用于处理、加热和冷却衬底的方法和装置，在该衬底上由工具在热可流动材料涂层中制得图案，包括衬底运输、工具搁置、工具张紧以及工具退回制造方法及图纸

工件利用多孔皮带运送，该皮带将工件传送到卡盘，工件通过真空保持在卡盘上。皮带可为多孔PTFE(聚四氟乙烯)。柔性印模在其施加至工件之前被预热，通过例如用真空将印模拉向受热板。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于处理、加热和冷却衬底的方法和装置，在该衬底上由工具在热可流动材料涂层中制得图案，包括衬底运输、工具搁置、工具张紧以及工具退回相关文献这里主张了于2011年9月23日提交的题名为“METHODSANDAPPARATIFORHANDLING,HEATINGANDCOOLINGASUBSTRATEUPONWHICHAPATTERNISMADEBYATOOLINHEATFLOWABLEMATERIALCOATING,INCLUDINGSUBSTRATETRANSPORT,TOOLLAYDOWN,TOOLTENSIONING,ANDTOOLRETRACTION”(“用于处理、加热和冷却衬底的方法和装置，在该衬底上由工具在热可流动材料涂层中制得图案，包括衬底运输、工具搁置、工具张紧以及工具退回”)的美国临时申请No.61/538,542的权益，且其整个公开通过引用而全部结合在本文中。指定美国的PCT申请于同日一起提交，其以1366-0066-0070PCT的代理人卷号通过美国专利和商标局电子送件系统进行提交，题名为“TECHNIQUESFORIMPROVEDIMPRINTINGOFSOFTMATERIALONSUBSTRATEUSINGSTAMPINCLUDINGUNDERFILLINGTOLEAVEAGAPANDPULSINGSTAMP”(“用于利用包括不填满以保留间隙的印模和脉动印模在衬底上改进压印软材料的技术”)，该PCT申请要求享有于2011年9月23日提交的相同标题的美国临时申请No.61/538,489的优先权。该PCT申请在下文中被援引为共同待决申请，并通过引用而全部结合在本文中。优先权临时申请也因而通过引用而全部结合在本文中。介绍在2008年2月15日以EmanuelM.Sachs、JamesF.Bredt和麻省理工学院的名义提交的题名为“SOLARCELLWITHTEXTUREDSURFACES”(“带有纹理表面的太阳能电池”)的指定美国的专利合作条约申请No.PCT/US2008/002058中公开了某些处理机制和架构，其国家阶段是于2012年9月4日以美国专利No.8257998发布的美国专利申请No.12/526,439，并且还主张享有两个于2007年2月15日提交的临时美国申请No.US60/901,511以及于2008年1月23日提交的No.US61/011,933的优先权。所有PCT申请、美国专利、专利申请和两个美国临时申请都通过引用而全部结合在本文中。在这些申请中公开的技术在本文中被总称为自对准电池(SAC)技术。在2009年4月17日以BenjaminF.Polito、HollyG.Gates和EmanuelM.Sachs以及麻省理工学院和1366工业公司的名义提交的题名为“WEDGEIMPRINTPATTERNINGOFIRREGULARSURFACE”(“不规则表面的楔形压印图案形成”)的指定美国的专利合作条约申请No.PCT/US2009/002423中公开了某些另外的处理方法和装置，其国家阶段是美国专利申请No.12/937,810，并且还主张享有两个于2008年4月18日提交的临时美国申请No.US61/124,608以及于2008年12月12日提交的No.US61/201,595的优先权。所有PCT申请、美国专利申请和两个美国临时申请都通过引用而全部结合在本文中。在该段落提及的申请中公开的技术在本文中被总称为楔形压印技术或楔压(wedging)技术，但在某些情况下可使用具有不同于楔形的形状的突部。相关申请在下文中被称为楔压申请。简要地说，这种楔形压印技术包括方法。用于光伏和其它用途的带有特定纹理的形成图案的衬底被制成。参照图1、2、3、4和5及6所示，衬底通过将柔性印模110的突部112压印到抗蚀剂材料的薄层202上而制成，薄层202覆盖衬底晶片204。使用的印模工具具有材料(通常弹性体)，其足够软，使得工具在与衬底或晶片204接触时变形，之前已在衬底或晶片上涂敷了抗蚀剂涂层202。图3显示了刚与抗蚀剂202的表面203接触的印模110的突部112。抗蚀剂在加热时变软，并在热量和压力的条件下移离突部112处的压印位置，揭露突部附近的衬底区域。(抗蚀剂可在突部与抗蚀剂接触之前或之后或前后两者以及该过程中被加热)。衬底然后随印模110一起就地冷却，如图5中所示除去印模，留下衬底区域522暴露于孔521下面，抗蚀剂已从孔中移走。衬底进一步经受某些成型处理，通常是蚀刻处理。衬底的暴露部分522通过例如蚀刻作用除去，并且由抗蚀剂保护的衬底部分保留下来，其分别如图6中的622(蚀刻掉)和623(未蚀刻或较少蚀刻)所示。对于某些应用，印模突部还可在与抗蚀剂材料接触时不变形，而是，简单地由于其体积，它们置换足够抗蚀剂，使得蚀刻可发生。例如，这可发生在突部扁平末端时，并且简单地通过迫使它们进入抗蚀剂材料中，抗蚀剂会移离其原始位置。典型的衬底是硅，并且典型的抗蚀剂是蜡或蜡、树脂和松脂的混合物。印模可一再重复使用。印模的突部可为离散的、间隔开的，例如所示的锥体元件112。或者，它们可为扩展的楔形元件，例如楔压申请中所示。或者，它们可为其组合或任何其它合适的形状，其可造成抗蚀剂材料移离原始覆盖条件。因而，印模用于对工件上的抗蚀剂层形成图案，其然后经受不同的成型步骤以使工件成型。工件然后可用于光伏或其它用途。可提供给工件的纹理包括延伸的槽、离散的间隔开的凹坑和其组合、以及其中间体。基于压板的技术可用于对工件形成图案。粗糙且不规则的工件衬底可通过利用扩展的印模元件来适应，以确保印模的成型部分与工件的表面接触。在楔压申请和上文中所述的方法在此被称为楔形压印或楔压。有利的是用于施加这种图案的技术能够相对快速地生产形成图案的元件。还有利的是在不损坏衬底的条件下提供这种元件。如果在压印图案时将太大力施加至衬底，这种损伤就可能出现。损伤还可由于热循环而出现，应用热循环以使可流动材料变软以用于形成图案，然后再次使其硬化以用于保持这种图案。这种损伤还可由于工具与衬底分离而出现，衬底被可流动材料覆盖。能够加热和冷却衬底及其上面的可流动材料通常也是有利的。具有可快速加热和/或冷却衬底但不在晶片中引起不可接受应力的加热和冷却系统将是有利的，应力可造成晶片破裂。如果在工具与涂敷抗蚀剂的晶片之间捕获了空气，可能出现其它潜在的问题。捕获的空气引起难以预测和控制的不希望的压力状况，因为这种捕获的空气还可引起虚假的非均匀压力位置和因而在抗蚀剂中形成的孔尺寸的不规则性。有利的是，在工具和抗蚀剂层之间具有最小且理想地没有捕获的空气。重要的还有能够安全且快速地将衬底移动到处理工位，然后在对其进行处理时保持衬底工件，并且安全且快速地将其移至后续的处理工位。重要的还有能够将印模施加至衬底，然后从衬底将其除去而不损坏衬底且还不干扰可流动材料，该材料将要形成图案或者刚刚形成图案。因为工具在处理期间被加热和冷却，因而可出现另一问题。这可引起尺寸变化，其然后将引起抗蚀剂材料中所制成图案的不希望的尺寸差异。因而，期望具有一种系统，该系统可快速且安全地操纵衬底，将其移动到处理工位，然后在对其进行处理时保持衬底工件，且然后安全且本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种将柔性工具施加至衬底并将可流动层施加于其表面上的方法，包括以下步骤；a.在带有衬底的环境中提供包括平坦柔性元件的柔性工具，所述平坦元件携带图案且还处于张力下，所述张力在所述柔性元件的平面中在所有方向上基本相等；b.使所述柔性元件与受热的可流动层接触，所述柔性工具的加热程度相对于张力程度可使得所述柔性工具在所述接触步骤中保持在张力下。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.09.23 US 61/538,5421.一种将柔性工具施加至衬底并将可流动层施加于其表面上的方法，包括以下步骤；a．在带有衬底的环境中提供包括平坦柔性元件的柔性工具，所述平坦柔性元件携带图案且还处于张力下，所述张力在所述平坦柔性元件的平面中在所有方向上基本相等；b．使所述平坦柔性元件与受热的可流动层接触，所述柔性工具的加热程度相对于张力程度可使得所述柔性工具在所述接触步骤中保持在张力下。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述热通过对所述衬底、所述柔性工具和所述环境中的至少一个加热来建立。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述加热的程度使得携带于所述工具上的所述图案的尺寸不变化。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，提供处于张力的平坦柔性元件的步骤包括提供与应变相对应程度的张力下的平坦柔性元件，所述应变超过由所述柔性工具的热膨胀造成的最大应变，所述柔性工具在加热步骤中可自由膨胀到该最大应变。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述柔性工具具有中心和周边，所述衬底也具有中心和周边，所述方法还包括使所述柔性工具的中心朝所述衬底的中心前进的步骤，使得在所述工具的任何其它部分接触所述衬底之前，所述柔性工具的中心接触所述衬底的中心。6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，使所述柔性工具的中心前进的步骤包括使所述柔性工具充气。...

【专利技术属性】
技术研发人员：EM萨赫斯，PE凯恩，HG加特斯，DW哈里斯，BF波利托，HA伊尼里奥，
申请(专利权)人：一三六六科技公司，
类型：发明
国别省市：美国;US