除尘装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及除尘装置。提供了能够以少的能量得到优异的除去效果的效率良好的除尘装置。工件(W)的被除尘面(Wa)配设于过渡区域(E)内，该过渡区域(E)形成在来自喷嘴部(1)的喷流(3)的势流核心区(5)的终端(50)的更下游侧。

【技术实现步骤摘要】
除尘装置
本专利技术涉及除尘装置。
技术介绍
一直以来，家庭用液晶电视或智能手机、平板终端等的LCD面板制造，为了提高合格品率，在净室内工序中，使从净化器头的喷嘴部吹出的喷流碰撞在塑料或玻璃等的基板表面，进行微粒子等异物的除去(例如，参照专利文献1)。专利文献专利文献1：日本特开平11-235559号公报。
技术实现思路
可是，存在着这样的问题：伴随着成为除尘对象的工件(基板)的大型化，供给至净化器头(除尘头)的气体流量增加，消耗很大的能量(电力)。于是，本专利技术的目的在于，提供一种不使消耗能量增加就能够得到充分的除去效果的效率良好的除尘装置。为了达成上述目的，本专利技术的集尘装置，工件的被除尘面配设于过渡区域内，该过渡区域形成在来自喷嘴部的喷流的势流核心区的终端的更下游侧。另外，在将上述喷嘴部的喷出缝隙的缝隙宽度尺寸设为S并将上述喷出缝隙的出口部与上述被除尘面的间距尺寸设为H时，以满足下述算式1的方式，设定上述S，将上述被除尘面设为上述过渡区域内，[算式1]H/9≤S＜H/6。另外，在将上述喷流的上述被除尘面处的喷出方向的时间平均流速的最大值设为Umax并将上述喷流的喷出方向的速度变动值的强度的最大值设为V'max时，构成为满足下述算式2和下述算式3，[算式2]110＜Umax＜150(单位：m/s)[算式3]6.0≤(V'max/Umax)×100≤12。能够使从喷嘴部喷出的空气流量减少，缩短(所产生的)势流核心区的全长，将被除尘面设为势流核心区终端的更下游侧。这样，由此，能够以少的消耗能量(流量)得到充分的除尘效果。附图说明图1是显示本专利技术的实施的一个方式的主要部分断裂立体图。图2是显示喷嘴部的一个示例的剖面图。图3是用于构成及作用的说明的图。图4是显示实施例和比较例的实际测量结果的图表。图5是显示间距尺寸与除去率的关系的图解图。图6是显示时间平均流速的最大值与内压的关系的图解图。图7是显示时间平均流速的分布的图解图。图8是显示速度变动值的强度的分布的图解图。图9是显示速度变动值的强度的最大值与内压的关系的图解图。图10是对第1装置和第2装置比较8kPa下的速度变动频谱分布的图解图。图11是对第1装置和第2装置比较11kPa下的速度变动频谱分布的图解图。图12是对第1装置和第2装置比较14kPa下的速度变动频谱分布的图解图。图13是显示除去率与内压的关系的图解图。图14是第2装置的喷嘴部的剖面图。具体实施方式以下，基于图示的实施方式，详细说明本专利技术。本专利技术所涉及的集尘装置，如图1所示，具备：净化器头(除尘头)9，其在内部具有供给加压空气的贮气室11和负压的吸气室12；以及省略图示的加压且吸引用的鼓风机装置，其将空气供给至净化器头9的贮气室11，并且，对吸气室12内进行真空吸引。另外，能够利用变换器来调节由鼓风机装置供给至贮气室11的空气量而调整贮气室11的内压P。净化器头9具有用于将贮气室11内的空气向外部喷出的喷嘴部1和将外部与吸气室12连通的吸入口19。而且，由来自喷嘴部1的喷流(空气射流)3使附着于液晶显示器用的玻璃基板等的工件W的被除尘面Wa的微粒子等异物剥离，将该异物经由吸入口19而吸入吸气室12，从而除尘。喷嘴部1具有用于将贮气室11内的空气排出至外部的喷出槽10，该喷出槽10沿着净化器头9的长度方向L10形成。如图2所示，喷出槽10具有：横剖面直线状的空气流入部13，其与贮气室11连接；横剖面三角形状的第1腔部(宽幅中间部)14，其与空气流入部13的下游侧连通，随着朝向外部(喷出)侧而扩开；横剖面直线状的腔连接部15，其与第1腔部14的下游侧连通；横剖面三角形状的第2腔部(宽幅中间部)16，其与该腔连接部15的下游侧连通，随着朝向外部侧而扩开；剖面矩形状的第3腔部17，其与该第2腔部16的下游侧连通，宽度比连接部15更宽；以及喷出缝隙18，其将第3腔部17的下游侧与外部连通。空气流入部13和腔连接部15的宽度尺寸形成为相同的尺寸。喷嘴部1，将由第1腔部14和第2腔部16等在下游侧(腔内下游端角部)产生的搅乱传递至上游侧的气流(腔内上游的剥离气流)而造成影响，通过对受到该影响的气流(漩涡)在下游产生的搅乱进行影响的反馈机构，从而对气流造成高频的变动。如图3所示，从喷出缝隙18喷出的喷流3，具有速度不衰减的(一定的)势流核心区(potentialcore)(区域)5、在势流核心区5的终端(消灭位置)50的更下游侧紊乱为发展阶段的过渡区域(发展区域)E以及经过过渡区域E而充分地发展的湍流扩散气流的完全发展区域(扩散区域)F。另外，第1腔部14和第2腔部16等所形成的反馈机构使得喷流3为附加高频的(速度和压力)变动的气流。一直以来，使大量的空气趋势良好地喷出，而且，将喷嘴相对于工件W而尽可能地接近而配置，将工件W的被除尘面Wa配设于势流核心区5内，这适合于除尘。因此，对于大型的工件W，将大量的空气趋势良好地喷出，这消耗很大的能量。于是，本专利技术者为了谋求节能且同时也谋求除尘效率的改善，进行专心研究，进行这样的独特的构思：在喷流3的势流核心区5的终端50的更下游侧且完全发展区域F的更上游侧的过渡区域E内，设置工件W的被除尘面Wa。另外，研究探明，如果将喷出缝隙18的出口部J与被除尘面Wa的间隙G的间距尺寸设为H[mm]，将势流核心区5的长度尺寸(从出口部J至终端50的长度尺寸)设为L[mm]，那么，在喷流3的势流核心区5的终端50的更下游侧，如果超过势流核心区5的长度尺寸L的1.5倍，则除尘效率下降。即，找到L＜H≤3L/2的范围。而且，着眼于势流核心区5与喷出缝隙18的关系的话，将喷出缝隙18的缝隙宽度尺寸设为S[mm]，在实用的0.1mm≤S≤10mm的范围，实际测量所产生的势流核心区5的长度尺寸L，结果，势流核心区5的长度尺寸L为缝隙宽度尺寸S的5倍~6倍。于是，被除尘面Wa，为了比势流核心区5的终端50更可靠地配设于下游侧，考虑H＞6S。结果，使本专利技术所涉及的除尘装置满足下述算式1，设定缝隙宽度尺寸S和间距尺寸H，将被除尘面Wa设为过渡区域E内，[算式1]H/9≤S＜H/6。此外，优选，在1mm≤H≤2mm的范围，设定满足上述算式1的缝隙宽度尺寸S。在此，使用实施例和比较例的试验结果，说明作用和效果。首先，实施例构成为，具有图2的喷嘴部1，使间距尺寸H为1.5mm，使缝隙宽度尺寸S为0.2mm，满足算式1。接着，将作为具有图2的喷嘴部1、使间距尺寸H为1.5mm、使缝隙宽度尺寸S为0.4mm而不满足算式1的构成的除尘装置(换言之，在势流核心区5的终端50的上游配设有被除尘面Wa的除尘装置)作为比较例。另外，实施例和比较例的贮气室11的内压P管理(控制)为相同(14kPa)。对于粒子径为3μm的粒子和粒子径为1.6μm的粒子，分别测定除去率γ。在图4的图表中显示除去率γ以及喷流3的平均流速、喷流3的速度变动值的强度。后面叙述测定方法。如从图4显而易见的，实施例，对于3μm的粒子，为与比较例同等的除去率γ，对于1.6μm的粒子，除去率γ与比较例相比更优异。实施例，由于内压P与比较例相同，缝隙宽度尺寸S为2分之1，因而流量与比较例相比而显著地减少。即，实施例，与比较例相比，供给空气量为大致一本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种除尘装置，其特征在于，工件(W)的被除尘面(Wa)配设于过渡区域(E)内，所述过渡区域(E)形成在来自喷嘴部(1)的喷流(3)的势流核心区(5)的终端(50)的更下游侧。

【技术特征摘要】
2012.11.22 JP 2012-2562291.一种除尘装置的使用方法，其特征在于，工件(W)的被除尘面(Wa)配设于过渡区域(E)内，所述过渡区域(E)是形成在来自喷嘴部(1)的喷流(3)的势流核心区(5)的终端(50)的更下游侧的、紊乱为发展阶段的区域，在所述势流核心区(5)中，从所述喷嘴部(1)喷出的喷流(3)的速度为一定；在将所述喷嘴部(1)的喷出缝隙(18)的缝隙宽度尺寸设为S并将所述喷出缝隙(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：添本和彦，加藤健司，胁本辰郎，宇泽启，
申请(专利权)人：株式会社伸兴，公立大学法人大阪市立大学，
类型：发明
国别省市：