【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种MEMS器件真空封装结构,其特征在于,所述结构至少包括:基板,形成有环形隔离结构以及位于所述环形隔离结构中的第一电极,环绕所述基板周侧的结构作为边框支撑结构,其中,所述环形隔离结构为填充有外延材料的第一通孔,且所述第一通孔的内侧壁上形成有绝缘材料以电学隔离所述第一电极;结构层,位于所述基板上,至少包括结合于所述基板边缘内侧的边框、结合于所述第一电极上的所述MEMS器件的电极连接组件、及用以制作所述MEMS器件的第一区域;盖板,结合于所述结构层上,形成有与所述环形隔离结构对应的第一凹槽,所述第一凹槽的外侧部分结合于所述边框上,内侧部分结合于所述电极连接组件上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:焦继伟,王敏昌,颜培力,秦嵩,
申请(专利权)人:微机电科技香港有限公司,
类型:发明
国别省市:中国香港;81
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