本实用新型专利技术涉及立式炉保温桶设备技术领域,尤其涉及一种立式炉保温桶旋转定位装置。该立式炉保温桶旋转定位装置,包括保温桶、转轴和插销,保温桶安装在转轴的外侧,保温桶上设有第一插孔,转轴上设有第二插孔,第一插孔与第二插孔对应设置,第一插孔通过插销与第二插孔连接。本实用新型专利技术的立式炉保温桶旋转定位装置安装方便快捷,定位准确,操作简单,能有效减少安装过程中的尝试次数,使保温桶不容易受到损伤,且插销结构简单,易于更换。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术涉及立式炉保温桶设备
,尤其涉及一种立式炉保温桶旋转定位装置。该立式炉保温桶旋转定位装置,包括保温桶、转轴和插销,保温桶安装在转轴的外侧,保温桶上设有第一插孔,转轴上设有第二插孔,第一插孔与第二插孔对应设置,第一插孔通过插销与第二插孔连接。本技术的立式炉保温桶旋转定位装置安装方便快捷,定位准确,操作简单,能有效减少安装过程中的尝试次数,使保温桶不容易受到损伤,且插销结构简单,易于更换。【专利说明】一种立式炉保温桶旋转定位装置
本技术涉及热处理设备
,尤其涉及一种立式炉保温桶旋转定位装置。
技术介绍
硅片是一种重要的半导体材料,它的加工处理是一种非常精密的工艺,目前国际上普遍采用立式炉来为硅片进行热处理工艺,为了提高保温效果,在立式炉中需要用到保温桶,在目前现有技术中所用的保温桶与转轴之间的连接方式为在转轴上固定定位栓的结构,由于在安装过程中看不到定位点,非常不容易安装,浪费大量的时间,且因为转轴为金属材质,保温桶为石英材质,在安装时转轴容易对保温桶造成损伤,保温桶在经过多次安装以后,定位位置容易出现明显的破损现象,从而造成定位不准确的问题,存在潜在的安全隐串
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本技术要解决的技术问题是提供了一种立式炉保温桶旋转定位装置,使立式炉保温桶能更加方便快捷的安装在转轴上,定位准确,操作简单,有效减少安装过程中的尝试次数,使保温桶不容易受到损伤,且易于更换。(二)技术方案`为了解决上述技术问题,本技术提供了一种立式炉保温桶旋转定位装置,包括保温桶和转轴,还包括插销,所述保温桶安装在所述转轴的外侧,所述保温桶上设有第一插孔,所述转轴上设有第二插孔,所述第一插孔与所述第二插孔对应设置,所述第一插孔通过所述插销与所述第二插孔连接。优选地,所述插销的截面为正方形。优选地,所述插销为石英材料。(三)有益效果本技术的上述技术方案具有以下有益效果:本技术提供的立式炉保温桶旋转定位装置,包括保温桶、转轴和插销,所述保温桶安装在所述转轴的外侧,所述保温桶上设有第一插孔,所述转轴上设有第二插孔,所述第一插孔与所述第二插孔对应设置,所述第一插孔通过所述插销与所述第二插孔连接。可以通过转动保温桶,使第一插孔与第二插孔对应,方便插销能依次插入第一插孔和第二插孔,从而为保温桶和转轴定位。本技术的立式炉保温桶旋转定位装置安装方便快捷,定位准确,操作简单,能有效减少安装过程中的尝试次数,使保温桶不容易受到损伤,且插销结构简单,易于更换。【专利附图】【附图说明】图1为本技术实施例的立式炉保温桶旋转定位装置装配截面的轴测视图;图2为本技术实施例的立式炉保温桶旋转定位装置装配截面的俯视局部剖视图。其中,1:保温桶;2:转轴;3:插销;41:弟一插孔;42:弟二插孔。【具体实施方式】下面结合附图和实施例对本技术的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术,但不能用来限制本技术的范围。在本技术的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上;除非另有说明,“缺口状”的含义为除截面平齐外的形状。术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本技术的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。如图1所示,本实施例所述的立式炉保温桶旋转定位装置,包括保温桶1、转轴2和插销3,转轴2固定不动,保温桶I安装在转轴2的外侧,可以以转轴2为中心旋转,保温桶I上设有第一插孔41,转轴2上设有第二插孔42,第一插孔41与第二插孔42对应设置,以保证插销3可以依次插入第一插孔41和第二插孔42,第一插孔41通过插销3与第二插孔42连接,可以通过转动保温桶I,使第一插孔41与第二插孔42对应,方便插销3能依次插入第一插孔41和第二插孔42,从而为保温桶I和转轴2定位,插销3可以很好的阻止保温桶I和转轴2之间的相对运动。如图2所示,转轴2内部设有中心轴和位于外圈的凸台,第二插孔42穿过凸台,与中心轴之间有间隙,且第二插孔42的底面与转轴的底面之间有距离,具体到本实施例中,距离保持在1.5mm,当插销3穿过第一插孔41插入第二插孔42时,第二插孔42的底面可以托住插销3,使得该立式炉保温桶旋转定位装置的定位效果更加准确。考虑本实施例的立式炉保温桶旋转定位装置的实用性和可行性,优选地,插销3的截面为正方形,在插装时可以不用考虑其方向,便于安装和拆卸;优选地,插销3为石英材料,和保温桶I材质相同,耐高温,且对工艺过程无污染,可以避免在安装插销3时,划伤保温桶1,可以有效减少安装过程中的尝试次数,使保温桶I不容易受到损伤,且插销3结构简单,易于更换。在安装保温桶I时,先将保温桶I套装在转轴2的外侧,将第一插孔41与第二插孔42对好并保持同轴,将插销3依次穿过第一插孔41和第二插孔42,固定保温桶I和转轴2,使保温桶1与转轴2之间不会发生相对运动;拆卸时,先取出插销3,然后取走保温桶1,整个装卸过程操作简单,节省 时间。综上所述,本实施例的立式炉保温桶旋转定位装置,包括保温桶1、转轴2和插销3,保温桶I安装在转轴2的外侧,保温桶I上设有第一插孔41,转轴2上设有第二插孔42,第一插孔41与第二插孔42对应设置,第一插孔41通过插销3与第二插孔42连接。可以通过转动保温桶1,使第一插孔41与第二插孔42对应,方便插销3能依次插入第一插孔41和第二插孔42,从而为保温桶I和转轴2定位。本技术的立式炉保温桶旋转定位装置安装方便快捷,定位准确,操作简单,能有效减少安装过程中的尝试次数,使保温桶I不容易受到损伤,且插销3结构简单,易于更换。本技术的实施例是为了示例和描述起见而给出的,而并不是无遗漏的或者将本技术限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本技术的原理和实际应用,并且使本领域的普通技术人员能够理解本技术从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。【权利要求】1.一种立式炉保温桶旋转定位装置,包括保温桶(I)和转轴(2),其特征在于,还包括插销(3),所述保温桶(I)安装在所述转轴(2)的外侧,所述保温桶(I)上设有第一插孔(41),所述转轴(2)上设有第二插孔(42),所述第一插孔(41)与所述第二插孔(42)对应设置,所述第一插孔(41)通过所述插销(3 )与所述第二插孔(42 )连接。2.根据权利要求1所述的立式炉保温桶旋转定位装置,其特征在于,所述本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种立式炉保温桶旋转定位装置,包括保温桶(1)和转轴(2),其特征在于,还包括插销(3),所述保温桶(1)安装在所述转轴(2)的外侧,所述保温桶(1)上设有第一插孔(41),所述转轴(2)上设有第二插孔(42),所述第一插孔(41)与所述第二插孔(42)对应设置,所述第一插孔(41)通过所述插销(3)与所述第二插孔(42)连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:宋辰龙,林伟华,
申请(专利权)人:北京七星华创电子股份有限公司,
类型:新型
国别省市:北京;11
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