感应加热的汽泡驱动微泵制造技术

感应加热的汽泡驱动微泵，属于微流控系统领域。泵体由微流控上芯片（1）、加热盘（7）、玻璃基底（8）与励磁线圈（11）组成；流控上芯片（1）的结构由进液口（2）、微流道I（3）、微腔体（4）、微流道II（5）与出液口（6）组成；微泵利用微腔体（4）内的液体由感应电涡流进行加热，使其部分发生汽化，生成汽泡，由汽泡膨胀变大瞬间而产生的压力脉冲来驱动，可以实现对微量液体泵送的功能。本发明专利技术微泵内部无活动构件，减少了污染来源与机械故障，同时，具有大流量输出且可控的特点，在疾病诊断、药物输送、燃料供给和环境检测等多种领域有广泛的应用前景。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
感应加热的汽泡驱动微泵，其特征在于：泵体由微流控上芯片（1）、加热盘（7）、玻璃基底（8）与励磁线圈（11）组成；流控上芯片（1）的结构由进液口（2）、微流道I（3）、微腔体（4）、微流道II（5）与出液口（6）组成；所述进液口（2）与出液口（6）贯穿微流控上芯片（1）；所述微腔体（4），为微流控上芯片（1）上的圆形腔体结构，其通过微流道I（3）与进液口（2）相连通，微流道II（5）与出液口（6）相连通；所述微流道I（3）与微流道II（5）均为楔形沟道结构，两楔形沟道尖端处宽度相等，微流道I（3）楔形沟槽两对应斜边的夹角a1与微流道II（5）楔形沟槽两对应斜边的夹角a2大小相等，取值范围为8°‑14°，微流道I（3）尖端与进液口（2）相连，微流道I（3）开口端与微腔体（4）相连；微流道II（5）尖端与微腔体（4）相连，微流道II（5）开口端与出液口（6）相连；所述加热盘（7），加工在玻璃基底（8）上表面；所述励磁线圈（11），加工在玻璃基底（8）上，由第一层绝缘层（9）、励磁线圈引线电极I（10）、励磁线圈引线电极II（12）、第二层绝缘层（13）、励磁线圈引线（16）与励磁线圈中心连接点（17）组成，励磁线圈引线（16）加工在玻璃基底（8）下表面上，第一层绝缘层（9）附着于玻璃基板（8）的下表面与励磁线圈引线（16）上，第一层绝缘层（9）的厚度大于励磁线圈引线（16）的厚度，励磁线圈（11）附着于第一层绝缘层（9）上，其中心位置通过励磁线圈中心连接点（17）与线圈引线（15）相连，第二层绝缘层（13）附着于第一层绝缘层（9）与励磁线圈（11）上，第二层绝缘层（13）的厚度大于励磁线圈（11）的厚度，并在励磁线圈引线电极I（10）处加工出贯通孔I（14），励磁线圈引线电极II（12）处加工出贯通孔II（15）；所述励磁线圈（11），形状为多边形或圆形平面螺旋线圈，单层线圈匝数为（5）匝到30匝；所述的励磁线圈引线电极I（10）和励磁线圈引线电极II（12），分别连接交流电源两个输出端，给励磁线圈（11）通入交流电流。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘本东，候岳鹏，
申请(专利权)人：北京工业大学，
类型：发明
国别省市：北京;11