研磨手臂位置矫正器制造技术

本实用新型专利技术是通过水平气泡的调节来检测和矫正研磨手臂的原点位置。本实用新型专利技术样式是凹型装置，通过凹形装置的两个触电分别接触研磨盘和platen，调节装置里内嵌的一个水平气泡，通过水平气泡的调整，检测和矫正设备的原点，这个装置我们可以简单精确地检查研磨手臂的原点位置，并且位置不准还可以方便的调节。把研磨手臂的位置检测和调节量化和精确化。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术是通过水平气泡的调节来检测和矫正研磨手臂的原点位置。本技术样式是凹型装置，通过凹形装置的两个触电分别接触研磨盘和platen，调节装置里内嵌的一个水平气泡，通过水平气泡的调整，检测和矫正设备的原点，这个装置我们可以简单精确地检查研磨手臂的原点位置，并且位置不准还可以方便的调节。把研磨手臂的位置检测和调节量化和精确化。【专利说明】研磨手臂位置矫正器
本技术涉及工业制造领域，特别涉及一种研磨手臂位置矫正器。
技术介绍
研磨手臂的原点位置是通过PC上的disk边缘和platen的边缘相切来确定的。我们现在检查研磨手臂的原点需要把压板(platen)上的pad撕掉(pad的尺寸比platen大)，非常麻烦而且耗费也比较大，目前我们检测和调节研磨手臂的原点位置是通过disk边缘和platen边缘相切来判断研磨手臂位置是否正确。由于我们12寸的机台出厂就比platen大，在检测和调节位置都要事先把研磨垫撕掉。这样会造成很大的人力和物力的浪费。现在这个装置可以在不撕掉pad或者是pad在platen上不整齐的情况下简单方便并且精确的检测研磨手臂的原点位置，研磨手臂的原点位置的检测和矫正非常的麻烦和不精确，没有一个量化的指标，完全靠人的肉眼判断。通过这个装置我们可以简单精确地检查研磨手臂的的原点位置，并且位置不准还可以方便的调节。把研磨手臂的位置检测和调节量化和精确化。
技术实现思路
本技术是通过水平气泡的调节来检测和矫正研磨手臂的原点位置。本技术样式是凹型装置，通过凹形装置的两个触电分别接触研磨盘和研磨压板，调节装置里内嵌的一个水平气泡，通过水平气泡的调整，检测和矫正设备的原点。一种研磨手臂位置矫正器，包括相互平行的上臂和下臂，立臂的两端分别垂直连接于所述上臂的一端和所述下臂的一端，所述上臂、所述下臂和所述立臂共同构成一凹形结构；其中，所述上臂的上表面内嵌一个水平气泡，所述上臂和下臂另一端的垂直面上均有一凸出的触点，且该两触点之间的连线与所述立臂的延展方向平行。上述研磨手臂位置矫正器，其中，所述立臂所在垂直平面与所述上臂和所述下臂在同垂直平面上。上述研磨手臂位置矫正器，其中，所述触点长短一致。上述研磨手臂位置矫正器，其中，所述气泡内嵌于所述上臂上表面，用于检测和矫正。上述研磨手臂位置矫正器的使用方法，其中，通过所述开口端的两个触点分别接触研磨盘和研磨压板，调节装置里内嵌的一个水平气泡，通过水平气泡的调整，检测和矫正设备的原点。本技术外形呈水平凹型，通过凹形装置的两个触电分别接触研磨盘和研磨压板，调节装置里内嵌的一个水平气泡，通过水平气泡的调整，检测和矫正设备的原点，不但可以方便的调节而且还可以使检测调节量化和精确化。采用本技术后的有益效果是:这个装置我们可以简单精确地检查研磨手臂的原点位置，并且位置不准还可以方便的调节。把研磨手臂的位置检测和调节量化和精确化。【专利附图】【附图说明】图1为本技术一种研磨手臂位置矫正器主视图；图2为本技术一种研磨手臂位置矫正器工作原理示意图；图3为本技术一种研磨手臂位置矫正器上臂水平气泡示意图。【具体实施方式】下面结合附图和具体事例对本技术做进一步的说明，但不作为本技术的限定。本技术是通过水平气泡的调节来检测和矫正研磨手臂的原点位置。本技术样式是凹型装置，通过凹形装置的两个触电5、6分别接触研磨盘和研磨压板，调节装置里内嵌的一个水平气泡I (如图3所示)，通过水平气泡I的调整，检测和矫正设备的原点，如图1所示:一种研磨手臂位置矫正器，包括相互平行的上臂2和下臂3，立臂4的两端分别垂直连接于所述上臂2的一端和所述下臂3的一端，所述上臂2、所述下臂3和所述立臂4共同构成一凹形结构；其中，所述上臂2的上表面内嵌一个水平气泡I，所述上臂2和下臂3另一端的垂直面上均有一凸出的触点5、6，且该两触点之间的连线与所述立臂的延展方向平行。上述研磨手臂位置矫正器，其中，所述立臂4所在垂直平面与所述上臂2和所述下臂3在同垂直平面上，立臂4和两横臂形成凹型结构，立臂4为凹槽的底部。上述研磨手臂位置矫正器，其中，所述触点5和触点6长短一致，通过凹形装置的两个触电分别接触研磨盘和platen，调节装置里内嵌的一个水平气泡1，通过水平气泡I的调整，检测和矫正设备的原点。上述研磨手臂位置矫正器，其中，所述气泡I内嵌于所述上臂2上表面，嵌于上表面方便检测和矫正。上述研磨手臂位置矫正器的使用方法，其中，通过所述开口端的两个触点分别接触研磨盘和研磨压板，调节装置里内嵌的水平气泡1，通过水平气泡I的调整，检测和矫正设备的原点。本技术外形呈水平凹型，通过凹形装置的两个触电5、6分别接触研磨盘和研磨压板，调节装置里内嵌的一个水平气泡1，通过水平气泡I的调整，检测和矫正设备的原点，不但可以方便的调节而且还可以使检测调节量化和精确化。使用方法为如图2所示:通过凹形装置上臂2和下臂3的两个触电5和触电6分别接触研磨盘和platen，调节装置里内嵌的一个水平气泡1，当水平气泡I处于中间位置时，所检测到的位置为设备的原点。以上所述仅为本技术较佳的事例，并非因此限制本技术的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本技术说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应包含在本技术的保护范围内。【权利要求】1.一种研磨手臂位置矫正器，其特征在于，包括相互平行的上臂和下臂，立臂的两端分别垂直连接于所述上臂的一端和所述下臂的一端，所述上臂、所述下臂和所述立臂共同构成一凹形结构；其中，所述上臂的上表面内嵌一个水平气泡，所述上臂和下臂另一端的垂直面上均有一凸出的触点，且该两触点之间的连线与所述立臂的延展方向平行。2.如权利要求1所述研磨手臂位置矫正器，其特征在于，所述立臂所在垂直平面与所述上臂和所述下臂在同垂直平面上。3.如权利要求1所述研磨手臂位置矫正器，其特征在于，所述触点长短一致。4.如权利要求1所述研磨手臂位置矫正器，其特征在于，所述气泡内嵌于所述上臂上表面，用于检测和矫正。【文档编号】B24B53/017GK203680059SQ201320776619【公开日】2014年7月2日 申请日期:2013年11月29日 优先权日:2013年11月29日 【专利技术者】赵振伟, 张弢, 蒋德念 申请人:上海华力微电子有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种研磨手臂位置矫正器，其特征在于，包括相互平行的上臂和下臂，立臂的两端分别垂直连接于所述上臂的一端和所述下臂的一端，所述上臂、所述下臂和所述立臂共同构成一凹形结构；其中，所述上臂的上表面内嵌一个水平气泡，所述上臂和下臂另一端的垂直面上均有一凸出的触点，且该两触点之间的连线与所述立臂的延展方向平行。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵振伟，张弢，蒋德念，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31