一种提拉法生长晶体的节能装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种提拉法生长晶体的节能装置，炉体设置在整个装置的最外面，籽晶轴设置在最上方，石英坩埚设置在籽晶轴提拉的籽晶下方，石英埚托设置在石英坩埚下方，反射罩设置在石英埚托的下方，石墨坩埚设置在反射罩的外面，石墨埚托设置在石墨坩埚外面；加热器与电极相连，设置在电极与石墨埚托之间，多层石墨保温罩设置在炉体内部靠近炉体一侧，在炉体和电极之间，坩埚轴设置在下端，与石墨埚托相连，导线接板与电极相连，设置在下端，起到为整个装置提供输电的作用。本实用新型专利技术加热线圈采用低频电阻加热，功率小，能耗低，高度节能，操作方便，使用安全，降低了生产成本，提高了晶体的利用率，节约资源。

【技术实现步骤摘要】
一种提拉法生长晶体的节能装置
本技术属于晶体生长领域，尤其涉及一种提拉法生长晶体的节能装置。
技术介绍
根据硅在高温下化学性质活泼和生长单晶所必须满足的条件来看，一般拉晶设备都要具备:加热部分、炉体和机械传动部分、真空和惰性气体装置。然而目前，现有的晶体生长装置一般采用单室结构，例如美国专利(US6200917)采用石英玻璃作为真空生长室，感应线圈位于石英玻璃外，由密封圈、下法兰、石英管及顶盖构成真空生长室；例如中国专利(CN200310113521.X)采用放置了感应线圈的金属腔体作为单一的真空生长室。每次晶体生长前的装料及生长结束后取出晶体都要打开真空生长室，引起真空生长室接触空气，极易受到大气的污染和氮吸附，很难实现晶体生长以及对杂质的精确控制。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种提拉法生长晶体的节能装置，旨在解决现有的技术存在的每次晶体生长前的装料及生长结束后取出晶体都要打开真空生长室，引起真空生长室接触空气，极易受到大气的污染和氮吸附，很难实现晶体生长以及对杂质的精确控制的问题。本技术是这样实现的，一种提拉法生长晶体的节能装置，该装置的结构包括:炉体、籽晶轴、反射罩、石英坩埚、石墨坩埚、石墨埚托、加热器、多层石墨保温罩、电极、导线接板、坩埚轴；炉体设置在整个装置的最外面，起到保护内部装置的作用；籽晶轴设置在最上方，起到提拉、旋转籽晶的作用；石英坩埚设置在籽晶轴提拉的籽晶下方，起到存储熔融的原料的作用；石英埚托设置在石英坩埚下方，起到支撑石英坩埚并保温的作用；反射罩设置在石英埚托的下方，起到将石英埚托散失的热量重新回收的作用；石墨坩埚设置在反射罩的外面，石墨埚托设置在石墨坩埚外面；加热器与电极相连，设置在电极与石墨埚托之间，起到加热整个装置的作用；多层石墨保温罩设置在炉体内部靠近炉体一侧，在炉体和电极之间，起到对整个装置保温的作用；坩埚轴设置在下端，与石墨埚托相连，起到转动石墨埚托、石墨坩埚、石英埚托、石英坩埚及反射罩的作用；导线接板与电极相连，设置在下端，起到为整个装置提供输电的作用。进一步，加热器的加热线圈采用低频电阻加热，并可采用调压变压器控制。进一步，炉体由不易生锈、非多孔性、不易挥发、易于清洁处理，并有一定机械强度的不锈钢材料压制而成，并且炉体是双层水冷，呈圆筒形，内壁无死角，能有效散热、便于清洁处理。本技术提供的提拉法生长晶体的节能装置，机械传动部分主要包括籽晶轴和坩埚轴的转动和提升，并且籽晶轴的转速在调速范围内稳定无振动；并且加热线圈采用低频电阻加热，功率小，能耗低，节约能源，并且加热功率可实现连续可调，功率足够使硅料全部融化。更重要的是，本技术的晶体生长的装置能提高生产效率，高度节能，操作方便，使用安全，大大降低了生产成本，并提高了晶体的利用率，节约资源。【附图说明】图1是本技术实施例提供的提拉法生长晶体的节能装置的结构示意图。1、坩埚轴；2、电极；3、加热器；4、多层石墨保温罩；5、炉体；6、籽晶轴；7、石墨埚托；8、石英坩埚；9、石英埚托；10、反射罩；11、石墨坩埚；12、导线接板。【具体实施方式】为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。结合附图1对本案例进行说明，本技术实施例是这样实现的，一种提拉法生长晶体的节能装置，该装置的结构包括:炉体、籽晶轴、反射罩、石英坩埚、石墨坩埚、石墨埚托、加热器、多层石墨保温罩、电极、导线接板、坩埚轴；炉体5设置在整个装置的最外面，起到保护内部装置的作用；籽晶轴6设置在最上方，起到提拉、旋转籽晶的作用；石英坩埚8设置在籽晶轴6提拉的籽晶下方，起到存储熔融的原料的作用；石英埚托9设置在石英坩埚8下方，起到支撑石英坩埚8并保温的作用；反射罩10设置在石英埚托9的下方，起到将石英埚托9散失的热量重新回收的作用；石墨坩埚11设置在反射罩10的外面，石墨埚托7设置在石墨坩埚11外面；加热器3与电极2相连，设置在电极2与石墨埚托7之间，起到加热整个装置的作用；多层石墨保温罩4设置在炉体5内部靠近炉体一侧，在炉体5和电极2之间，起到对整个装置保温的作用；坩埚轴I设置在下端，与石墨埚托7相连，起到转动石墨埚托7、石墨坩埚11、石英埚托9、石英坩埚8及反射罩10的作用；导线接板12与电极2相连，设置在下端，起到为整个装置提供输电的作用。进一步，加热器3的加热线圈采用低频电阻加热，并可采用调压变压器控制。进一步，炉体5由不易生锈、非多孔性、不易挥发、易于清洁处理，并有一定机械强度的不锈钢材料压制而成，并且炉体是双层水冷，呈圆筒形，内壁无死角，能有效散热、便于清洁处理。本技术提供的提拉法生长晶体的节能装置，该装置的结构包括:炉体、籽晶轴、反射罩、石英坩埚、石墨坩埚、石墨埚托、加热器、多层石墨保温罩、电极、导线接板、坩埚轴；其中炉体设置在整个装置的最外面，起到保护内部装置的作用；籽晶轴设置在最上方，起到提拉、旋转籽晶的作用；石英坩埚设置在籽晶轴提拉的籽晶下方，起到存储熔融的原料的作用；石英埚托设置在石英坩埚下方，起到支撑石英坩埚并保温的作用；反射罩设置在石英埚托的下方，起到将石英埚托散失的热量重新回收的作用；石墨坩埚设置在反射罩的外面，石墨埚托设置在石墨坩埚外面；加热器与电极相连，设置在电极与石墨埚托之间，起到加热整个装置的作用；多层石墨保温罩设置在炉体内部靠近炉体一侧，在炉体和电极之间，起到对整个装置保温的作用；坩埚轴设置在下端，与石墨埚托相连，起到转动石墨埚托、石墨坩埚、石英埚托、石英坩埚及反射罩的作用；导线接板与电极相连，设置在下端，起到为整个装置提供输电的作用。本技术提供的提拉法生长晶体的节能装置，机械传动部分主要包括籽晶轴和坩埚轴的转动和提升，并且籽晶轴的转速在调速范围内稳定无振动；并且加热线圈采用低频电阻加热，功率小，能耗低，节约能源，并且加热功率可实现连续可调，功率足够使硅料全部融化。更重要的是，本技术的晶体生长的装置能提高生产效率，高度节能，操作方便，使用安全，大大降低了生产成本，并提高了晶体的利用率，节约资源。 以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种提拉法生长晶体的节能装置，其特征在于，该装置的结构包括：炉体、籽晶轴、反射罩、石英坩埚、石墨坩埚、石墨埚托、加热器、多层石墨保温罩、电极、导线接板、坩埚轴；炉体设置在整个装置的最外面；籽晶轴设置在最上方；石英坩埚设置在籽晶轴提拉的籽晶下方；石英埚托设置在石英坩埚下方；反射罩设置在石英埚托的下方；石墨坩埚设置在反射罩的外面，石墨埚托设置在石墨坩埚外面；加热器与电极相连，设置在电极与石墨埚托之间；多层石墨保温罩设置在炉体内部靠近炉体一侧，在炉体和电极之间；坩埚轴设置在下端，与石墨埚托相连，起到转动石墨埚托、石墨坩埚、石英埚托、石英坩埚及反射罩的作用；导线接板与电极相连，设置在下端。

【技术特征摘要】
1.一种提拉法生长晶体的节能装置，其特征在于，该装置的结构包括:炉体、籽晶轴、反射罩、石英坩埚、石墨坩埚、石墨埚托、加热器、多层石墨保温罩、电极、导线接板、坩埚轴； 炉体设置在整个装置的最外面； 籽晶轴设置在最上方； 石英坩埚设置在籽晶轴提拉的籽晶下方； 石英埚托设置在石英坩埚下方； 反射罩设置在石英埚托的下方； 石墨坩埚设置在反射罩的外面，石墨埚托设置在石墨坩埚外面； 加热器与电极相连，...

【专利技术属性】
技术研发人员：莫东鸣，
申请(专利权)人：重庆工业职业技术学院，
类型：新型
国别省市：重庆;85