【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种具多重电极的微机电装置，适用于感测气压的变化，包含：基板；第一电极，设置于该基板；第二电极，设置于该基板并包含感测部及固定部；以及第三电极，设置该基板，其中，当该感测部形变时，该固定部与该第三电极间具有预设固定距离。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：许郁文，郭秦辅，黄肇达，毛俊凯，王钦宏，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71
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