一种新型半导体激光器腔面镀膜夹具制造技术

本实用新型专利技术涉及一种新型半导体激光器腔面镀膜夹具，包括T型栓，夹具外壳和内嵌组合模块，夹具外壳的中央设置有第一矩形通槽，在第一矩形通槽的中下部设置有向夹具外壳的两侧延伸的凹槽，夹具外壳的上表面与第一矩形通槽之间设置有横梁，横梁中间设置有贯穿横梁的贯穿通孔，横梁上设置有与夹具外壳垂直的、穿过贯穿通孔的第一螺孔，内嵌组合模块为与第一矩形通槽相契合的矩形形状，内嵌组合模块的中下部设置有向两侧延伸的槽型凸起；内嵌组合模块嵌入夹具外壳内部的第一矩形通槽中，T型栓插入贯穿通孔中并用插入第一螺孔的螺钉固定。本实用新型专利技术能够降低装片过程中对半导体激光器条的机械损伤和腔面污染，提高半导体激光器条腔面镀膜装片效率。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术涉及一种新型半导体激光器腔面镀膜夹具，包括T型栓，夹具外壳和内嵌组合模块，夹具外壳的中央设置有第一矩形通槽，在第一矩形通槽的中下部设置有向夹具外壳的两侧延伸的凹槽，夹具外壳的上表面与第一矩形通槽之间设置有横梁，横梁中间设置有贯穿横梁的贯穿通孔，横梁上设置有与夹具外壳垂直的、穿过贯穿通孔的第一螺孔，内嵌组合模块为与第一矩形通槽相契合的矩形形状，内嵌组合模块的中下部设置有向两侧延伸的槽型凸起；内嵌组合模块嵌入夹具外壳内部的第一矩形通槽中，T型栓插入贯穿通孔中并用插入第一螺孔的螺钉固定。本技术能够降低装片过程中对半导体激光器条的机械损伤和腔面污染，提高半导体激光器条腔面镀膜装片效率。【专利说明】一种新型半导体激光器腔面镀膜夹具
本技术涉及半导体激光器工艺
，特别涉及一种新型半导体激光器腔面镀膜夹具。
技术介绍
大功率半导体激光器具有全固态，体积小，重量轻，长寿命，高效率，可靠性高，可调制，可稳定低压运转等特点，主要用于固体激光器的泵浦源，并在激光加工，激光焊接，激光打印的等领域有广泛应用。半导体激光器是新一代高新技术的关键元器件，在未来工业发展中占着举足 轻重的作用。作为谐振腔的解理面是半导体激光器的重要组成部分，它对于器件的可靠性有着非常重要的影响。通常的GaAs激光器其自然解理面的反射率约为32%，不是理想值，而且这种自然解理面在空气中容易氧化和遭受周围环境污染，抑制了激光器性能，特别是高功率激光器的使用寿命。而对激光器腔面进行优化镀膜，可以在一定程度上改善激光器的输出特性，提高其输出功率和使用寿命，它已经成为一种广泛应用的改善半导体激光器特性的手段之一。因为半导体激光器单个管芯尺寸很小，通常长度为500至600微米，宽度(腔长)为I至4毫米，高度为120至130微米，所以一般在腔面镀膜时采取半导体激光器解理条形式(每个半导体激光器解理条可以解理成若干个半导体激光器单个管芯)。解理条的高度为120至130微米，宽度(腔长)为I至4毫米，长度为I至3厘米。半导体激光器镀膜夹具的设计必须解决以下基本问题--第一，由于半导体激光器本身材料很脆弱，容易被折断，所以夹具结构必须保证半导体激光器条在夹具内移动时平稳；第二，为了在大批量镀膜时保证所镀膜层的均匀性，夹具设计结构必须使半导体激光器腔面处于统一水平面；第三，夹具设计结构必须保证在腔面镀膜过程中，半导体激光器电极面被遮挡起来，防止被镀上膜；第四，夹具设计结构必须保证在半导体激光器条装条过程中不能对腔面造成损伤。因此，我们设计一种新型半导体激光器腔面镀膜夹具，此夹具设计精巧，易于加工，实用简单，操作方便，减小了装片过程中对半导体激光器条机械损伤和腔面污染，提高了半导体激光器腔面镀膜装片效率。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种用于将半导体激光器芯片装片固定并且便于进行半导体激光器腔面镀膜的新型半导体激光器腔面镀膜夹具。本技术解决上述技术问题的技术方案如下:一种新型半导体激光器腔面镀膜夹具，包括T型栓，夹具外壳和内嵌组合模块，所述夹具外壳的中央设置有第一矩形通槽，在第一矩形通槽的中下部设置有向夹具外壳的两侧延伸的凹槽，夹具外壳的上表面与第一矩形通槽之间设置有横梁，所述横梁中间设置有贯穿横梁的贯穿通孔，所述横梁上设置有与夹具外壳垂直的、穿过贯穿通孔的第一螺孔，所述内嵌组合模块为与第一矩形通槽相契合的矩形形状，所述内嵌组合模块的中下部设置有向两侧延伸的槽型凸起；所述内嵌组合模块嵌入所述夹具外壳内部的第一矩形通槽中，所述T型栓插入所述贯穿通孔中并用插入第一螺孔的螺钉固定。本技术的有益效果是:本夹具设计精巧，易于加工，实用简单，操作方便，利用清洗，不易损坏，使用寿命常等优点。在上述技术方案的基础上，本技术还可以做如下改进。进一步，所述内嵌组合模块包括前置镂空凹形板，中置镂空凹形板，后置镂空凹形板和滑动模块，所述前置镂空凹形板中央设置有第二矩形通槽，所述中置镂空凹形板为U形，所述后置镂空凹形板中央设置有第三矩形通槽，所述前置镂空凹形板、中置镂空凹形板和后置镂空凹形板依次固定为一体，所述滑动模块嵌入中置镂空凹形板的中央的顶部开口的U型空腔内部，并在U型空腔内部自由滑动。 进一步，所述第二矩形通槽的边沿为向内凹的倒角形状。进一步，所述U型空腔的两个竖边之间的距离与第二矩形通槽外层的矩形边沿上的两个长竖边的距离相同。进一步，所述第三矩形通槽的边沿为向内凹的倒角形状。进一步，所述第三矩形通槽外层的矩形边沿上的两个长竖边的距离与U型空腔的两个竖边之间的距离相同。进一步，所述第二矩形通槽内层矩形与第三矩形通槽内层矩形与中置镂空模块中央形成顶部开口的U型空腔。进一步，所述第二矩形通槽的倒角形状的边沿的中上部设置有垂直于第二矩形通槽的长竖边的第一激光器条凹槽。进一步，所述第三矩形通槽的倒角形状的边沿的中上部设置有垂直于第三矩形通槽的长竖边的第二激光器条凹槽。进一步，所述滑动模块包括矩形的上限制滑块和矩形的下限制滑块，所述上限制滑块的底部中央设置有凹槽，所述下限制滑块的顶部中央设置有凹槽，所述上限制滑块和下限制滑块分别在U型空腔内自由滑动。采用上述进一步方案的有益效果是独特的激光器凹槽设计，使装条和取条简单易行，保护半导体激光器条腔面在装条过程中免受污染与损伤；上限制滑块与下限制滑块可以使半导体激光器条在滑轨上自由平稳移动，避免了半导体激光器条在传统夹具移动时，因为受力不均导致折断；上，下限制滑块与半导体激光器条紧密接触，既保证了半导体激光器条固定时力学稳定性，又防止半导体激光器的电极面镀上膜^型栓与固定于第一螺孔中的固定螺钉可以自由调节上，下限制滑块之间的空间距离，此空间距离决定能够装入半导体激光器条数量，适宜大批量生产应用；中置镂空内嵌板的厚度决定装入半导体激光器腔长，对于不同腔长半导体激光器，只需更改中置镂空内嵌板的厚度，其它部件不用更换，就能满足在此夹具上对不同腔长半导体激光器条进行镀膜；前置镂空内嵌板的倒角内凹区域与后置镂空内嵌板的倒角内凹区域的精确尺寸加工能够保证在镀膜过程中多个半导体激光器条腔面处于同一 水平面，确保在腔面镀膜均匀性。【专利附图】【附图说明】图1为本技术整体结构图；图2为本技术前置镂空凹形板、中置镂空凹形板和后置镂空凹形板组合固定后结构图；图3为本技术内嵌组合模块结构图；图4为本技术内嵌组合模块中的上限制滑块和下限值滑块移位后结构图；图5为本技术内嵌组合模块与T型栓安装示意图；图6为本技术前置镂空凹形板结构图；图7为本技术中置镂空凹形板结构图；图8为本技术后置镂空凹形板结构图；图9为本技术激光器条安装示意图；图10为本技术夹具外壳主视图；图11为本技术T型栓、上限值滑块、下限制滑块安装位置示意图；图12为本技术安装激光器条前上限制滑块和下限制滑块的位置示意图；图13为本技术安装一根激光器条后主视图；图14为本技术安装一根激光器条后后视图；图15为本技术安装一根激光器条后移动位置主视图；图16为本技术安装多根激光器条后主视图。附图中，各标号所代表的部件列表如下:1、T型栓,2、夹具外壳,3、内嵌组合模块,4、本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种新型半导体激光器腔面镀膜夹具，其特征在于：包括T型栓（1），夹具外壳（2）和内嵌组合模块（3），所述夹具外壳（2）的中央设置有第一矩形通槽（17），在第一矩形通槽（17）的中下部设置有向夹具外壳（2）的两侧延伸的凹槽，夹具外壳（2）的上表面与第一矩形通槽（17）之间设置有横梁，所述横梁中间设置有贯穿横梁的贯穿通孔，所述横梁上设置有与夹具外壳（2）垂直的、穿过贯穿通孔的第一螺孔（20），所述内嵌组合模块（3）为与第一矩形通槽（17）相契合的矩形形状，所述内嵌组合模块（3）的中下部设置有向两侧延伸的槽型凸起；所述内嵌组合模块（3）嵌入所述夹具外壳（2）内部的第一矩形通槽（17）中，所述T型栓（1）插入所述贯穿通孔中并用插入第一螺孔（20）的螺钉固定。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：徐旭红，陈京湘，崔碧峰，计伟，王晓玲，张松，赵瑞，
申请(专利权)人：北京牡丹电子集团有限责任公司，
类型：新型
国别省市：北京;11