单点锑蒸发装置制造方法及图纸

一种涉及光电阴极产品领域，尤指一种应用于光电阴极制作时的光电阴极蒸发器，用于光电阴极制作中蒸发器结构改进的单点锑蒸发装置。本实用新型专利技术通过T形真空玻璃管组件和滑动组件两部分组成，滑动组件能在磁场力的作用下，在T形真空玻璃管中的滑动，所用的磁场由普通的磁铁产生，磁场的方向与滑块的移动方向一致；主要解决如何改进T形真空玻璃管组件和滑动组件两部分的结构等有关技术问题。本实用新型专利技术的有益效果是：单点T蒸发装置与排气口共用一个通道，减少了接口，提高了工艺制作和产品的可靠性，具有结构合理、使用方便、蒸发量易于控制及提高了产品质量等优点。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光电阴极产品领域，尤指一种主要应用于光电阴极制作时的光电阴极蒸发器，用于光电阴极制作中蒸发器结构的改进装置，是保证产品的真空度，提高阴极质量和延长产品使用寿命的一种改进型的锑蒸发装置。
技术介绍
锑在光电阴极的制作中，是一种重要合成元素。在制作阴极时主要是采用电加热后的溅射方法获得。蒸发量的大小以及均匀性将直接影响生成后的光电阴极的质量。虽然蒸发的原理大致是相同的，但各类蒸发结构差异是较大的，且各有千秋，所以不同的蒸发结构对阴极制作会产生不同的影响。人们对结构合理、使用方便、蒸发量易于控制以及对制成后阴极质量期望等提出了比较高的要求，这些都是锑蒸发装置必须考虑的因素。
技术实现思路
为了克服上述不足之处，本技术的主要目的旨在提供一种改进型的锑蒸发装置，该装置通过T形真空玻璃管组件和滑动组件两部分组成，滑动组件能在磁场力的作用下，在T形真空玻璃管中的滑动，所用的磁场由普通的磁铁产生，磁场的方向与滑块的移动方向一致；该装置通过通道、端口和导电圆导轨的改进，实现接口的减少，提高了工艺制作和产品的可靠性；通过端口与排气台的端口连接，端口与影像增强器端口连接，使得真空系统可以对影像增强器进行真空排气，以便在影像增强器内建成一个只做阴极的真空环境，达到结构合理、使用方便以及对蒸发量易于控制的单点锑蒸发装置。本技术要解决的技术问题是：主要解决如何改进T形真空玻璃管组件和滑动组件两部分的结构问题；要解决导电圆导轨的结构等有关技术问题。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：该装置包括影像增强器、高真空排气台及其光电阴极等部件，还包括：由T形真空玻璃管组件和滑动组件两部分组成单点锑蒸发装置，滑动组件设置在T形真空玻璃管组件内，并在外磁场力的作用下，在T形真空玻璃管组件中滑动，该装置至少包括：T形真空玻璃管组件结构包括：导电圆导轨、端口A和端口B，两根导电圆导轨设置在T形真空玻璃管组件中，并与玻璃管烧结固定后引出，导电圆导轨与滑动组件组成了锑蒸发导电回路，T形真空玻璃管组件的一端口A与高真空排气台的一端口相互连接，另一端口B与影像增强器的端口相互连接；滑动组件结构包括：滑动部分、蒸发舟支撑与导电杆、蒸发舟部分和螺丝，蒸发舟支撑与导电杆的一端插入滑动部分，用螺丝相互固定连接，蒸发舟支撑与导电杆的另一端与蒸发舟部分相互固定连接。进一步的，所述的单点锑蒸发装置的影像增强器与高真空排气台连接，为真空排气结构。进一步的，所述的单点锑蒸发装置的导电圆导轨设为导轨和导电杆结构，其材质为钼材料制成。进一步的，所述的单点锑蒸发装置的滑动部分结构包括：外导电层、滑块、瓷管A、瓷管B、内导电杆、内导电滑套、压缩弹簧、连接件、圆瓷片、外导电滑套、蒸发舟、固定连接件、瓷管C和瓷管D，其中：蒸发舟支撑与导电杆连接蒸发舟，并向其提供加热电流，加热部分由内导电杆、外导电层和瓷管B、瓷管C和瓷管D组成，内导电杆和外导电层在锑蒸发部分通过蒸发舟固定连接件与蒸发舟相互电连接，滑动部分的压缩弹簧通过内导电杆为蒸发舟提供涨紧力，压缩弹簧与两片圆瓷片固定连接，且其间为绝缘结构；蒸发舟支撑与导电杆套在滑块的中心圆孔内，并用螺丝固定连接；连接件分别与内导电滑套、内导电杆点焊连接，内导电滑套与瓷管A之间为滑动结构，瓷管A将内导电滑套与滑块之间为绝缘结构；外导电滑套与滑块是焊接固定结构，外导电滑套与内导电滑套分别套在两根导电圆导轨上，在外磁场的作用下，为自由滑动结构。进一步的，所述的单点锑蒸发装置的滑动组件通过内导电滑套和外导电滑套，分别套在两根导电圆导轨上，并为来回移动结构，电流施加在T形真空玻璃管组件的两根导电圆导轨的外端，其导电传导路径分为内导电电流路径和外导电电流路径，其中：内导电电流路径的电信号依次经由内导电滑套、内导电杆与内导电滑套连接件、内导电杆、蒸发舟固定连接件的一端与锑蒸发舟的一端相互电连接，并通过信号传递形成电回路；外导电电流路径的电信号依次经由外导电滑套、滑块、外导电层、蒸发舟固定连接件的另一端与锑蒸发舟的另一端相互电连接，并通过信号传递形成电回路。本技术的有益效果是：单点T蒸发装置与排气口共用一个通道，减少了接口，提高了工艺制作和产品的可靠性；一端口与排气台的端口连接，另一端口与影像增强器端口连接，使得真空系统可以对影像增强器进行真空排气，以便在影像增强器内建成一个只做阴极的真空环境；阴极制作完成后，影像增强器内无残留的锑蒸发装置，其内部的结构更加简洁；使用外磁场力，可方便的移动滑动组件，从而将锑蒸发舟送到送到影像增强器内适当的位置；滑块由导磁金属材料制成，能在磁场的作用下，将锑蒸发舟移动到恰当的位置；具有结构合理、使用方便、蒸发量易于控制及提高了产品质量的可靠性等优点。附图说明下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。附图1是本技术整体结构示意图；附图2是本技术图1的俯视图；附图3是本技术T形真空玻璃管组件的结构示意图；附图4是本技术滑动组件的结构示意图；附图5是本技术图4的俯视图；附图6是本技术滑动部分的结构示意图；附图7是本技术蒸发舟部分的结构示意图；附图中标号说明：1—T形真空玻璃管组件；          13—瓷管B；2—滑动组件；                   14—内导电杆；3—导电圆导轨；                 15—内导电滑套；4—端口A；                      16—压缩弹簧；5—端口B；                      17—连接件；6—滑动部分；                   18—圆瓷片；7—蒸发舟支撑与导电杆；         19—外导电滑套；8—蒸发舟部分；                 20—蒸发舟；9—螺丝；                       21—固定连接件；10—外导电层；                  22—瓷管C；11—滑块；                      23—瓷管D；12—瓷管A；具体实施方式请参阅附图1、2、3、4、5、6及7所示，本技术包括影像增强器、高真空排气台及其光电阴极等部件，还包括：由T本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单点锑蒸发装置，包括影像增强器、高真空排气台及其光电阴极，其特征在于还包括：由T形真空玻璃管组件（1）和滑动组件（2）两部分组成单点锑蒸发装置，滑动组件（2）设置在T形真空玻璃管组件（1）内，并在外磁场力的作用下，在T形真空玻璃管组件（1）中滑动，该装置至少包括：T形真空玻璃管组件（1）结构包括：导电圆导轨（3）、端口A(4)和端口B（5），两根导电圆导轨（3）设置在T形真空玻璃管组件（1）中，并与玻璃管烧结固定后引出，导电圆导轨（3）与滑动组件（2）组成了锑蒸发导电回路，T形真空玻璃管组件（1）的一端口A(4)与高真空排气台的一端口相互连接，另一端口B（5）与影像增强器的端口相互连接；滑动组件（2）结构包括：滑动部分（6）、蒸发舟支撑与导电杆（7）、蒸发舟部分（8）和螺丝（9），蒸发舟支撑与导电杆（7）的一端插入滑动部分（6），用螺丝（9）相互固定连接，蒸发舟支撑与导电杆（7）的另一端与蒸发舟部分（8）相互固定连接。

【技术特征摘要】
1.一种单点锑蒸发装置，包括影像增强器、高真空排气台及
其光电阴极，其特征在于还包括：由T形真空玻璃管组件（1）和
滑动组件（2）两部分组成单点锑蒸发装置，滑动组件（2）设置在
T形真空玻璃管组件（1）内，并在外磁场力的作用下，在T形真空
玻璃管组件（1）中滑动，该装置至少包括：
T形真空玻璃管组件（1）结构包括：导电圆导轨（3）、端口
A(4)和端口B（5），两根导电圆导轨（3）设置在T形真空玻璃管组
件（1）中，并与玻璃管烧结固定后引出，导电圆导轨（3）与滑动
组件（2）组成了锑蒸发导电回路，T形真空玻璃管组件（1）的一
端口A(4)与高真空排气台的一端口相互连接，另一端口B（5）与
影像增强器的端口相互连接；
滑动组件（2）结构包括：滑动部分（6）、蒸发舟支撑与导电
杆（7）、蒸发舟部分（8）和螺丝（9），蒸发舟支撑与导电杆（7）
的一端插入滑动部分（6），用螺丝（9）相互固定连接，蒸发舟支撑
与导电杆（7）的另一端与蒸发舟部分（8）相互固定连接。
2.根据权利要求1所述的单点锑蒸发装置，其特征在于：所
述的影像增强器与高真空排气台连接，为真空排气结构。
3.根据权利要求1所述的单点锑蒸发装置，其特征在于：所
述的导电圆导轨（3）设为导轨和导电杆结构，其材质为钼材料制成。
4.根据权利要求1所述的单点锑蒸发装置，其特征在于：所
述的滑动部分（6）结构包括：外导电层（10）、滑块（11）、瓷管
A(12)、瓷管B（13）、内导电杆（14）、内导电滑套（15）、压缩弹
簧（16）、连接件（17）、圆瓷片（18）、外导电滑套（19）、蒸发舟
（20）、固定连接件（21）、瓷管C(22)和瓷管D（23），其中：
蒸发舟支撑与导电杆（7）连接蒸发舟（20），并向其提供加热<...

【专利技术属性】
技术研发人员：章振昂，吴明康，王新军，张丹，
申请(专利权)人：上海泰雷兹电子管有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31