光罩夹具制造技术

本实用新型专利技术提出了一种用于夹紧光罩边缘的光罩夹具，包括手柄、与手柄固定在一起的活动夹、和设于光罩夹具内部的弹簧，所述弹簧与所述活动夹、手柄均相连接。光罩夹具具有能够活动的活动夹，被一弹簧控制，能够夹住光罩的边缘，不会污染所述光罩，同时由于光罩夹具能够牢靠的夹紧所述光罩，防止所述光罩脱落，避免对所述光罩造成损伤，也能够避免对下方的透镜造成破坏，提高了取出光罩的成功率。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术提出了一种用于夹紧光罩边缘的光罩夹具，包括手柄、与手柄固定在一起的活动夹、和设于光罩夹具内部的弹簧，所述弹簧与所述活动夹、手柄均相连接。光罩夹具具有能够活动的活动夹，被一弹簧控制，能够夹住光罩的边缘，不会污染所述光罩，同时由于光罩夹具能够牢靠的夹紧所述光罩，防止所述光罩脱落，避免对所述光罩造成损伤，也能够避免对下方的透镜造成破坏，提高了取出光罩的成功率。【专利说明】光罩夹具
本技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种光罩夹具。
技术介绍
在现有技术的光刻设备中，通常是使用机械手臂将光罩传输至设备内部，将光罩放置位于多组透镜的上方，以进行曝光等工艺。然而，由于机械手臂为运动部件，其在光刻设备内部中能够到达的位置有5个，若光刻设备出现意外或者故障时，会导致机械手臂位于不同的位置，由机械手臂传输的光罩也就可能位于不同位置。此时，由于光刻设备无法继续进行正常工作，需要手动取出光罩，重新对设备机台进行恢复之后才能进行工作。而光刻设备仅有一侧面能够深入并取出光罩，若机械手臂停止的位置远离光刻设备能够深入的一侦牝则由人工取出光罩十分麻烦并且存在极大的风险。而且，请参考图1，图1为光罩10的俯视图，所述光罩10上存在图形区20，位于图形区20上的线条极细，并且薄膜较薄，若手指触碰上会污染图形区20，严重则会导致光罩10的无法正常使用，甚至报废。现有技术中，人工取出光罩10存在以下风险:1、由于所述光罩10下方设有多组透镜,若提取光罩10不慎,则会导致光罩10掉落，砸伤透镜，甚至将透镜砸碎，导致光刻设备瘫痪。若更换透镜，则至少需要2个月时间，并且透镜价格昂贵，会增加生产成本。2、若手指触碰到光罩10，则会对光罩10的图形区20造成污染，导致生产出的晶圆存在缺陷或者报废。3、光罩10的生产需要较长时间，若光罩10的报废需要重新更换则会导致生产停线，造成巨大损失。由于人工操作难免存在失误，因此，如何降低上述风险便成为本领域技术人员急需解决的技术问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种光罩夹具，能够夹住光罩的边缘，避免对光罩造成污染，同时也降低了光罩未被加紧易掉落的风险。为了实现上述目的，本技术提出了一种光罩夹具，用于夹紧光罩的边缘，所述夹具包括活动夹、手柄和弹簧，其中，所述活动夹与所述手柄固定在一起，所述弹簧设于所述光罩夹具的内部，所述弹簧与所述活动夹、手柄均相连接。进一步的，所述光罩夹具还包括多个固定片，所述固定片分别固定在所述活动夹的两侧。进一步的,所述活动夹分为上活动夹和下活动夹,所述上活动夹和下活动夹尺寸匹配。进一步的，所述上活动夹和下活动均固定有所述固定片，并且所述固定片的位置相对。进一步的，所述固定片与所述活动夹为一体成型。进一步的，所述活动夹为三边矩形。进一步的，所述活动夹的宽度范围小于等于3_。进一步的，所述活动夹与所述手柄为一体成型。与现有技术相比，本技术的有益效果主要体现在:光罩夹具具有能够活动的活动夹，被一弹簧控制，能够夹住光罩的边缘，不会污染所述光罩，同时由于光罩夹具能够牢靠的夹紧所述光罩，防止所述光罩脱落，避免对所述光罩造成损伤，也能够避免对下方的透镜造成破坏，提高了取出光罩的成功率。【专利附图】【附图说明】图1为光罩的俯视图；图2为本技术一实施例中光罩夹具以及光罩的俯视图；图3为本技术一实施例中光罩夹具以及光罩的侧视图。【具体实施方式】下面将结合示意图对本技术的光罩夹具进行更详细的描述，其中表示了本技术的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本技术，而仍然实现本技术的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本技术的限制。为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本技术由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须做出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本技术。根据下面说明和权利要求书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。请参考图2和图3，在本实施例中，提出了一种光罩夹具100，用于夹紧光罩10的边缘，所述光罩夹具100包括活动夹140、手柄130和弹簧120，其中，所述活动夹140与所述手柄130固定在一起，所述弹簧120设于所述光罩夹具100的内部，所述弹簧120与所述活动夹140、手柄130均相连接。在本实施例中，所述光罩夹具100还包括多个固定片110，所述固定片110分别固定在所述活动夹140的两侧,所述活动夹140分为上活动夹和下活动夹(如图3所示),所述上活动夹和下活动夹的尺寸匹配，所述上活动夹和下活动均固定有所述固定片110，并且所述固定片100的位置相对，所述固定片110可以与所述活动夹为一体成型方式固定在一起，所述固定片100能够夹住所述光罩10的边缘，增加所述光罩夹具100对所述光罩10的加持力。在本实施例中，所述活动夹140呈三边矩形状或U型(如图2所示)或者呈矩形框状，所述活动夹140宽度W的范围小于3mm，由于所述光罩10的图形区20 (如图1中虚线框所示的区域)极为重要，不能被触碰，然而位于所述光罩10的边缘处则是可以被触碰的地方，因此本实施例中提出的光罩夹具100仅仅夹持所述光罩10的边缘区，为了不触及图形区20,因此采用宽度小于等于3mm的活动夹140即可。在本实施例中，所述活动夹与所述手柄可以为一体成型的方式形成，类似于剪刀功能。综上，在本技术实施例提供的光罩夹具中，光罩夹具具有能够活动的活动夹，被一弹簧控制，能够夹住光罩的边缘，不会污染所述光罩，同时由于光罩夹具能够牢靠的夹紧所述光罩，防止所述光罩脱落，避免对所述光罩造成损伤，也能够避免对下方的透镜造成破坏，提高了取出光罩的成功率。上述仅为本技术的优选实施例而已，并不对本技术起到任何限制作用。任何所属
的技术人员，在不脱离本技术的技术方案的范围内，对本技术揭露的技术方案和
技术实现思路
做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本技术的技术方案的内容，仍属于本技术的保护范围之内。【权利要求】1.一种光罩夹具，用于夹紧光罩的边缘，其特征在于，所述夹具包括活动夹、手柄和弹簧，其中，所述活动夹与所述手柄固定在一起，所述弹簧设于所述光罩夹具的内部，所述弹簧与所述活动夹、手柄均相连接。2.如权利要求1所述的一种光罩夹具，其特征在于，所述光罩夹具还包括多个固定片，所述固定片分别固定在所述活动夹的两侧。3.如权利要求2所述的一种光罩夹具，其特征在于，所述活动夹分为上活动夹和下活动夹，所述上活动夹和下活动夹尺寸匹配。4.如权利要求3所述的一种光罩夹具，其特征在于，所述上活动夹和下活动均固定有所述固定片，并且所述固定片的位置相对。5.如权利要求4所述的一种光罩夹具，其特征在于，所述固定片本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光罩夹具，用于夹紧光罩的边缘，其特征在于，所述夹具包括活动夹、手柄和弹簧，其中，所述活动夹与所述手柄固定在一起，所述弹簧设于所述光罩夹具的内部，所述弹簧与所述活动夹、手柄均相连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨艳全，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11