【技术实现步骤摘要】
一种光罩支架自动调平机构
本技术涉及涉及曝光机制备领域，具体而言涉及一种光罩支架自动调平机构。
技术介绍
曝光机是指通过开启灯光发出紫外线，将胶片或其他透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的设备，现已广泛应用于半导体、微电子、生物器件和纳米科技领。曝光机内部的光罩支架用于放置光罩，光罩对紫外光进行选择透过，以使光罩下面的感光物质底片印刷出各种图形，然后再雕刻出相应的电路。实际工作中，光罩必须放置水平与紫外线相互垂直，如果角度发生偏斜，则不能按光罩上的图形准确在感光物质底片上进行印刷，从而最终导致线路残缺。目前主要手工调节光罩支架使光罩水平，过程繁琐，操作费力。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种光罩支架自动调平机构，该机构能够自动对光罩支架进行调平，操作简单方便。为实现上述目的，本技术采取以下技术方案:—种光罩支架自动调平机构，包括四边形基座和光罩支架，光罩支架位于四边形基座上表面，其特征在于，在四边形基座的三条边框下方安装有伺服电机和支撑底座，伺服电机的输出轴固定套接于偏心轴的一端，偏心轴中部外侧套接有第一轴承和第二轴承，偏心轴另一端固定在第三轴承上，第三轴承固定在支撑底座上，顶块一端顶托在所述第一轴承上，另一端穿过四边形底座固定在光罩支架上，第二轴承上方安装有连接轴，连接轴与定位弹簧一端相连，定位弹簧另一端穿过四边形底座固定在光罩支架上。所述光罩支架上安装有调平框，所述顶块另一端固定在调平框上，在调平框上还穿有调紧螺丝，调紧螺丝与所述定位弹簧另一端相连。所述伺服电机安装在四边形基座的三条边框的中部。所述第二轴承外安装有轴承套，所述连接轴安装在...
【技术保护点】
一种光罩支架自动调平机构，包括四边形基座和光罩支架，光罩支架位于四边形基座上表面，其特征在于，在四边形基座的三条边框下方安装有伺服电机和支撑底座，伺服电机的输出轴固定套接于偏心轴的一端，偏心轴中部外侧套接有第一轴承和第二轴承，偏心轴另一端固定在第三轴承上，第三轴承固定在支撑底座上，顶块一端顶托在所述第一轴承上，另一端穿过四边形底座固定在光罩支架上，第二轴承上方安装有连接轴，连接轴与定位弹簧一端相连，定位弹簧另一端穿过四边形底座固定在光罩支架上。
【技术特征摘要】
1.一种光罩支架自动调平机构，包括四边形基座和光罩支架，光罩支架位于四边形基座上表面，其特征在于，在四边形基座的三条边框下方安装有伺服电机和支撑底座，伺服电机的输出轴固定套接于偏心轴的一端，偏心轴中部外侧套接有第一轴承和第二轴承，偏心轴另一端固定在第三轴承上，第三轴承固定在支撑底座上，顶块一端顶托在所述第一轴承上，另一端穿过四边形底座固定在光罩支架上，第二轴承上方安装有连接轴，连接轴与定位弹簧一端相连，定位弹簧另一端...
【专利技术属性】
技术研发人员：张惠光，
申请(专利权)人：保定来福光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13
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