微注射装置及其制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种微注射装置及其制造方法，其中，振动层被二元化成两个部分：一个是具有高热传导率的部分，另一个是具有高冲击传递率的部分。有了该二元化部分后，振动层抵抗应力的能力和工作响应得到提高，从而，可以明显提高微注射装置的一般打印性能。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及，更具体地说，涉及一种，其中，一振动层被二元化成一第一膨胀层(用于向液体传递膨胀力和弯曲力)和一第二膨胀层(用于分散或消除第一膨胀层上的应力)，从而，可以预先防止应力集中部分的变形，明显提高微注射装置的一般操作性能。一般地，一种微注射装置是这样一种装置，它设计成为打印纸、人体、或马达提供一定量的液体，例如，油墨注射液体或汽油，采用的方法是，向所述液体提供一定量的电或热能，从而使这种液体的容积产生变化。所以，一定量的这种液体可以提供到具体目标上。最近，电气和电子技术的发展使得这种微注射装置得到快速发展。因此，微注射装置正被广泛地用于人们生活之中。如，用于人们生活当中的一种微注射装置是喷墨打印头。不同于点阵式打印头，喷墨打印头通过墨盒来实现各种颜色，还可以减少噪音和提高打印质量。因此，喷墨打印的使用正在发展。这种喷墨打印头包括多个小直径的喷嘴的打印头。打印头通过从外面接受一定的电压，用接受的电压加热喷嘴、使喷嘴中的油墨起泡和膨胀，从而将油墨喷射在打印纸上，从而执行打印操作。附图说明图1是用于执行所述功能的传统的喷墨打印头的截面简图，图2是传统的振动层的俯视图。如图1所示，传统的喷墨打印头包括一支撑基底1，其上形成有一保护层2；和一形成于保护层2之上的电阻层11。电阻层11是通过电极层3(形成于其边缘部分之上)从外面提供的电能来加热的。另一方面，电阻层11将提供的电能转变成500-550℃的热能。然后，转化的热能通过一加热室阻拦层5传递至形成于电极层3之上的加热室4中。在加热室4中填入易于形成蒸气压的一种工作液体(未显示)，工作液体通过从电阻层11传递来的热能快速气化，由工作液体的气化产生的蒸气压被传递至形成于加热室4之上的振动层6上。结果，振动层6膨胀一定位移。振动层6是由具有容积可以快速变化性能的材料(如镍)均匀形成的。因此，当蒸气压被传递时，振动层6被快速膨胀并沿周向弯曲。所以，一强的膨胀力通过油墨室阻拦层7传递至形成于振动层6之上的油墨室9上。一定量的油墨被填充到油墨室9中。通过从振动层6传递来的膨胀力给油墨一定的冲击。结果，油墨通过冲击喷射到外面。接着，油墨通过由喷嘴板8封住的喷嘴10分散到打印纸上。通过这种方法，在外部纸上进行适当的打印操作。然而，传统的喷墨打印头有许多问题。首先，如上所述，振动层6是由镍或类似金属均匀地形成，并在由加热室4中的工作液体传递来的蒸气压作用下产生容积变化。然后，给油墨室9中的油墨一定的冲击，因此，可以在外部打印纸上执行适当的打印操作。此时，如图2所示，在振动层6的整个表面上产生容积变化。然而，此时，在振动层6的表面上产生强的拉伸应力。结果，振动层6的预定部分a,b,c和d不能抵抗强的拉伸应力，最后被撕破。其次，当产生撕破部分a,b,c和d时，在振动层6的角部和中间部分产生不同程度的变形。因此，振动层6的具体部分被折叠成一定形状，从而，导致振动层6的质量明显降低。第三，由于撕破部分a,b,c和d的变形，在整个振动层6中不能获得对加热室4中蒸气压变化的快速工作响应。结果，打印机的一般操作性能明显降低。因此，本专利技术的一个目的是提供一种微注射装置，它可以明显提高一般的打印性能，它将振动层二元化成一具有高热传导率的部分和一具有高冲击传递率的部分，从而提高振动层的抵抗应力的能力和工作响应。为了实现所述目的和其它优点，本专利技术提供一种微注射装置，包括一基底，其上形成有一保护层；一加热层，形成于所述保护层之上；一电极层，与所述加热层接触，用于传送电信号；一加热层阻拦层，形成于所述电极层之上，以形成与所述加热层接触的加热室；一振动层，形成于所述加热室阻拦层之上，根据填充在所述加热室中油墨的体积变化而膨胀和振动；一液体室阻拦层，形成于所述振动层之上，以形成与所述振动层接触的一液体室；和一喷嘴板，形成于所述油墨室阻拦层之上，以形成与所述油墨接触的喷嘴，其中，所述振协层包括一第一膨胀层，它包含一位于所述加热室的边缘部分上面的凹槽部分；和一第二膨胀层，形成于所述凹槽部分上，用于分散和消除所述第一膨胀层上的应力。最好，第一膨胀层单位面积的重要比第二膨胀层大，第二膨胀层的热膨胀率比第一膨胀层大。最好，第一膨胀层包括一第一有机层；一形成于第一有机层之上的第一接触层、一形成于第一接触层之上的金属层、一形成于金属层之上的第二接触层、和一形成于第二接触层之上的第二有机层的覆盖层结构。此时，最好，第一和第二有机层由聚酰亚胺形成，金属层总由镍形成，第一和第二接触层是由钒、钛、铬等形成。另外，最好，第二膨胀层是由有机材料(最好是聚酰亚胺)形成。根据本专利技术的另一方面，提供一种制造微注射装置的方法，包括以下各步在已通过一第一工序预先形成的加热层和加热室阻拦层的组件上配装一已通过一第二工序预先形成的振动层；和在所述振动层上装配已通过一第三工序预先形成的喷嘴板和液体室阻拦层的组件。第一工序包括在一第一基底上(其上形成有一保护层)形成一加热层，和形成与所述加热层接触的电极层；以及在电极层上形成一加热室阻拦层，从而，形成与此加热层接触的加热室。第二工序包括在一第二基底上(其上形成有保护层)形成一第一膨胀层；为所述第一膨胀层构图，从而在所述第一膨胀上形成一凹槽部分；和在所述凹槽中形成一第二膨胀层。第三工序包括在所述第三基底上(其上形成有保护层)形成一包含喷嘴的喷嘴板；和在所述喷嘴板上形成包含有液体室的液体室阻拦层。最好是，第二工序包括在一基底底上形成一保护层，和在所述保护层上形成一第一有机层；在所述第一有机层上形成一第一接触层，在所述第一接触层上形成一金属层，和在所述金属层上形成一第二接触层；在所述第二接触层上形成一第二有机层，和在所述第二有机层上形成一第三接触层；和为所述第一接触层、所述金属层、所述第二接触层、所述第二有机层和所述第三接触层的覆盖结构构图，从而，形成一凹槽部分，并在凹槽部分上形成一第二膨胀层。最好，第一有机层的厚度为1.5-2μm。第一有机层是在130-200℃温度下以一定的时间间隔进行多次干燥处理。此时，最好，第一有机层分别在150℃和280℃下进行两次干燥处理。另一方面，最好，第一和第二接触层的厚度为0.1-0.2μm，更好地为0.15μm。另外，最好，第一和第二接触的表面电阻为180-220Ω/cm2，更好地为，200Ω/cm2。金属层的厚度为0.2-0.5μm，最好为0.3μm。另一方面，最好，金属层是进行真空回火处理的。真空回火在150-180℃温度下进行。另外，最好，第二有机层的厚度为2-4μm，更好地为3μm。另外，最好，第三接触层有一铬和钼的覆盖层的结构或铬或钼的单层结构。此时，最好，第三接触层厚度为2-4μm，更好地为3μm。第三接触层的表面电阻为180-220Ω/cm2，更好地为200Ω/cm2。另一方面，最好，第二膨胀层的厚度为1-3μm，更好地为2μm。因此，本专利技术可以明显地提高振动层的抵抗应力的能力和工作响应。参考附图，通过下面的详细说明，就能更完整地理解本专利技术及其优点，在这些附图中，相同的参考数字代表相同或相似的部件，其中图1是传统的喷墨打印头的截面简图；图2是传统的振动层的俯视简图；图3是本专利技术的喷墨打印头的截面简图；图4是本专利技术的振动层的截面本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微注射装置，包括： 一基底，其上形成有一保护层； 一加热层，形成于所述保护层之上； 一电极层，与所述加热层接触，用于传送电信号； 一加热层阻拦层，形成于所述电极层之上，以形成与所述加热层接触的加热室； 一振动层，形成于所述加热室阻拦层之上，根据填充在所述加热室中油墨的体积变化而膨胀和振动； 一液体室阻拦层，形成于所述振动层之上，以形成与所述振动层接触的一液体室；和 一喷嘴板，形成于所述油墨室阻拦层之上，以形成与所述油墨接触的喷嘴， 其中，所述振动层包括： 一第一膨胀层，它具有一位于所述加热室的边缘部分上面的凹槽部分；和 一第二膨胀层，形成于所述凹槽部分内，用于分散和消除所述第一膨胀层上的应力。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：安秉善，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]