一种光罩支架调平机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种光罩支架调平机构，包括四边形基座和光罩支架，四边形基座的四角上设有通孔，每个通孔上方设有支撑框，支撑框由上盖和支撑上盖的侧壁组成，支撑框的上盖底部呈凸球面形，所述光罩支架四角均向上安装有连杆，每个连杆穿过四边形基座上相应的通孔而将端部伸入支撑框内，每个连杆端部呈凹球面形并与所述上盖底部的凸球面形相贴合，在上盖上设有螺钉通孔，在连杆端部均设有螺孔，自上盖经螺钉通孔向连杆端部的螺孔内穿有螺钉，所述螺钉通孔的直径大于所述螺钉的直径。该机构能够对光罩支架进行悬浮调平，调平时光罩支架不滑动，调平后容易固定，整个操作过程轻松快捷。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公开了一种光罩支架调平机构，包括四边形基座和光罩支架，四边形基座的四角上设有通孔，每个通孔上方设有支撑框，支撑框由上盖和支撑上盖的侧壁组成，支撑框的上盖底部呈凸球面形，所述光罩支架四角均向上安装有连杆，每个连杆穿过四边形基座上相应的通孔而将端部伸入支撑框内，每个连杆端部呈凹球面形并与所述上盖底部的凸球面形相贴合，在上盖上设有螺钉通孔，在连杆端部均设有螺孔，自上盖经螺钉通孔向连杆端部的螺孔内穿有螺钉，所述螺钉通孔的直径大于所述螺钉的直径。该机构能够对光罩支架进行悬浮调平，调平时光罩支架不滑动，调平后容易固定，整个操作过程轻松快捷。【专利说明】一种光罩支架调平机构
本技术涉及涉及曝光机制备领域，具体而言涉及一种光罩支架调平机构。
技术介绍
曝光机是指通过开启灯光发出紫外线，将胶片或其他透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的设备，现已广泛应用于半导体、微电子、生物器件和纳米科技领。曝光机内部的光罩支架用于放置光罩，光罩对紫外光进行选择透过，以使光罩下面的感光物质底片印刷出各种图形，然后再雕刻出相应的电路。实际工作中，光罩必须放置水平与紫外线相互垂直，如果角度发生偏斜，则不能按光罩上的图形准确在感光物质底片上进行印刷，从而最终导致线路残缺。目前主要手工调节光罩支架使光罩水平，调节过程中光罩支架的位置不易控制，容易发生滑动，调平以后固定困难，使得整个工作过程繁琐，操作费力。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种光罩支架调平机构，该机构能够对光罩支架进行悬浮调平，调平时光罩支架不滑动，调平后容易固定，整个操作过程轻松快捷。为实现上述目的，本技术采取以下技术方案:一种光罩支架调平机构，包括四边形基座和光罩支架，其特征在于，四边形基座的四角上设有通孔，每个通孔上方设有支撑框，支撑框由上盖和支撑上盖的侧壁组成，支撑框的上盖底部呈凸球面形，所述光罩支架四角均向上安装有连杆，每个连杆穿过四边形基座上相应的通孔而将端部伸入支撑框内，每个连杆端部呈凹球面形并与所述上盖底部的凸球面形相贴合，在上盖上设有螺钉通孔，在连杆端部均设有螺孔，自上盖经螺钉通孔向连杆端部的螺孔内穿有螺钉，所述螺钉通孔的直径大于所述螺钉的直径。所述上盖的螺钉通孔为四个，平均分布在上盖底部的凸球面形的中心法线周围，所述连杆端部的螺孔为四个，平均分布在连杆端部的凹球面形的中心法线周围，所述螺钉通孔及螺孔内均穿有螺钉。所述螺钉与所述上盖的上表面之间安装有垫块，所述垫块与上盖的上表面接触处为凸球面形，所述上盖的上表面与所述垫块接触处为凹球面形。上述技术方案中，光罩支架通过连杆与支撑框相连，被悬挂在四边形基座下方，连杆端部和支撑框的上盖底部分别为凹凸球面形，并且二者紧密贴合后通过螺钉相固定，这有利于调平光罩支架时连杆端部在上盖底部向任何方向移动后仍然能够与上盖底部进行紧密接触，不会在调平紧固后进行不期望的滑动；在螺钉与上盖上表面之间的垫块为凸球面，上表面与垫块接触处为凹球面，也能够使二者紧密结合，可以使螺钉顺应连杆移动后其上螺孔的方向，对连杆和上盖底座进行紧密连接。【专利附图】【附图说明】图1为本技术向下斜视时的整体结构示意图；图2为本技术向上斜视时的整体结构示意图；图3为支撑框局部俯视图；图4为图3沿A-A方向的剖视图。【具体实施方式】下面结合附图，对本技术做进一步说明:如图1、图2、图3和图4所不，四边形基座I固定在曝光机上，在四边形基座I的四个角上均开设有通孔12，每个通孔12的上面均安装有支撑框4，支撑框4由上盖9和支撑上盖9的侧壁10和侧壁11组成，在上盖9的底部向下凸起呈凸球面形7。光罩支架2位于四边形基座I的下方，在光罩支架2的四个角上均向上安装有连杆5，连杆5从四边形基座I的相应的通孔12穿出并伸入支撑框4内，连杆5端部呈凹球面形8。凹球面形8与相应的凸球面形7相贴合。在上盖9上设有螺钉通孔13，螺栓通孔的直径大于螺钉3的直径，连杆5端部设有螺孔14，螺钉3自上盖9向下经过螺栓通孔13穿入至连杆5端部的螺孔14内，将连杆5与上盖9固定在一起。为了增加紧固性，螺栓3与上盖9的上表面上垫有垫块6,垫块6与上盖9接触处呈凸球面形,上盖9与垫块6接触处呈凹球面形,这有利于二者贴合，即使垫块6改变垂直向下的方向发生倾斜，也能够保证总是有点位与上盖9进行接触从而发生强有力的摩擦，这样就可以使螺钉3在改变方向后(如发生倾斜，而不是垂直向下)仍然能够被有效垫起而不发生松脱。螺钉通孔13和螺孔14 一般为4个，螺钉通孔13平均分布在凸球面形7的中心法线四周，螺孔14平均分布在凹球面形8的中心法线四周。利用本机构对光罩支架2进行调平时，先适当松动各支撑框4上的螺钉3，然后开始手动调平光罩支架2，光罩支架2在调平过程中，每个连杆5相对上盖9底部的位置均有可能在手动下发生滑动，当调平到合适位置时，各个连杆5相对于各自的支撑框4的上盖9的底部可能有了新的位置，但是因为是凹凸球面的设计，不管是什么位置，在两个球面之间都会有微观受力点进行摩擦接触，即会停留在新的位置而不会随意滑动，因为螺钉通孔13的直径大于螺钉3的直径，使螺钉3有自由活动的余量，因此螺钉3可以随着连杆5的螺孔14发生移动而倾斜，到达调平位置后可以紧固各个螺钉3使连杆5和上盖9之间更加紧固，减少滑脱失平的可能。在螺钉3发生倾斜后，垫块6和上盖9的上表面之间因为也是凹凸球面的设计，可以使垫块6在发生移动后仍然保持与上盖9的上表面之间有较大摩擦力,最终使螺钉3在发生倾斜后仍然能够被有效垫起，从而保持较大的吃力程度，防止变松滑脱。本机构的优点在于适当松动螺钉3进行调平时也能保持较大摩擦而不会使光罩支架2随意移动，只有在手工作用下发生移动进行期望的调平；在调平后还能够根据新位置变换螺钉3的取向，从而始终能够使连杆5与上盖9之间进行有效紧固。调平前后影响工作便捷两个上述关键因素得到有效解决后，整个调平工作就变得轻松快捷。本实施例只是对本技术构思和实现的一个说明，并非对其进行限制，在本技术构思下，未经实质变换的技术方案仍然在保护范围内。【权利要求】1.一种光罩支架调平机构，包括四边形基座和光罩支架，其特征在于，四边形基座的四角上设有通孔，每个通孔上方设有支撑框，支撑框由上盖和支撑上盖的侧壁组成，支撑框的上盖底部呈凸球面形，所述光罩支架四角均向上安装有连杆，每个连杆穿过四边形基座上相应的通孔而将端部伸入支撑框内，每个连杆端部呈凹球面形并与所述上盖底部的凸球面形相贴合，在上盖上设有螺钉通孔，在连杆端部均设有螺孔，自上盖经螺钉通孔向连杆端部的螺孔内穿有螺钉，所述螺钉通孔的直径大于所述螺钉的直径。2.如权利要求1所述的光罩支架调平机构，其特征在于，所述上盖的螺钉通孔为四个，平均分布在上盖底部的凸球面形的中心法线周围，所述连杆端部的螺孔为四个，平均分布在连杆端部的凹球面形的中心法线周围，所述螺钉通孔及螺孔内均穿有螺钉。3.如权利要求1或2所述的光罩支架调平机构，其特征在于，所述螺钉与所述上盖的上表面之间安装有垫块，所述垫块与上盖的上表面接触处为凸球面形，所述上盖的上表面与所述垫块接触处为凹球面形。【文档编号】G03F9/00GK203705821SQ201本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光罩支架调平机构，包括四边形基座和光罩支架，其特征在于，四边形基座的四角上设有通孔，每个通孔上方设有支撑框，支撑框由上盖和支撑上盖的侧壁组成，支撑框的上盖底部呈凸球面形，所述光罩支架四角均向上安装有连杆，每个连杆穿过四边形基座上相应的通孔而将端部伸入支撑框内，每个连杆端部呈凹球面形并与所述上盖底部的凸球面形相贴合，在上盖上设有螺钉通孔，在连杆端部均设有螺孔，自上盖经螺钉通孔向连杆端部的螺孔内穿有螺钉，所述螺钉通孔的直径大于所述螺钉的直径。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张惠光，
申请(专利权)人：保定来福光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13