制造喷液元件的方法技术

技术编号:1015705 阅读:190 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种用于制造喷液元件的制造方法,该喷液元件包括:液体流动通路,该液体流动通路开口于用于喷射液体的喷射出口处;以及能量产生部件,用于产生能量,该能量可用于使得来自液体流动通路的液体通过喷射出口来喷射,该制造方法包括:在基质的正面形成能量产生部件的步骤;在具有通过能量产生部件形成步骤而形成的能量产生部件的侧部上形成顶板部件的步骤,其中,该顶板部件是在其中形成所述液体流动通路和所述喷射出口的部件;以及从基质的背面削薄所述基质的步骤,该基质有通过顶板部件形成步骤而在它上面形成的顶板部件。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于制造喷液元件的制造方法,该喷液元件包括:液体流动通路,该液体流动通路开口于用于喷射液体的喷射出口处;以及能量产生部件,用于产生能量,该能量可用于使得来自液体流动通路的液体通过喷射出口来喷射,所述制造方法包括:在基质的正面形成能量产生部件的步骤;在具有通过所述能量产生部件形成步骤而形成的所述能量产生部件的所述正面上形成顶板部件的步骤,其中,所述顶板部件是在其中形成所述液体流动通路和所述喷射出口的部件;从基质的背面削薄所述基质的步骤,该基质有通过所述顶板部件形成步骤而在它上面形成的所述顶板部件;穿过所述基质形成通孔的步骤;以及用导电材料填充所述通孔的步骤。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:小室博和
申请(专利权)人:佳能株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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