【技术实现步骤摘要】
一种微机械RF开关
本设计涉及一种微机械RF开关,属于射频电子
。
技术介绍
微机械RF开关通常的驱动方法有静电驱动、压电驱动、电磁驱动及热驱动等。静电驱动利用带电体之间的静电力实现,是MEMS开关中最简单和最常 用的驱动方式,具有极低的功耗。静电驱动的接触式MEMS开关主要包括纵向和横向两种结构。纵向接触是指开关动作方向垂直于衬底平面,而横向接触是指开关动作方向平行于衬底平面。横向结构在于电容极板面积小,虽然阻尼减小,但不易获得大的驱动力,开关速度不高,需要进行设计优化。
技术实现思路
针对现有技术的不足,本设计的目的是提供一种微机械RF开关,本文采用静电驱动的横向开关结构,利用平板电容的静电吸引力和金属弹簧的弹性力,实现开关的通断。为实现上述目的,本设计是通过以下技术手段来实现的: 一种微机械RF开关,其特征在于:包括电容、弹簧、绝缘块、触头、RF信号线,其中电容由活动极板和固定极板构成;所述弹簧一端与固定点连接,一端与活动极板连接,所述触头位于活动极板下方,触头与活动极板之间通过绝缘块隔离,所述固定极板位于活动极板与触头之间,所述触头下方设有RF信号线。优选的,所述的一种微机械RF开关,其特征在于:在开所述弹簧在所述电容的静电力作用下,可产生拉长,使所述触头发生平动,触头与RF信号线接触,实现RF信号线的连通。优选的,所述的一种微机械RF开关,其特征在于:所述弹簧可在弹簧恢复力的作用下,可产生收缩,使触头与RF信号线分离。优选的,所述的一种微机械RF开关,其特征在于:所述电容、弹簧、触头、RF信号线金属部分为Au,所述绝缘块采用 ...
【技术保护点】
一种微机械RF开关,其特征在于:包括电容、弹簧、绝缘块、触头、RF信号线,其中电容由活动极板和固定极板构成;所述弹簧一端与固定点连接,一端与活动极板连接,所述触头位于活动极板下方,触头与活动极板之间通过绝缘块隔离,所述固定极板位于活动极板与触头之间,所述触头下方设有RF信号线。
【技术特征摘要】
1.一种微机械RF开关,其特征在于:包括电容、弹簧、绝缘块、触头、RF信号线,其中电容由活动极板和固定极板构成;所述弹簧一端与固定点连接,一端与活动极板连接,所述触头位于活动极板下方,触头与活动极板之间通过绝缘块隔离,所述固定极板位于活动极板与触头之间,所述触头下方设有RF信号线。2.如权利要求1所述的一种微机械RF开关,其特征在于:在开所述弹簧在所...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨俊民,
申请(专利权)人:苏州锟恩电子科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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