90°时，会使间隔保持部300与滤材原材200之间的接触面积增加，因此使能够捕集被过滤气体中的颗粒的面积(以下称作捕集面积)减少。另外，若间隔保持部300与滤材原材200之间的接触面积增加，则在形成间隔保持部300时的肋部300a的热收缩等影响下，会使滤材原材200中的与间隔保持部300之间的接触部分产生应力，这有可能使滤材原材200损伤。专利文献1:日本特开平09 - 313856号公报
技术实现思路
因此，本技术的一个课题在于提供一种这样的过滤器滤材:通过使滤材原材与间隔保持部之间的接触面积变小，从而确保较大的捕集面积并且防止滤材原材损伤，而捕集效率较高。另外，本技术的另一课题在于，提供一种该过滤器滤材的制造装置。本技术提供一种过滤器滤材，其是将构成为能够捕集被过滤气体所含有的颗粒的滤材原材在多处弯曲而形成为皱襞状而成的，该过滤器滤材包括:多个弯曲部,该多个弯曲部是通过将上述滤材原材弯曲而形成的；多个平板部,该多个平板部由滤材原材中的除了弯曲部以外的板状的区域形成并以相对的方式配置；以及间隔保持部，其形成在滤材原材的至少一面侧中的平板部之间而保持相邻的平板部之间的间隔，该间隔保持部以其与滤材原材之间的接触角为90°以上的方式构成。采用该结构，通过使间隔保持部与滤材原材之间的接触角Θ为90°以上，从而使间隔保持部与滤材原材之间的接触面积变小，因此能够确保过滤器滤材中的较大的捕集面积。另外，通过使间隔保持部与滤材原材之间的接触面积较小，能够防止因在间隔保持部与滤材原材之间产生的应力而使滤材原材损伤。通过以上方法,能够获得捕集效率较高的过滤器滤材。优选的是，上述间隔保持部沿着平板部呈线状形成，上述接触角是在间隔保持部中的与长度方向交叉的截面上测定的值。采用该结构，由于间隔保持部中的与长度方向交叉的截面上的接触角Θ为90。以上，因此，能够使间隔保持部与滤材原材之间的沿着间隔保持部的长度方向的接触面积变小。优选的是，上述滤材原材包括:多孔质层，其构成为能够捕集被过滤气体所含有的颗粒；以及透气性的基材层，其粘合于该多孔质层的至少一个面，该滤材原材构成为，通过使基材层介于上述间隔保持部与多孔质层之间，从而使间隔保持部与多孔质层不接触。采用该结构，由于通过使接触角Θ为90。以上而使间隔保持部与滤材原材之间的接触面积变小，因此能够使间隔保持部以不经由(透过)基材层与多孔质层接触的方式形成。由此，能够防止间隔保持部向滤材原材渗透而到达多孔质层，从而能够防止多孔质层被间隔保持部直接施加应力并能够防止多孔质层损伤。本技术提供一种过滤器滤材的制造装置，其用于制造过滤器滤材，该过滤器滤材是通过将用于捕集被过滤气体所含有的颗粒的滤材原材在多处弯曲而形成为皱襞状而成的，该过滤器滤材包括:多个弯曲部，该多个弯曲部是通过将滤材原材沿着一个方向弯曲而形成的；多个平板部，该多个平板部由滤材原材中的除了弯曲部以外的板状的区域形成并以相对的方式配置；以及间隔保持部，其形成在滤材原材的至少一面侧中的平板部之间而保持相邻的平板部之间的间隔，以使肋部与滤材原材之间的接触角为90°以上的方式在滤材原材中的要成为平板部的各区域的至少一个面上涂敷粘接剂而形成肋部，并在相对的平板部之间将肋部相互间连结，由此形成上述间隔保持部。优选的是，上述肋部沿着滤材原材的一个方向呈线状形成，并且在肋部中的与长度方向交叉的截面上测定上述接触角。如上所述，采用本技术，通过使滤材原材与间隔保持部之间的接触面积较小，能够确保较大的捕集面积并防止滤材原材损伤，从而能够提高捕集效率。【附图说明】图1是表示本实施方式的过滤器滤材的立体图。图2是表示本实施方式的过滤器滤材所使用的滤材原材的立体图和局部放大剖视图。图3 (a)是利用沿着高度方向和长度方向延伸的面剖切图1的过滤器滤材而成的剖视图，图3 (b)是利用沿着过滤器滤材的长度方向和宽度方向延伸的面剖切图1的过滤器滤材的间隔保持部重叠部而成的剖视图。图4是以往的过滤器滤材的立体图。图5是利用沿着高度方向和长度方向延伸的面剖切图4的过滤器滤材而成的剖视图。附图标记说明1、过滤器滤材；la、弯曲部；lb、平板部；2、滤材原材；2a、多孔质层；2b、基材层；3、间隔保持部；3a、肋部；A1、弯曲部预定区域；A2、平板部预定区域；B1、间隔保持部重叠部。【具体实施方式】以下，参照图1~图3 (b)说明本技术的实施方式。另外，在以下的附图中，对相同或者相当的部分标注相同的参照附图标记，不重复其说明。如图1所示，本实施方式的过滤器滤材I是通过将构成为能够捕集被过滤气体所含有的颗粒的滤材原材2在多处弯曲而形成为皱襞状而成的过滤器滤材(以下也记作打裥加工)。另外，过滤器滤材I包括:多个弯曲部la，该多个弯曲部Ia是通过将滤材原材2弯曲而形成的；多个平板部Ib (具体地讲是弯曲部la、la之间的平板状的部位)，该多个平板部Ib由过滤器滤材的除了该弯曲部Ia以外的板状的区域形成并以对峙的方式配置；以及多个间隔保持部3，该多个间隔保持部3形成在滤材原材2的一面侧中的各平板部Ib和另一面侧中的各平板部Ib之间 而保持相邻的平板部lb、lb之间的间隔。如图2所示，在将粘接剂涂敷在以使一个方向成为长度方向的方式形成的滤材原材2上而形成有肋部3a的状态下，使该滤材原材2弯曲为皱襞状而形成该过滤器滤材I。滤材原材2包括用于捕集被过滤气体所含有的颗粒的多孔质层2a、和具有透气性且层叠于该多孔质层2a的至本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种过滤器滤材，其是将构成为能够捕集被过滤气体所含有的颗粒的滤材原材在多处弯曲而形成为皱襞状而成的，其特征在于，该过滤器滤材包括：多个弯曲部，该多个弯曲部是通过将上述滤材原材弯曲而形成的；多个平板部，该多个平板部由滤材原材中的除了弯曲部以外的板状的区域形成并以相对的方式配置；以及间隔保持部，其形成在滤材原材的至少一面侧中的平板部之间而保持相邻的平板部之间的间隔，该间隔保持部以其与滤材原材之间的接触角为90°以上的方式构成。

【技术特征摘要】
2013.03.29 JP 2013-0751671.一种过滤器滤材，其是将构成为能够捕集被过滤气体所含有的颗粒的滤材原材在多处弯曲而形成为皱襞状而成的，其特征在于， 该过滤器滤材包括: 多个弯曲部,该多个弯曲部是通过将上述滤材原材弯曲而形成的； 多个平板部，该多个平板部由滤材原材中的除了弯曲部以外的板状的区域形成并以相对的方式配置；以及 间隔保持部，其形成在滤材原材的至少一面侧中的平板部之间而保持相邻的平板部之间的间隔， 该间隔保持部以其与滤材原材之间的接触角为90°以上的方式构成。2.根据权利要求1所述的过滤器滤材，其特征在于， 上述间隔保持部沿着平板部呈线状形成，上述接触角是在间隔保持部中的与长度方向交叉的截面上测定的值。3.根据权利要求1或2所述的过滤器滤材，其特征在于， 该滤材原材包括: 多孔质层，其构成为能够捕集被过滤气体所含有的颗粒；以及 透气性的基材层，其粘合于该多孔质层的至...

【专利技术属性】
技术研发人员：仁木隆志，新井雅弘，内山志穗，
申请(专利权)人：日东电工株式会社，
类型：新型
国别省市：日本;JP