一种超声键合压力的识别方法技术

一种超声键合压力的识别方法，属于超声键合技术领域，键合压力的增加，超声电压包络幅值逐步增大，而电流包络幅值逐步减小，根据其相互变化建立公式评估键合压力；键合压力的变化从0.2N到0.7N依次增加，间隔为0.1N。一共安排了6组实验，其它3个工艺参数固定为：键合时间：15ms，超声功率：25mW，加载温度：200℃。式中：F——键合压力评估值；n——数据长度；xi，yi——超声电压信号和电流信号，i=1,2,…,n；λF——调整系数。实验时每组实验对应一个压力点，每组实验分别测量10个样本，通过多组数据的计算，取其平均值，得到均值λF，最后就可以得到计算超声键合压力的计算公式值了。

【技术实现步骤摘要】
一种超声键合压力的识别方法
本专利技术涉及一种超声键合压力的识别方法，属于超声键合

技术介绍
键合过程工艺参数是影响键合质量的最关键因素，工程实际中，一般都是通过调整工艺参数来确保键合质量的。然而，键合工艺参数可能会随外部环境或键合系统的不稳定性发生漂移。例如外部电源的波动会影响到超声功率的变化，键合力控系统故障引起的键合力发生变化等等。因此，对键合过程工艺参数进行实时监控意义重大。一般的键合系统，工艺参数的调节都是通过固定档位的切换来完成的，因此受外部影响大，一般误差率在15%左右，对于本专利所涉及的超声键合系统，键合时间和超声功率可分为30个档位，从小到大依次变化，键合压力可分为6个档位，加载温度的变化从0-400℃之间连续变化。已有的研究已经证明，键合过程超声电信号可以反映键合过程质量信息，与键合工艺参数之间存在密切关系，因此，理论上来讲可以通过超声电信号来识别键合过程的压力参数。如何建立目前是一个急需解决的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种超声键合压力的识别方法。本专利技术要解决的是现有固定档位调节压力不准确的不足。一种超声键合压力的识别方法，键合压力的增加，超声电压包络幅值逐步增大，而电流包络幅值逐步减小，根据其相互变化建立公式评估键合压力；键合压力的变化从0.2N到0.7N依次增加，间隔为0.1N。一共安排了6组实验，其它3个工艺参数固定为：键合时间：15ms，超声功率：25mW，加载温度：200℃。式中：F——键合压力评估值；n——数据长度；xi，yi——超声电压信号和电流信号，i=1,2,…,n；λF——调整系数。实验时每组实验对应一个压力点，每组实验分别测量10个样本，通过多组数据的计算，取其平均值，得到均值λF，最后就可以得到计算超声键合压力的计算公式值了。本专利技术的优点：通过实验建立了超声压力的计算公式，可以由公式直接推导出超声压力，而且准确度高，应具有广阔的市场空间。附图说明图1是本专利技术一种超声键合压力的识别方法的电压电流信号图；具体实施方式下面结合附图及实施例对本专利技术作进一步的说明。一种超声键合压力的识别方法，键合压力的增加，超声电压包络幅值逐步增大，而电流包络幅值逐步减小，根据其相互变化建立公式评估键合压力；键合压力的变化从0.2N到0.7N依次增加，间隔为0.1N。一共安排了6组实验，其它3个工艺参数固定为：键合时间：15ms，超声功率：25mW，加载温度：200℃。式中：F——键合压力评估值；n——数据长度；xi，yi——超声电压信号和电流信号，i=1,2,…,n；λF——调整系数。实验时每组实验对应一个压力点，每组实验分别测量10个样本，共安排6组实验，实验的电压信号包络和电流信号包络均在附图1中，通过多组数据的计算，取其平均值，得到均值λF=0.6452，将λF代入公式中，得到表1所示的结果。可以看到其误差|Fc|非常小，计算结果的平均精度达到95.2%，识别精度非常高，基本符合实际使用的要求。表1键合压力识别结果本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超声键合压力的识别方法，其特征在于：键合压力的增加，超声电压包络幅值逐步增大，而电流包络幅值逐步减小，根据其相互变化建立公式评估键合压力；键合压力的变化从0.2N到0.7N依次增加，间隔为0.1N。一共安排了6组实验，其它3个工艺参数固定为：键合时间：15ms，超声功率：25mW，加载温度：200℃。F=λFnΣi=1nxi/yi]]>式中：F——键合压力评估值；n——数据长度；xi，yi——超声电压信号和电流信号，i=1,2,…,n；λF——调整系数。实验时每组实验对应一个压力点，每组实验分别测量10个样本，通过多组数据的计算，取其平均值，得到均值λF，最后就可以得到计算超声键合压力的计算公式值了。

【技术特征摘要】
1.一种超声键合压力的识别方法，其特征在于：键合压力的增加，超声电压包络幅值逐步增大，而电流包络幅值逐步减小，根据其相互变化建立公式评估键合压力；键合压力的变化从0.2N到0.7N依次增加，间隔为0.1N，一共安排了6组实验，其它3个工艺参数固定为：键合时间：15ms，超声功率...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯武卫，李鹏鹏，
申请(专利权)人：浙江海洋学院，
类型：发明
国别省市：浙江;33