【技术实现步骤摘要】
一种蚀刻机辅助安全设备所属
本专利技术涉及一种蚀刻机辅助安全设备。
技术介绍
目前，蚀刻机广泛应用于半导体和LED制造领域。由于蚀刻机内部的反映气体有剧毒，目前广泛应用各种监控报警设备进行不间断的检测，必要时即时切断气体输入与关闭机器。人工值守与机械电控的配合通常较为复杂，并且经济效益较低。如何让设备在异常情况下，例如纯水压力异常的情况下，自动切断气体输入成为一个亟待解决的问题。
技术实现思路
为了克服现有的蚀刻机监控设备需要人工值守，机械电控设备复杂不可靠的问题，本专利技术提供一种蚀刻机辅助安全设备，该蚀刻机辅助安全设备结构简单，安全可靠，可以在纯水压力异常的情况下自动切断剧毒反应气体的输入。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种蚀刻机辅助安全设备，在腔体中安装有弹簧，弹簧的一端连接阀杆，阀杆穿过腔体的侧壁连接鼓膜，腔体壁上设置有进气口和出气口，阀杆可以关闭出气口，鼓膜设置在进水口和出水口之间的水管中。本专利技术的有益效果是，结构简单，安全可靠，可以在纯水压力异常的情况下自动切断剧毒反应气体的输入。【附图说明】下面结合附图和实施例对本专利技术进一步说明。图1是本专利技术的结构示意图。图中1.腔体，2.弹簧，3.进气口，4.出气口，5.阀杆，6.鼓膜，7.水阀，8.出水口，9.进水口。【具体实施方式】在图1中，一种蚀刻机辅助安全设备，其特征是:在腔体I中安装有弹簧2，弹簧2的一端连接阀杆5，阀杆5穿过腔体I的侧壁连接鼓膜6，腔体I壁上设置有进气口 3和出气口 4，阀杆5可以关闭出气口 4，鼓膜6设置在进水口 8和出水口 9之间的水管中。进...
【技术保护点】
一种蚀刻机辅助安全设备，其特征是：在腔体中安装有弹簧，弹簧的一端连接阀杆，阀杆穿过腔体的侧壁连接鼓膜，腔体壁上设置有进气口和出气口，阀杆可以关闭出气口，鼓膜设置在进水口和出水口之间的水管中。
【技术特征摘要】
1.一种蚀刻机辅助安全设备，其特征是:在腔体中安装有弹簧，弹簧的一端连接阀杆，阀杆穿过腔体的侧壁连接鼓膜，腔体壁上设置有进气口和出气口，阀杆可以关闭出气口，鼓膜设置在进水口和出水口之...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙冒田，
申请(专利权)人：徐州天太机械制造有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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