化学液存储瓶及其制造方法技术

本发明专利技术公开了一种化学液存储瓶及其制造方法，所述化学液存储瓶包括：瓶端口部，其包括顶壁、自所述顶壁的边缘延伸而成的端口侧壁、自所述顶壁的外表面向外延伸而成的凸起部，所述瓶端口部具有自所述凸起部的表面向内延伸的接合孔以及自所述接合孔继续向内延伸并贯穿所述顶壁的管线孔，其中所述接合孔的尺寸大于所述管线孔的尺寸；与所述瓶端口部接合在一起的瓶本体部，其中所述瓶端口部和所述瓶本体部共同形成一个容纳腔，该容纳腔仅通过所述管线孔与外界相通。其能同时满足易于制造，较低成本，可根据需要选择通道数量和通道大小，能够承受较大的内部压力等需求。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了一种，所述化学液存储瓶包括：瓶端口部，其包括顶壁、自所述顶壁的边缘延伸而成的端口侧壁、自所述顶壁的外表面向外延伸而成的凸起部，所述瓶端口部具有自所述凸起部的表面向内延伸的接合孔以及自所述接合孔继续向内延伸并贯穿所述顶壁的管线孔，其中所述接合孔的尺寸大于所述管线孔的尺寸；与所述瓶端口部接合在一起的瓶本体部，其中所述瓶端口部和所述瓶本体部共同形成一个容纳腔，该容纳腔仅通过所述管线孔与外界相通。其能同时满足易于制造，较低成本，可根据需要选择通道数量和通道大小，能够承受较大的内部压力等需求。【专利说明】【
】本专利技术涉及液体存放容器领域，特别涉及。【
技术介绍
】通常可用做化学药品自动化传输的化学药液存储瓶，是由一个瓶身和一个含多个通道的瓶盖组成，如高效液相色谱(HPLC)中流动液的存储瓶。将用于传输化学液体的管子的一头通过瓶盖上的通道进入瓶中，定位在接近瓶子的底部地区，再将管子的另一头接到一个液泵入口上，通过液泵产生的吸力将化学液传输到要传输的地方。为了保证液泵传送化学液速度的稳定，通常会通过瓶盖的另一个通道，给存储瓶输入氮气，在液面产生低压，以保证液泵进口有足够的液体供应。在半导体制造业，常需要采用各种化学药液对基体进行清洗、刻蚀和做特殊表面的准备。由于高端半导体产品的制造工艺对基体表面洁净度的要求超高，为了避免在化学液配制、传输过程中有可能发生的污染及安全问题，从化学药液的配制、传送，到使用完后的收集过程都需要采用全自动控制机制。这就需要特制的化学药液存储瓶以满足化学药液全自动化传输。可应用于半导体制造的化学液存储瓶必须满足耐腐蚀、不影响化学液纯度及超净度的要求。在半导体制造业常采用含有氢氟酸的化学配方，对化学液中的金属污染浓度要求在十亿分之一(PPb)水平之下，因此，化学液瓶通常采用超纯、耐腐蚀的塑料材料制成，如:聚乙烯(PP)、聚四氟乙烯(PTFE、PFA、PVDF)等。市场上可选用的塑料瓶主要分为两种:一种是由瓶身和含有多通道的瓶盖两部分组成的结构；一种是瓶身和瓶盖一体的结构。 为了减少化学液中的颗粒污染，在化学液的传输过程需要尽可能地避免使用液泵，而是通过往化学液存储瓶输入氮气，在化学液存储瓶中产生压力，将瓶中的化学液压出瓶中。常见的瓶身和瓶盖可分离的塑料瓶能承受的压力很有限，通常在IOpsi气体压力状态时，在瓶盖和瓶身的连接处就会发生气体泄漏，这不仅限制瓶中压力的增高，同时由于泄漏的气体会同时带出化学蒸汽，产生安全隐患。而瓶身瓶盖一体的瓶子，能很好的解决气体泄漏的问题，但通常因为需要特制模具，制造成本很高。有必要提出一种改进的技术方案来克服上述问题。【
技术实现思路
】本专利技术的目的之一在于提供一种容易制造，成本较低，同时能够承较大的内部压力的化学液存储瓶。本专利技术的目的之二在于提供一种容易制造，成本较低，同时能够承较大的内部压力的化学液存储瓶的制造方法。为了实现上述目的，根据本专利技术的一个方面，本专利技术公开了一种化学液存储瓶，其包括:瓶端口部，其包括顶壁、自所述顶壁的边缘延伸而成的端口侧壁、自所述顶壁的外表面向外延伸而成的凸起部，所述瓶端口部具有自所述凸起部的表面向内延伸的接合孔以及自所述接合孔继续向内延伸并贯穿所述顶壁的管线孔，其中所述接合孔的尺寸大于所述管线孔的尺寸；与所述瓶端口部接合在一起的瓶本体部，其中所述瓶端口部和所述瓶本体部共同形成一个容纳腔，该容纳腔仅通过所述管线孔与外界相通；其内设置有通孔的接合部件，该接合部件可拆卸的固定于所述接合孔内，在接合部件固定于所述接合孔内时，所述通孔与所述管线孔形成管线通道，传输管线能够通过所述管线通道延伸入所述容纳腔内。借助于所述接合部件和所述接合孔的配合使得所述容纳腔成为一个封闭的空腔。进一步的，所述瓶端口部还包括有自所述顶壁的边缘延伸而成的外缘部，所述外缘部的延伸方向与所述端口侧壁的延伸方向相反，所述外缘部和所述顶壁共同围成有凹槽，所述凹槽容纳从所述化学液存储瓶泄露出的化学液。进一步的，所述外缘部上形成有与所述凹槽相通的排泄孔。进一步的，所述凸起部包括有位于所述顶壁的中部的凸台以及环绕所述凸台的凸肋，所述凸台上形成有一个接合孔，在所述凸肋上形成有至少一个接合孔。进一步的，所述瓶本体部包括瓶腔体部和瓶体底部，所述瓶腔体部为中空的柱体，所述瓶腔体部的柱体一端与所述瓶端口部通过焊接接合在一起，所述瓶腔体部的柱体另一端与所述瓶体底部通过焊接结合在一起。进一步的，所述瓶体底部包括底壁、自所述底壁的边缘延伸而成的底部侧壁和自所述底壁的边缘延伸而成的支撑部，所述支撑部的延伸方向与所述底部侧壁的延伸方向相反，所述底部侧壁与所述瓶腔体部通过焊接接合在一起。进一步的，所述瓶体底部的结构与所述瓶端口部的结构的区别仅在于所述瓶体底部上并未设置所述瓶端口部中的接合孔和管线孔，所述瓶体底部和所述瓶端口部是使用同一个模具注塑加工而成的。进一步的，所述瓶腔体部是由至少两个柱形瓶腔体元件焊接而成。进一步的，所述瓶本体部的结构与所述瓶端口部的结构的区别仅在于所述瓶体底部上并未设置所述瓶端口部中的接合孔和管线孔，所述瓶本体部和所述瓶端口部是使用同一个模具注塑加工而成的。根据本专利技术的另一个方面，本专利技术提出一种化学瓶存储瓶的制造方法，其包括:提供瓶端口部胚件，所述瓶端口部胚件包括有顶壁、自所述顶壁的边缘延伸而成的端口侧壁、自所述顶壁的外表面向外延伸而成的凸起部；在所述瓶端口部胚件上加工形成自所述凸起部的表面向内延伸的接合孔以及自所述接合孔继续向内延伸并贯穿所述顶壁的管线孔，其中所述接合孔的尺寸大于所述管线孔的尺寸，此时得到了瓶端口部；提供瓶本体部；将所述瓶端口部和所述瓶本体部焊接在一起以共同形成一个容纳腔，该容纳腔仅通过所述管线孔与外界相通；提供其内设置有通孔的接合部件，该接合部件可拆卸的固定于所述接合孔内，在接合部件固定于所述接合孔内时，所述通孔与所述管线孔形成管线通道，传输管线能够通过所述管线通道延伸入所述容纳腔内。进一步的，所述瓶本体部包括瓶腔体部以及瓶体底部，将将所述瓶端口部和所述瓶本体部焊接在一起包括:将所述瓶腔体部的一端与所述瓶端口部通过焊接接合在一起，将所述瓶腔体部的另一端与所述瓶体底部通过焊接结合在一起。进一步的，提供的所述瓶端口部胚件还包括有自所述顶壁的边缘延伸而成的外缘部，所述外缘部的延伸方向与所述端口侧壁的延伸方向相反，所述外缘部和所述顶壁共同围成有凹槽，所述凹槽容纳从所述化学液存储瓶泄露出的化学液。进一步的，所述外缘部上形成有与所述凹槽相通的排泄孔。进一步的，所述凸起部包括有位于所述顶壁的中部的凸台以及环绕所述凸台的凸肋，所述凸台上形成有一个接合孔，在所述凸肋上形成有至少一个接合孔。进一步的，所述瓶体底部包括底壁、自所述底壁的边缘延伸而成的底部侧壁和自所述底壁的边缘延伸而成的支撑部，所述支撑部的延伸方向与所述底部侧壁的延伸方向相反，所述底部侧壁与所述瓶腔体部通过焊接接合在一起。进一步的，所述瓶腔体部是由至少两个柱形瓶腔体元件焊接而成，各个柱形瓶腔体元件是由同一个模具注塑加工而成的。进一步的，所述瓶体底部与所述瓶端口部胚件的结构相同，它们是使用同一个模具注塑加工而成的。进一步的，所述瓶本体部与所述瓶端口部胚件的结构相同，它们是本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种化学液存储瓶，其特征在于：其包括：瓶端口部，其包括顶壁、自所述顶壁的边缘延伸而成的端口侧壁、自所述顶壁的外表面向外延伸而成的凸起部，所述瓶端口部具有自所述凸起部的表面向内延伸的接合孔以及自所述接合孔继续向内延伸并贯穿所述顶壁的管线孔，其中所述接合孔的尺寸大于所述管线孔的尺寸；与所述瓶端口部接合在一起的瓶本体部，其中所述瓶端口部和所述瓶本体部共同形成一个容纳腔，该容纳腔仅通过所述管线孔与外界相通；其内设置有通孔的接合部件，该接合部件可拆卸的固定于所述接合孔内，在接合部件固定于所述接合孔内时，所述通孔与所述管线孔形成管线通道，传输管线能够通过所述管线通道延伸入所述容纳腔内，借助于所述接合部件和所述接合孔的配合使得所述容纳腔成为一个封闭的空腔。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：温子瑛，
申请(专利权)人：无锡华瑛微电子技术有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32