平面波导型单纤双向波分复用器制造技术

本发明专利技术涉及集成光学技术领域。它提出了一种平面波导型单纤双向波分复用器，是基于平面光波导技术，采用半导体硅平面工艺制作，该器件设计包含三个方向耦合器，一个马赫-泽德干涉仪的三段式混合串并联结构。其三信道结合上行突发模式和下行连续模式的双向数据传输方式，能为广播电视网、电信网和互联网的“三网融合”无源光网络(PON)系统提供核心硬件技术，提高光信号的传送效率。该器件不但结构紧凑、集成度高、体积小、重量轻、性能稳定可靠；而且适合大批量生产、生产效率高、成本低，适用于“三网融合”的光纤到户(FTTH)网络系统。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种平面波导型单纤双向波分复用器，由硅基晶圆，衬垫，波导光芯以及覆盖包层构成，其特征在于：在硅基晶圆上，沉积折射率及厚度不同的二氧化硅衬垫，波导光芯和覆盖包层，构成平面光波导器件；包括三个方向耦合器，一个马赫‑泽德干涉仪组成单纤三信道结构，用单个集成光器件，对在一根光纤中双向传输的影视、语音、数据三种不同频道和波长的信号进行耦合和分离。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈谷红，
申请(专利权)人：宜兴新崛起光集成芯片科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32