【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】一种垂直式光波导，其包括一个基底，在该基底的顶面上垂直于该顶面开设有一个第一凹槽及一个第二凹槽，该第一凹槽的延伸方向与该第二凹槽的延伸方向互相平行，该第一凹槽与该第二凹槽之间形成一个突起部，该突起部上扩散有钛金属。该突起部的两侧均垂直于顶面，相对于脊型结构两侧更加平整，光遇到不容易被散射掉，提高了光的利用率。另，本专利技术还涉及一种垂直式光波导的制造方法。【专利说明】
本专利技术涉及一种。
技术介绍
光波导作为光电元件中较为常见的元件可以有效传递光信号。目前由于脊型光波导较比平面光波导的光损耗小而被广泛使用。但是如果被制造出来的脊型光波导的脊型顶面及两侧不平整，光遇到也会被散射，从而无法将光损耗降到更低。
技术实现思路
有鉴于此，有必要提供一种有效降低光损耗的。—种垂直式光波导,其包括一个基底,在该基底的顶面上垂直于该顶面开设有一个第一凹槽及一个第二凹槽，该第一凹槽的延伸方向与该第二凹槽的延伸方向互相平行，该第一凹槽与该第二凹槽之间形成一个突起部，该突起部上扩散有钛金属。一种垂直式光波导的制造方法，其包括以下步骤:提供一个基底；在该基底上垂直于该基底的顶面切割出第一凹槽及第二凹槽，该第一凹槽与该第二凹槽之间形成一个突起部；在该基底的顶面上涂布光阻覆盖整个基底；去掉覆盖在该突起部上的光阻；在该突起部上镀上钛膜；去掉光阻；对覆盖在突起部上的钛膜进行高温扩散形成垂直式光波导。本专利技术的，由于该第一凹槽及该第二凹槽为垂直于顶面开设，即该突起部的两侧均垂直于顶面，相对于脊型结构两侧更加平整，光遇到不容易被散射掉，提高了光的利用率。【专利附图】【...
【技术保护点】
一种垂直式光波导，其包括一个基底，在该基底的顶面上垂直于该顶面开设有一个第一凹槽及一个第二凹槽，该第一凹槽的延伸方向与该第二凹槽的延伸方向互相平行，该第一凹槽与该第二凹槽之间形成一个突起部，该突起部上扩散有钛金属。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李秉衡，
申请(专利权)人：鸿富锦精密工业深圳有限公司，鸿海精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44
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