【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了一种多晶铸锭晶体冷却工艺,晶锭出炉体后的炉体外冷却中,采用保温笼罩罩住晶锭,从而降低晶锭在炉体外的冷却速度。本专利技术能够降低晶锭在炉体外的冷却速度,随之降低出现晶锭内部的热应力与隐裂缺陷现象的几率,最终降低切片环节中隐裂片的比例。【专利说明】多晶铸锭晶体冷却工艺
本专利技术涉及一种多晶铸锭晶体冷却工艺,多晶铸锭
。
技术介绍
目前,晶锭出炉后,在车间环境中自然冷却,不做任何保温措施,晶锭在炉体外的冷却速度过快,经常出现晶锭内部的热应力与隐裂缺陷的现象。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷,提供一种多晶铸锭晶体冷却工艺,它能够降低晶锭在炉体外的冷却速度,随之降低出现晶锭内部的热应力与隐裂缺陷现象的几率,最终降低切片环节中隐裂片的比例。为了解决上述技术问题,本专利技术的技术方案是:一种多晶铸锭晶体冷却工艺,晶锭出炉体后的炉体外冷却中,采用保温笼罩罩住晶锭,从而降低晶锭在炉体外的冷却速度。进一步为了降低晶锭在炉体中的运行周期而提高晶锭的产出,在晶锭出炉体前,提高晶锭的出炉温度,从而降低晶锭在炉体中的冷却时间。进一步限定了最优的出炉温度使得晶锭的产出最多,所述的晶锭的出炉温度为400。C。更进一步提供了一种保温笼罩的结构,所述的保温笼罩由框架和石墨保温层组成,石墨保温层设置在框架的内侧壁上。采用了上述技术方案后,晶锭出炉体后的炉体外冷却中,使用设计的保温笼罩住晶锭,显著地降低晶锭在炉体外的冷却速度,随之降低出现晶锭内部的热应力与隐裂的现象的几率,最终降低切片环节中隐裂片的比例,可以使得硅片 ...
【技术保护点】
一种多晶铸锭晶体冷却工艺,其特征在于:晶锭出炉体后的炉体外冷却中,采用保温笼罩罩住晶锭,从而降低晶锭在炉体外的冷却速度。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:周基江,
申请(专利权)人:常州天合光能有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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