【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种设备，包括：微机电系统MEMS器件，配置为振荡器的一部分，所述MEMS器件包括：从MEMS的衬底悬置的质量体；第一电极，配置为基于所述质量体的位移来提供第一信号；以及第二电极，配置为接收基于第一信号的第二信号。与第一电极和第一节点耦合的放大器，所述放大器配置为产生输出信号，所述输出信号基于第一信号和第一增益；以及衰减器，所述衰减器配置为基于第二增益来衰减所述输出信号，并且提供衰减后的输出信号作为第二信号。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：阿龙·卡菲，马努·塞思，布赖恩·德罗斯特，
申请(专利权)人：硅谷实验室公司，
类型：发明
国别省市：美国;US
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