改进的复合吸气剂制造技术

本发明专利技术涉及一种复合吸气剂体系(20)，它包括用聚酰亚胺或聚酰胺基化合物(23)涂布的NEG材料(22)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】改进的复合吸气剂本专利技术涉及改进的复合吸气剂体系和使用这种复合吸气剂体系的装置。吸气剂是能除去气体杂质到非常低水平的材料，在最苛求的应用中，甚至降低到十亿分之几份的分数，且具有各种应用和用途。在本专利技术的上下文中，每次使用术语吸气剂，要解释为不可蒸发吸气剂的技术含义，即在其操作温度下，以及在其活化或再活化工艺所使用的高得多的温度下，也是保持其固态的材料。关于在具有NEG首字母缩写词的
中已知的不可蒸发吸气剂的合金，它们的应用范围从用于半导体工业的气体纯化(例如以申请人名字申请的美国专利No.5,556,603中描述的)，到在工艺腔室内借助吸气剂泵控制真空度(这例如以申请人名字申请的美国专利No.5,324,172中描述的)，到在密封的装置内控制真空度或者气氛的纯度(例如以申请人名字申请的欧洲专利No.869,195中描述的)。即使在这些应用中使用吸气剂材料被很好地确定，但仍存在继续的需求和要求，以改进该材料的特征或者它们被整合到体系内的方式，参见例如以申请人名字申请的国际专利申请公布WO2010/105944中公开的关于预计使用吸气剂泵的改进的泵送体系的内容，或者以申请人名字申请的国际公布WO2010/105945中公开的关于尤其适合于吸附氢的改进的吸气剂合金的内容。正如所提及的，持续需要例如通过赋予它们能在新的应用中成功地使用的辅助的性能或特征，从而改进吸气剂材料的特征与特性。关于这一点，美国专利No.7,589,465示出了杂化的吸气剂，它由与聚酰亚胺树脂混合的吸气剂材料组成，其有利的特征是它能容易地采用标准技术，例如筛网印刷或喷墨印刷分配，同时在美国专利No.7,589,465中解决了吸气剂材料和电子器件的其他组件，例如传导线等中之间的相容性问题，该专利公开了使用吸气剂保护层作为在装置组件和吸气剂材料之间的中间元件。美国专利4,630,095公开了在增加器件保护的目的下，与半导体芯片，与置于它之上的吸气剂材料层直接接触的具有厚的有机层(数量级为数十微米)的吸气剂材料的用途。在以申请人名字申请的国际专利申请WO2007/080614中描述了与电解环境相容的吸气剂体系。在这一情况下，提供聚合物基容器的用途，以便避免吸气剂材料和电解质之间接触。在任何前面引证的现有技术文献中没有解决的额外的性能是对于一定量的时间来说，吸气剂材料耐受暴露于空气下且没有显著损害其吸收性能的能力。这一性能例如允许在其中没有暴露于清洁环境和其中再活化工艺(所述再活化工艺典型地包括在高温下加热吸气剂材料)与器件不相容，或者替代地允许简化器件的制造工艺，同时避免需要再活化吸气剂材料的工艺中使用吸气剂材料。其中吸气剂再活化拥有严重缺点的工艺例如是牵涉玻璃对玻璃密封的工艺(在结构体内的机械应力)，同时例举的器件是有机基器件(有机材料的高温相容性问题)。而且，在一些情况下，感兴趣的另一额外特征是在密封的氮气环境内使用吸气剂基溶液，以除去其他气体杂质，例如氧气，但其能力没有受到氮气存在损害，这是因为吸气剂材料可显示出与这一气体强烈的相互作用；参见例如以申请人的名字提交的欧洲专利EP1,285,100中公开的内容。采用本专利技术，获得了这些优点，其中在本专利技术的第一方面中，它在于复合吸气剂体系，所述复合吸气剂体系包括一种或更多种NEG材料，和一种或更多种聚酰亚胺或聚酰胺基化合物，其特征在于至少80%面向环境的NEG材料表面用所述聚酰亚胺或聚酰胺基化合物涂布，和所述涂层的厚度包括0.1至1mm。在优选的实施方案中，聚酰亚胺或聚酰胺基化合物涂层的厚度包括0.2至0.5mm。附图说明在附图的辅助下，进一步阐述本专利技术，其中：图1示出了根据本专利技术的吸气剂体系的第一实施方案的正面视图；图2示出了根据本专利技术的吸气剂体系的第二实施方案的正面视图；和图3示出了根据本专利技术的吸气剂体系的第三实施方案的透视图。在附图中，涉及本文描述的元件的尺寸和尺寸比例，以及图2中提到层厚的特别和非排他性的参考标记(reference)可能不是恰当的，和在一些情况下被改变，以便改进附图的理解。术语环境拟指围绕吸气剂体系的空的周围环境，典型地一旦本专利技术的复合吸气剂体系被原地置于器件内时。这是在真空下密闭且约束的空间或者在惰性气体氛围内密封，同时在器件制造阶段，它可被视为周围环境的空气。特别地，专利技术人已发现，尽管具有聚酰亚胺或聚酰胺基化合物层的面向环境的吸气剂材料表面的涂层就在空气中保持吸气剂材料活性来说是有益的，但对于高于1mm的厚度来说，这一涂层没有提供任何进一步的优点，在这一情况下，就延长的吸气剂活化时间来说，观察到预料不到的有害效果，和在最极端的情况下，对于高于5mm的厚度来说，这一涂层可甚至使吸气剂材料中毒，从而引起它的能力下降。因此，这一解决方案完全不同于US4,630,095中所示的，所述US4,630,095解决了不同的技术问题，事实上，在这一情况下，吸气剂材料直接面向环境，再者拟作为器件内部的气态(例如惰性，真空)氛围，而且示出了其中有机层的厚度为至少10μm的体系。关于聚酰亚胺或聚酰胺涂层的特征，优选具有均匀厚度的涂层，即最大和最小厚度之间的差值等于或小于0.1mm。也在优选的实施方案中，面向环境的NEG材料表面被完全涂布。在本专利技术的吸气剂材料中，重要的是聚酰亚胺或聚酰胺涂层充当在NEG材料和外部环境之间的主要的界面，打算直接面向外部环境的至少80%的NEG材料表面被聚酰亚胺或聚酰胺涂层覆盖。前面的定义考虑了下述事实：吸气剂体系可包括载体，在这一情况下，具有双重功能：保持NEG材料和相关的交叠的聚酰胺/聚酰亚胺涂层，以及屏蔽吸气剂材料避免外部环境。这类技术方案描述于图1中，图1示出了吸气剂体系10，其中在环形金属载体11的底部上存在NEG材料的压缩粉末12，它的上面提供了用数字13表示的聚酰亚胺或聚酰胺化合物的涂层。在图2中示出了具有聚酰亚胺/聚酰胺涂层的类似溶液，从而使小量的NEG材料直接暴露于环境下。在这一情况下，吸气剂体系20包括平坦的金属载体21，在其上存在用聚酰亚胺/聚酰胺层23涂布的金属层形式的吸气剂材料22。金属载体21具有不确定的长度，这意味着在这一情况下，可将它切割成所需的长度，这通过垂线A简化，从而显示出可能的切割点。因此，这些类型的吸气剂体系显示出其表面不与或者载体21或者涂布层接触的小部分吸气剂材料。这些是边界侧表面24,24'，或者由切割作用产生的表面边界。这些表面相对于涂布部分是最小的，根据本专利技术，所述表面应当是面向外部环境的吸气剂材料表面的至少80%，这意味着例如在本专利技术的情况下，当考虑相对于表面涂布部分的百分比时，不考虑与载体直接接触的吸气剂材料表面。图3中示出了根据本专利技术的吸气剂体系的第三实施方案。在这一情况下，通过被聚酰亚胺或聚酰胺材料32的周围涂层完全密闭的吸气剂材料丸(pill)31，制造吸气剂体系30。使用NEG材料的优选模式是粉末形式或者薄膜形式。在粉末情况下，它们的粒度测定优选低于500μm。利用粉末的粒度测定，它意指粉末的最大的侧面尺寸，这一定义还考虑了粉末不可能具有规则(即球形)的形状。当使用薄膜形式的NEG材料时，它们的厚度有利地包括0.5μm至300μm，更优选1μm至200μm。可通过溅射或者通过本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种复合吸气剂体系，它包括至少一种NEG材料和至少一种聚酰亚胺和/或聚酰胺基化合物，其特征在于至少80%面向周围环境的NEG材料的表面用所述聚酰亚胺/聚酰胺基化合物涂布，和所述涂层的厚度为0.1至1mm。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.11.03 IT MI2011A0019871.一种复合吸气剂体系，它包括至少一种NEG材料和至少一种聚酰亚胺和/或聚酰胺基化合物，其特征在于至少80％的NEG材料表面被所述聚酰亚胺和/或聚酰胺基化合物涂布，且涂层的厚度为0.2至0.5mm，其中通过置于气敏器件内，所述NEG材料表面面向在气敏器件内部包围复合吸气剂体系的空的环境。2.权利要求1的复合吸气剂体系，其中面向该环境的NEG材料表面被完全涂布。3.权利要求1的复合吸气剂体系，其中所述聚酰亚胺或聚酰胺基化合物涂层是均匀的。4.权利要求1的复合吸气剂体系，其中所述聚酰亚胺化合物选自聚(l,2,3-三甲基-2,3-二氢-l,6-茚二基-l,4-亚苯基-乙烯),聚3,3,4,4'二苯甲酮四羧酸二酐联苯胺，聚3,3,4,4'二苯甲酮四羧酸二酐苯二胺，聚3,3,4,4'二苯甲酮四羧酸二酐二氨基二苯甲酮，聚3,3,4,4'二苯甲酮四羧酸二酐二氨基茋，聚(均苯四酸二酐联苯胺)。5.权利要求1的复合吸气剂体系，其中所述聚酰亚胺和/或聚酰胺基化合物选自聚(4,4'-氧基二亚苯基-均苯四酸酰亚胺)，聚[亚氨基(l,6-二氧代-l,6-己二基)亚氨基-1,6-己二基]，聚[亚氨基(l-氧代-1,11-十一烷二基)]。6.权利要求1的复合吸气剂体系，其中所述NEG材料为粒度测定等于或小于500μm的粉末形式。7....

【专利技术属性】
技术研发人员：A·伯纳希，P·瓦卡，
申请(专利权)人：工程吸气公司，
类型：发明
国别省市：意大利;IT