【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种可动刀口装置，应用于光刻工艺，所述可动刀口装置包括上部Y向刀片、下部Y向刀片、左侧X向刀片和右侧X向刀片，所述四片刀片组合形成狭缝窗口，外部照明光束通过所述狭缝窗口将掩膜版图形投影曝光到硅片上，其特征在于，还包括框架和四个直线电机，所述四片刀片与四个直线电机均安装于所述框架内，所述左侧X向刀片与右侧X向刀片呈X向排列，所述上部Y向刀片与下部Y向刀片呈Y向排列，所述左侧X向刀片和右侧X向刀片均位于X向运动层内，所述上部Y向刀片和下部Y向刀片均位于Y向运动层内，所述四片刀片分别通过所述四个直线电机独立驱动，所述左侧X向刀片和右侧X向刀片分别通过其对应直线电机的驱动在所述框架内沿X向运动，所述上部Y向刀片和下部Y向刀片分别通过其对应直线电机的驱动在所述框架内沿Y向运动。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：方洁，李志龙，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，上海微高精密机械工程有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
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