【技术实现步骤摘要】
一种光罩托架推拉翻转机构
本技术涉及曝光机制作领域,具体而言涉及一种曝光机的光罩托架推拉翻转机构。
技术介绍
曝光机是指通过开启灯光发出紫外线,将胶片或其他透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的设备,现已广泛应用于半导体、微电子、生物器件和纳米科技领。曝光机内部的光罩托架用于放置光罩,光罩对紫外光进行选择透过,以使光罩下面的感光物质底片印刷出各种图形,然后再雕刻出相应的电路。目前,曝光机的光罩托架均固定在曝光机内部,不能方便取出,这使得放置光罩和清洗托架的工作变得繁重复杂。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种光罩托架推拉翻转机构,该机构能够将光照托架拉出并进行翻转,便于清理检查,方便安放光罩。为实现上述目的,本技术采取以下技术方案:一种光罩托架推拉翻转机构,包括光罩托架、左侧滑轨和右侧滑轨,其特征在于,所述左侧滑轨和右侧滑轨经铰链铰接在曝光机主机架上,在左侧滑轨和右侧滑轨上分别水平安装有左滚轮组和右滚轮组,光罩托架从曝光机主机架内抽出后左右边框分别托在左滚轮组和右滚轮组上并可自由滑动,在左侧滑轨的侧壁上安装有左分割定位柱,在右侧滑轨的侧壁上安装有右分割定位柱,在光罩托架的左右边框上分别相应安装有左柱套和右柱套。在左侧滑轨上安装有左定位轮与光罩托架左侧边框相接触,在右侧滑轨上安装有右定位轮与光罩托架右侧边框相接触。所述左滚轮组位于左分割定位柱外侧,右滚轮组位于右分割定位柱外侧。所述光罩托架上安装有拉手。本技术的有益效果是,光罩托架可以在左右滑轨上滑出,两侧定位轮能够防止光罩托架左右摆动,分割定位柱内的销柱插入两侧柱套后,光罩托架就可以绕销轴转动成与 ...
【技术保护点】
一种光罩托架推拉翻转机构,包括光罩托架、左侧滑轨和右侧滑轨,其特征在于,所述左侧滑轨和右侧滑轨经铰链铰接在曝光机主机架上,在左侧滑轨和右侧滑轨上分别水平安装有左滚轮组和右滚轮组,光罩托架从曝光机主机架内抽出后左右边框分别托在左滚轮组和右滚轮组上并可自由滑动,在左侧滑轨的侧壁上安装有左分割定位柱,在右侧滑轨的侧壁上安装有右分割定位柱,在光罩托架的左右边框上分别相应安装有左柱套和右柱套。
【技术特征摘要】
1.一种光罩托架推拉翻转机构,包括光罩托架、左侧滑轨和右侧滑轨,其特征在于,所述左侧滑轨和右侧滑轨经铰链铰接在曝光机主机架上,在左侧滑轨和右侧滑轨上分别水平安装有左滚轮组和右滚轮组,光罩托架从曝光机主机架内抽出后左右边框分别托在左滚轮组和右滚轮组上并可自由滑动,在左侧滑轨的侧壁上安装有左分割定位柱,在右侧滑轨的侧壁上安装有右分割定位柱,在光罩托架的左右边框上分别相应安装有左柱套...
【专利技术属性】
技术研发人员:张惠光,
申请(专利权)人:保定来福光电科技有限公司,
类型:新型
国别省市:河北;13
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