【技术实现步骤摘要】
一种纟目片自动定位器
本技术属于石英晶体元器件的设备领域,具体是一种钥片自动定位器。
技术介绍
目前在石英晶体制造过程中,钥片的定位主要靠手动完成,在钥片手动定位器的底座与盖座定位过程中,上下的钥片容易出现移位偏差,从而导致如下缺陷:第一、离子枪刻蚀耗用高,导致离子枪故障率高,维护率高;第二、微调载条刻蚀损耗严重,维护治具的成本高;第三、刻蚀时间延长导致微调时间延长,造成微调效率低和产能低;第四、造成微调载条受损,导致直接刻蚀到被银电极,微调前后的电阻上升,微调优良率低,形成生产成本上升;第五、造成产品的电气特性(FL —致性、DLD—致性)和信赖性变差。随着石英晶体向小型化规格发展,设备使用厂家对设备制程能力要求逐步提高,精度要求及耗用要求提高,现有的手动钥片定位器已经不能满足要求。
技术实现思路
本技术的目的是在克服手动定位器所存在的缺陷,提供一种能解决底座与盖座自动准确对位,上下的钥片不会出现移位偏差的钥片自动定位器。本技术采用以下技术方案实现:一种钥片自动定位器,包括底座、钥片、盖座,其特征在于:底座由底板和底架构成,盖座由盖板和盖架构成,底架与底板、盖板与盖架均通固定螺丝固定,钥片由工位及大小一致的上钥片与下钥片组成,盖板与底板具有相同的卡位凹槽、通孔及螺纹孔,下钥片、上钥片分别与底板及盖板的中间部位有对应的卡位凹槽、通孔及螺纹孔,底座与下钥片用内六角螺丝固定,盖座与上钥片用内六角螺丝固定,底座与盖座有对应的卡位凹槽,底座、盖座、上下钥片对应位置的卡位凹槽内用陶瓷球定位,通过内六角螺丝将底座与盖座组装形成钥片自动定位器。本技术底座、盖座、 ...
【技术保护点】
一种钼片自动定位器,包括底座(1)、钼片(9)、盖座(2),其特征在于:底座(1)由底板(3)和底架(11)构成,盖座(2)由盖板(4)和盖架(12)构成,底架(11)与底板(3)、底板(3)和底架(11)均通过固定螺丝(15)固定,钼片(9)由工位及大小一致的上钼片与下钼片组成,盖板(4)与底板(3)具有对应的卡位凹槽一(6)、卡位凹槽二(7)、卡位凹槽三(8)、通孔(5)及螺纹孔(10),下钼片、上钼片分别与底板(3)及盖板(4)的中间部位有对应的卡位凹槽二(7)、卡位凹槽三(8)、通孔(5)及螺纹孔(10),底座(1)与下钼片、盖板(4)与上钼片均通过内六角螺丝(14)固定,底座(1)、钼片(9)、盖座(2)对位对应位置的卡位凹槽内用陶瓷球(13)定位,通过内六角螺丝(14)将底座(1)与盖座(2)组装形成钼片自动定位器。
【技术特征摘要】
1.一种钥片自动定位器,包括底座(1)、钥片(9)、盖座(2),其特征在于:底座(1)由底板(3)和底架(11)构成,盖座(2)由盖板(4)和盖架(12)构成,底架(11)与底板(3)、底板(3)和底架(11)均通过固定螺丝(15)固定,钥片(9)由工位及大小一致的上钥片与下钥片组成,盖板(4)与底板(3)具有对应的卡位凹槽一 (6)、卡位凹槽二(7)、卡位凹槽三(8)、通孔(5)及螺纹孔(10),下钥片、上钥片分别与底板(3)及盖板(4)的中间部位有对应的卡位凹槽二(7)、卡位凹槽三(8)、通孔(5)及螺纹孔(10),底座(1)与下钥片、盖板(4)与上钥片均通过内六角螺丝(14 )固定,底座(1)、钥片(9 )、盖座(2 )对位对应位置的卡位凹槽内用陶瓷球(13)定位,通过内六角螺丝(14)将底座(1)与盖座(2)组装形成钥片自动定位器。2.根据权利要求1所述的钥片自动定位器,其特征在于:底板(3)四周有十二个卡位凹槽一(6)和十二个通孔(5),内壁有四个螺纹孔(10),中间部位有四个卡位凹槽二(7)、四个卡位凹槽三(8)、二个通孔(5)和二个螺纹孔(1...
【专利技术属性】
技术研发人员:汤阳武,吴宗泽,王臻,李雄伟,陈伟富,林土全,
申请(专利权)人:浙江东晶电子股份有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江;33
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。