光学模块以及电子设备制造技术

本发明专利技术涉及光学模块以及电子设备。其中，光学模块具有固定基板（51）、可动基板（52）、设在固定基板（51）的固定反射膜（54）、设在可动基板（52）并与固定反射膜（54）相对的可动反射膜（55）、在滤波器俯视观察中设在固定反射膜（54）的外侧的第一控制电极（571）、在滤波器俯视观察中设在可动反射膜（55）的外侧且与第一控制电极（571）相对的第二控制电极（572）、以及使第一控制电流流过第一控制电极（571）、使在滤波器俯视观察中与第一控制电流方向相反的第二控制电流流过第二控制电极（572）的倾斜控制部。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术涉及光学模块以及电子设备。其中，光学模块具有固定基板（51）、可动基板（52）、设在固定基板（51）的固定反射膜（54）、设在可动基板（52）并与固定反射膜（54）相对的可动反射膜（55）、在滤波器俯视观察中设在固定反射膜（54）的外侧的第一控制电极（571）、在滤波器俯视观察中设在可动反射膜（55）的外侧且与第一控制电极（571）相对的第二控制电极（572）、以及使第一控制电流流过第一控制电极（571）、使在滤波器俯视观察中与第一控制电流方向相反的第二控制电流流过第二控制电极（572）的倾斜控制部。【专利说明】光学模块以及电子设备
本专利技术涉及光学模块以及电子设备。
技术介绍
现有技术中，已知有具有彼此相对的一对反射膜，通过改变该反射膜之间的间隙尺寸，从而从测定对象的光中取出规定波长的光的波长可变干涉滤波器(例如，参照专利文献I)。专利文献I所述的波长可变干涉滤波器(光谐振器)具有彼此相对的第一基板以及第二基板、分别配置在各基板上并间隔着反射膜之间的间隙彼此相对的反射膜，以及分别配置在各基板上并彼此相对的电极。在这样的波长可变干涉滤波器中，通过向电极之间施加电压，使隔膜变形，从而能够调整反射膜间间隙。可是，在上述专利文献I的波长可变干涉滤波器中，例如在隔膜的刚性或厚度尺寸不均匀的情况下，当改变反射膜间间隙的间隙尺寸时，隔膜无法均匀挠曲，有反射膜彼此之间的平行度恶化之忧。并且，在未向电极之间施加电压的初始状态，也存在反射膜彼此之间未维持平行的情况，这时，如果通过静电引力变更间隙尺寸，则存在导致反射膜彼此之间的平行度进一步恶化，波长可变干涉滤波器的分辨率降低的课题。先行技术文献专利文献专利文献1:日本专利特开平7-243963号公报
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种具有高分辨率的光学模块以及电子设备。本专利技术的光学模块，其特征在于，具备:第一基板；与所述第一基板相对配置的第二基板；设在所述第一基板上，使入射光的一部分反射一部分透过的第一反射膜；设在所述第二基板上，与所述第一反射膜相对，使入射光的一部分反射一部分透过的第二反射膜；设在所述第一基板上的第一控制电极；设在所述第二基板上，与所述第一控制电极相对的第二控制电极；以及，使第一控制电流在沿所述第一基板的基板面的第一方向流过所述第一控制电极，并使第二控制电流在沿所述第二基板的基板面且在从基板厚度方向观察所述第一基板和所述第二基板的俯视观察中与所述第一方向方向相反的第二方向流过所述第二控制电极的倾斜控制部。在本专利技术中，第一控制电极和第二控制电极彼此相对，流过第一控制电极的第一控制电流和流过第二控制电极的第二控制电流为相反方向。因此，第一控制电极以及第二控制电极分别作用有洛伦兹力的斥力。当与第一控制电极以及第二控制电极的曲率半径相t匕，第一控制电极和第二控制电极之间的间隙尺寸充分小时，洛伦兹力与第一控制电极以及第二控制电极之间的间隙尺寸成反比例，因此，间隙尺寸较大部分作用有较小的斥力，但间隙尺寸较小的部分作用有较大的斥力。也就是说，第二基板相对于第一基板倾斜时，为了抑制该倾斜而作用有所述斥力，能够抑制第一反射膜和第二反射膜的平行度的恶化。从而，能够维持光学模块的高分辨率。 优选地，在本专利技术的光学模块中，所述第一控制电极和所述第二控制电极之间的间隙尺寸小于所述第一反射膜和所述第二反射膜之间的间隙尺寸。在本专利技术中，当通过间隙变更部变更反射膜间间隙尺寸时，第一控制电极和第二控制电极相接触，从而能够防止第一反射膜和第二反射膜接触，能够防止由于接触导致的第一反射膜和第二反射膜的劣化。优选地，在本专利技术的光学模块中，所述第一控制电极设在所述俯视观察中所述第一反射膜的外侧，所述第二控制电极设在所述俯视观察中所述第二反射膜的外侧。在本专利技术中，第一控制电极和第二控制电极分别设在第一反射膜和第二反射膜的外侧。在这样的结构中，能够扩大第一反射膜和第二反射膜的有效面积(通过干涉使所需波长的光透过或反射的区域的面积)。并且，当采用第一反射膜和第二反射膜与第一控制电极和第二控制电极不接触(绝缘状态)的结构时，如果作为第一反射膜和第二反射膜采用具有导电性的材料，则也能够将该第一反射膜和第二反射膜用作例如检测电容用电极等的电极。优选地，在本专利技术的光学模块中，在所述俯视观察中所述第一控制电极与所述第一反射膜重叠设置，在所述俯视观察中所述第二控制电极与所述第二反射膜重叠设置。在本专利技术中，第一控制电极设在与第一反射膜重叠的区域，第二控制电极设在与第二反射膜重叠的区域。因此，通过第一控制电极和第二控制电极使斥力直接作用于设有第一反射膜和第二反射膜的区域，从而能够更高精度地改善反射膜的倾斜，进而能够进一步提闻平行度。优选地，在本专利技术的光学模块中，所述第一控制电极和所述第二控制电极中的至少任一方电极在与另一方电极相对的面设有绝缘膜。在本专利技术中，能够防止第一控制电极和第二控制电极相接触时的短路。优选地，本专利技术的光学模块具备:变更所述第一反射膜和所述第二反射膜之间的间隙尺寸的间隙变更部。在本专利技术中，能够通过间隙变更部变更第一反射膜和第二反射膜之间的间隙尺寸，从而能够变更透过第一反射膜和第二反射膜的光的波长。并且，通过间隙变更部变更间隙尺寸时，例如由于第二基板的刚性等的影响，有时第二基板不均匀挠曲，而使第二反射膜相对于第一反射膜倾斜。与此相对，在本专利技术中，通过倾斜控制部控制流过第一控制电极和第二控制电极的第一控制电流和第二控制电流，从而能够使斥力作用于抑制所述倾斜的方向。因此，能够适当地维持第一反射膜和第二反射膜的平行度。优选地，在本专利技术的光学模块中，当通过所述间隙变更部变更所述间隙尺寸时，直到结束所述间隙尺寸的变动为止，所述倾斜控制部使所述第一控制电流和所述第二控制电流流过。如果通过间隙变更部使第二基板挠曲，则由于第二基板所具有的弹力，该第二基板发生振动，反射膜之间的间隙尺寸发生变化。在此，如上所述，通过使第一控制电流流过第一控制电极，使第二控制电流流过第二控制电极，从而能够在各电极产生洛伦兹力的斥力，间隙尺寸越小该洛伦兹力越大。因此，通过在第二基板振动期间，使控制电流在第一控制电极和第二控制电极持续流动，从而洛伦兹力作用以使第二基板的振动静止，能够缩短到第二基板的振动结束为止的时间(稳定化时间)。本专利技术的光学模块的特征在于，具备:使入射光的一部分反射一部分透过的导电性的第一反射膜；与所述第一反射膜相对，使入射光的一部分反射一部分透过的导电性的第二反射膜；以及，使第一控制电流在沿所述第一反射膜的面方向的第一方向流过所述第一反射膜，并使第二控制电流在沿所述第二反射膜的面方向且在从膜厚方向观察所述第一反射膜和所述第二反射膜的俯视观察中与所述第一方向方向相反的第二方向流过所述第二反射膜的倾斜控制部。在本专利技术中，第一反射膜和第二反射膜彼此相对,流过第一反射膜的第一控制电流和流过第二反射膜的第二控制电流为相反方向。因此，第一反射膜和第二反射膜分别作用有洛伦兹力的斥力。从而，能够抑制第一反射膜和第二反射膜的平行度的恶化，能够提供高分辨率的光学模块。并且，在本专利技术中，与设置第一控制电极或第二控制电极的结构相比，能够简化结构。并且，能够使斥力直接作用于第一反射膜和第二反射膜。并本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学模块，其特征在于，具备：第一基板；第二基板，与所述第一基板相对配置；第一反射膜，设在所述第一基板上；第二反射膜，设在所述第二基板上，并与所述第一反射膜相对；第一控制电极，设在所述第一基板上；第二控制电极，设在所述第二基板上，并与所述第一控制电极相对；以及倾斜控制部，使第一控制电流在沿所述第一基板的基板面的第一方向流过所述第一控制电极，并使第二控制电流在沿所述第二基板的基板面且从基板厚度方向观察到的所述第一基板和所述第二基板的俯视观察中与所述第一方向方向相反的第二方向流过所述第二控制电极。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：松下友纪，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP