一种阵列基板和显示装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种阵列基板和显示装置。该阵列基板包括衬底基板以及设置于衬底基板上方的多个电极结构，电极结构包括采用金属材料制成的本体电极，还包括：衬底电极，衬底电极采用透明金属氧化物材料制成；衬底电极位于本体电极下方，且在正投影方向上与本体电极部分或完全重叠；衬底电极与本体电极电连接。该阵列基板通过在金属材料制成的本体电极（如：数据线、源极、漏极、备用电极和信号输入电极等）下方设置衬底电极，使本体电极能够与栅绝缘层或有源层紧密接触，从而不容易在本体电极内部形成小缺口，进而避免了本体电极出现断路，保证了阵列基板的品质。从而也进一步保证了采用该阵列基板的显示装置的显示品质。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术提供一种阵列基板和显示装置。该阵列基板包括衬底基板以及设置于衬底基板上方的多个电极结构，电极结构包括采用金属材料制成的本体电极，还包括：衬底电极，衬底电极采用透明金属氧化物材料制成；衬底电极位于本体电极下方，且在正投影方向上与本体电极部分或完全重叠；衬底电极与本体电极电连接。该阵列基板通过在金属材料制成的本体电极（如：数据线、源极、漏极、备用电极和信号输入电极等）下方设置衬底电极，使本体电极能够与栅绝缘层或有源层紧密接触，从而不容易在本体电极内部形成小缺口，进而避免了本体电极出现断路，保证了阵列基板的品质。从而也进一步保证了采用该阵列基板的显示装置的显示品质。【专利说明】一种阵列基板和显示装置
本技术属于显示
，具体地，涉及一种阵列基板和显示装置。
技术介绍
液晶显示器(LCD:Liquid Crystal Display)因其体积小、功耗低、无福射等特点已成为目前平板显示器中的主流产品。目前，随着液晶显示器技术的不断更新换代，高品质的液晶显示器成为各个生产厂家一致追求的目标。阵列基板是液晶显示器的重要组成部分，也是用来显示的关键组件。在阵列基板的制备过程中，常常会由于制备工艺中存在的一些客观缺陷导致阵列基板出现某些质量问题。如针对HADS (High Advanced Super Dimension Switch,高开口率高级超维场转换技术)模式的液晶显示器阵列基板，栅绝缘层通常采用化学气相沉积的方法形成在栅极的上方，有源层采用化学气相沉积的方法形成在栅绝缘层上；源极、漏极和数据线采用溅镀(Sputter)的方法形成在栅绝缘层上，且源极和漏极分别有一部分覆叠在栅绝缘层上，另一部分覆叠在有源层上，源极、漏极和数据线一般采用纯金属材料(如铬、铝、铜、钥等)制成。由于化学气相沉积时容易使栅绝缘层表面和有源层表面形成颗粒状(Particle)的表面，容易导致源极和漏极与有源层的接触不够充分，从而使源极和漏极与有源层之间的接触势垒增大或者两者之间接触不稳定；或者，颗粒状的表面会直接导致源极、漏极和数据线在金属溅镀时其膜层中形成小缺口，从而使制备完成的源极、漏极和数据线出现断路。另外，由于源极、漏极和数据线相对像素区其他区域的断差较大，而它们的纯金属材质柔韧性和致密性又比较差，所以在其制备过程中也容易形成断路。源极、漏极和数据线的断路会直接导致阵列基板无法正常显示，严重影响阵列基板乃至整个显示装置的品质。
技术实现思路
本技术针对现有技术中存在的上述技术问题，提供了一种阵列基板和显示装置。该阵列基板中的电极结构通过设置衬底电极，使该电极结构更具致密性和柔韧性。该阵列基板通过在金属材料制成的本体电极下方设置衬底电极，使本体电极能够与栅绝缘层或有源层紧密接触，从而不容易在本体电极内部形成小缺口，进而避免了本体电极出现断路，保证了阵列基板的品质。本技术提供一种阵列基板，包括衬底基板以及设置于所述衬底基板上方的多个电极结构，所述电极结构包括采用金属材料制成的本体电极，所述电极结构还包括:衬底电极，所述衬底电极采用透明金属氧化物材料制成；所述衬底电极位于所述本体电极下方，且在正投影方向上与所述本体电极部分或完全重叠；所述衬底电极与所述本体电极电连接。优选的，制成所述本体电极的金属材料包括铬、钥、铝、铜、钕铝合金或铝钥合金，制成所述衬底电极的透明金属氧化物材料包括氧化铟锡或掺铟氧化锌。优选的，所述阵列基板包括显示区，多条交叉设置的栅线和数据线将所述显示区划分为多个像素区域，所述像素区域内设置有薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括栅极、栅绝缘层、源极和漏极，所述源极与所述数据线电连接；所述电极结构设置于所述显示区，所述本体电极包括所述数据线、所述源极和所述漏极中的至少一种。优选的，所述显示区内还设置有用于起修复作用的备用电极，所述本体电极还包括备用电极。优选的，所述显示区内还设置有像素电极和公共电极，所述像素电极和所述公共电极在正投影方向上至少部分重叠，所述衬底电极与处于相对下层的所述像素电极或所述公共电极设置在同一层；所述像素电极与所述漏极电连接；所述阵列基板中还设置有公共电极线，所述公共电极线与所述公共电极电连接。优选的，处于相对上层的所述像素电极或所述公共电极具有狭缝状结构；处于相对下层的所述像素电极或所述公共电极具有狭缝状结构或板状结构。本技术还提供一种显示装置，包括上述阵列基板。本技术的有益效果:本技术所提供的阵列基板，通过在电极结构中设置透明金属氧化物材料的衬底电极，使整个电极结构更具致密性和柔韧性。该阵列基板，通过在金属材料制成的本体电极(如:数据线、源极、漏极、备用电极和信号输入电极等)下方设置金属氧化物材料制成的衬底电极，使本体电极能够与采用化学气相沉积法形成的栅绝缘层或有源层紧密接触，从而不容易在金属材料制成的本体电极内部形成小缺口，进而避免了本体电极出现断路，保证了阵列基板的品质。从而也进一步保证了采用该阵列基板的显示装置的显示品质。【专利附图】【附图说明】图1为本技术实施例1中一种电极结构的结构示意图；图2为本技术实施例1中另一种电极结构的结构示意图；图3为本技术实施例1中阵列基板的结构示意图；图4为本技术实施例3中阵列基板的结构示意图；图5为本技术实施例4中阵列基板的结构示意图。其中的附图标记说明:1.本体电极；2.衬底电极；01.衬底基板；3.栅极；4.栅绝缘层；5.有源层；6.源极；7.漏极；8.数据线；9.像素电极；11.信号输入电极；12.公共电极；13.钝化层；14.公共电极线。【具体实施方式】为使本领域的技术人员更好地理解本技术的技术方案，下面结合附图和【具体实施方式】对本技术一种阵列基板和显示装置作进一步详细描述。实施例1:本实施例提供一种阵列基板，包括衬底基板以及设置于衬底基板上方的多个电极结构，如图1和图2所示，电极结构包括采用金属材料制成的本体电极1，电极结构还包括衬底电极2，衬底电极2采用透明金属氧化物材料制成；衬底电极2位于本体电极I下方，且在正投影方向上与本体电极I部分重叠(如图2)或完全重叠(如图1);衬底电极2与本体电极I电连接。本实施例中，本体电极I与衬底电极2在正投影方向上完全重叠。其中，制成本体电极I的金属材料包括铬、钥、铝、铜、钕铝合金或铝钥合金等，制成衬底电极2的透明金属氧化物材料包括氧化铟锡或掺铟氧化锌等。由于透明金属氧化物材料比纯金属材料的致密性和柔韧性好，所以衬底电极2的设置能够使整个电极结构更具致密性和柔韧性。衬底电极2的厚度范围为100-1000埃，这样的厚度不会对整个电极结构的厚度造成影响。另外，利用目前的制备工艺，衬底电极2和本体电极I可以在一次曝光工艺中形成；或者，衬底电极2和本体电极I也可以在两次曝光工艺中分别形成。该阵列基板包括显示区和非显示区，本实施例中，上述电极结构设置于显示区。如图3所示，该阵列基板中，多条交叉设置的栅线和数据线8将显示区划分为多个像素区域，像素区域内设置有薄膜晶体管，薄膜晶体管包括栅极3、栅绝缘层4、有源层5，以及同层设置的源极6和漏极7。其中，栅极3和栅线同层设置在衬底基板01上且电连接，栅绝缘层4、有源层5、源极6本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种阵列基板，包括衬底基板以及设置于所述衬底基板上方的多个电极结构，所述电极结构包括采用金属材料制成的本体电极，其特征在于，所述电极结构还包括：衬底电极，所述衬底电极采用透明金属氧化物材料制成；所述衬底电极位于所述本体电极下方，且在正投影方向上与所述本体电极部分或完全重叠；所述衬底电极与所述本体电极电连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：徐向阳，
申请(专利权)人：合肥京东方光电科技有限公司，京东方科技集团股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：