电源装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种电源装置，包括电源；油式变压器，位于半导体制造设备内部，所述油式变压器具有输入端，所述输入端与所述电源耦接；安全保护装置，串联于油式变压器输入端，用于在油式变压器输入端的电流超过安全保护装置的阈值电流时，能使油式变压器与所述电源断开。所述安全保护装置具有使油式变压器断路的功能，在油式变压器承受瞬间巨大的短路电流或故障电流时及时地切断电路，提高油式变压器的安全性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体制造领域，具体涉及一种电源装置。
技术介绍
在现有的半导体生产线中，半导体制造设备通常需要高压隔离变压器来隔离电源与负载之间的高压，例如在离子注入机中，高压隔离变压器需要承受高达250000伏的反向高压，很多半导体制造设备内配备的变压器为油式变压器，例如离子注入机设备内部的油式变压器，这些油式变压器采用油作为变压器的绝缘介质，油式变压器的后端线路中的负载一旦发生短路或其他故障，油式变压器将承受巨大的短路电流或故障电流，很容易产生电火花等而发生爆炸，变压器的爆炸可能会烧毁整个设备。油式变压器被保险公司的专业人员认为是生产线上的一个极大的火灾隐患，它极有可能造成整个半导体生产线发生火灾。如何侦测和避免火灾的发生就成了一个重点。目前，设备厂商在后续研发的设备中，已经按照半导体制程设备安全准则（Semiconductor Equipment and Materials International，SEMI）的标准配备了干式变压器。而对于原有的油式变压器，如果再花费巨额资金去改造成干式变压器，对生产及成本上都会造成很大的压力。因此，如何提高现有半导体制造设备内配备的油式变压器的安全性，成为本领域技术人员亟待解决的问题。
技术实现思路
为解决上述问题，本专利技术提出一种电源装置，提高油式变压器的安全性。本专利技术提供一种电源装置，包括：电源；油式变压器，位于半导体制造设备内部，所述油式变压器具有输入端，所述输入端与所述电源耦接；安全保护装置，串联于所述油式变压器输入端与所述电源之间，用于在油式变压器输入端的电流超过安全保护装置的阈值电流时，使油式变压器与所述电源断开。可选的，所述油式变压器输入端与所述电源之间还设有断路器，所述安全保护装置位于所述断路器与油式变压器之间。可选的，所述半导体制造设备为离子注入机，所述断路器的脱扣电流整定值在30安培到70安培的范围内。可选的，所述安全保护装置为熔断器，所述熔断器的熔断电流为安全保护装置的阈值电流。可选的，所述油式变压器输入端具有三相输入线路，所述安全保护装置包括：三个熔断器，分别串联于每一相输入线路中。可选的，串联于三相输入线路的三个熔断器相同。可选的，所述半导体制造设备为离子注入机，所述熔断器的熔断电流值在60安培到140安培的范围内。可选的，所述半导体制造设备为离子注入机，所述油式变压器输入端与所述电源之间还设有断路器，所述熔断器的熔断电流值为所述断路器的脱扣电流整定值的1.5倍以上。可选的，所述熔断器的熔化热能值在25000安培平方秒到35000安培平方秒的范围内可选的，所述熔断器的响应时间在8毫秒的范围内。与现有技术相比，本专利技术的技术方案具有以下优点：在半导体制造设备内部的油式变压器的输入端加装安全保护装置，所述安全保护装置具有使油式变压器断路的功能，在油式变压器承受瞬间巨大的短路电流或故障电流时及时地切断电路，提高油式变压器的安全性。进一步，所述安全保护装置为熔断器，所述油式变压器输入端还设有断路器，所述熔断器位于断路器与油式变压器之间，所述熔断器的响应时间8毫秒的范围内，使得油式变压器承受瞬间巨大的短路电流或故障电流时，熔断器能够在8毫秒以内熔断，使油式变压器断路，可以避免由于断路器的合闸时间过长导致油式变压器承受瞬间故障电流时间过长而引起火灾；并且熔断器不易产生电弧，在熔断后电路完全切断，进一步降低了油式变压器的火灾隐患。附图说明图1是本专利技术电源装置一实施例的电路原理图。具体实施方式在现有的半导体生产线中，很多半导体制造设备内配备的变压器为油式变压器，油式变压器的负载一旦发生短路或其他故障，油式变压器承受巨大的短路电流或故障电流时，很容易产生电火花等而发生爆炸，从而造成安全问题。为了解决上述技术问题，本专利技术提出一种电源装置，所述电源装置位于半导体制造设备中，为半导体制造设备的负载提供电压，所述电源装置包括电源、油式变压器、安全保护装置，所述安全保护装置位于油式变压器输入端，在油式变压器承受瞬间巨大的短路电流或故障电流时及时地切断电路，提高油式变压器的安全性。为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本专利技术的具体实施例做详细的说明。参考图1，示出了本专利技术电源装置一实施例的电路原理图。在本实施例中电源装置位于离子注入机内部，为离子注入机的负载提供电压。但是本专利技术对电源装置的应用设备不作限制。本实施例电源装置包括以下几个部分：电源100、油式变压器103和安全保护装置102。下面对本实施例电源装置的具体结构作介绍。电源100，在本实施例中，所述电源装置位于离子注入机内部，所述电源100为三相交流电源，提供208伏交流电压，但是本专利技术电源装置对电源100的具体形式不做限制，在其他实施例中，所述电源100还可以为单相交流电源或直流电源，本专利技术对电源100提供的电压也不做限制，所述电源100还可以提供220伏电压或380伏电压等电压值。需要说明的是，当所述电源装置位于半导体设备内部的负载中时，所述电源100也可以不为一个具体的器件，而是指代油式变压器103输入端前端输出电压的线路。油式变压器103，所述油式变压器103具有输入端，所述输入端与所述电源耦接，油式变压器103还具有输出端，用于为离子注入机的负载输出电压。在本实施例中，所述油式变压器103主要起到将电源与离子注入机的高压负载端进行高压隔离的作用，因此，油式变压器103的输出的电压与输入端的电压相同，也为208伏交流电压，此外，油式变压器103还能起到抗干扰和稳定设备电压的作用。需要说明的是，本专利技术对所述电源装置在半导体设备中的具体位置和用途不做限制，在其他实施例中，所述油式变压器103还可能起到升高或降低电压的作用。在本实施例中，所述油式变压器103输入端为三角形接法，输出侧为星形接法，并且输出端分为两股，但是本专利技术对油式变压器103的具体接法不作限。当油式变压器103位于不同的半导体设备中或半导体设备中的不同位置时，油式变压器103的具体结构和接法、输入或输出电压等参数均可相应作出调整。安全保护装置102，串联于油式变压器103输入端与所述电源100之间，用于在通过油式变压器输入端的电流超过安全保护装置的阈值电流时，能使油式变压器与所述电源100断开。在本实施例本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电源装置，其特征在于，包括：电源；油式变压器，位于半导体制造设备内部，所述油式变压器具有输入端，所述输入端与所述电源耦接；安全保护装置，串联于所述油式变压器输入端与所述电源之间，用于在油式变压器输入端的电流超过安全保护装置的阈值电流时，使油式变压器与所述电源断开。

【技术特征摘要】
1.一种电源装置，其特征在于，包括：
电源；
油式变压器，位于半导体制造设备内部，所述油式变压器具有输入端，
所述输入端与所述电源耦接；
安全保护装置，串联于所述油式变压器输入端与所述电源之间，用于在
油式变压器输入端的电流超过安全保护装置的阈值电流时，使油式变压器与
所述电源断开。
2.如权利要求1所述的电源装置，其特征在于，所述油式变压器输入端
与所述电源之间还设有断路器，所述安全保护装置位于所述断路器与油式变
压器之间。
3.如权利要求2所述的电源装置，其特征在于，所述半导体制造设备为
离子注入机，所述断路器的脱扣电流整定值在30安培到70安培的范围内。
4.如权利要求1所述的电源装置，其特征在于，所述安全保护装置为熔
断器，所述熔断器的熔断电流为安全保护装置的阈值电流。
5.如权利要求1所述的电源装置，其特征在于，所述油式变压...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐继六，汪政明，刘勰，
申请(专利权)人：上海华虹宏力半导体制造有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31