用于存储目标的位置数据的光刻系统和方法技术方案

本发明专利技术涉及一种用于对目标（30）图案化的光刻系统（1），所述系统包括：反馈控制系统（90），所述反馈控制系统包括用于移动目标的致动器（40），用于测量所述目标的位置的测量系统（50）以及适于基于由所述测量系统测量的位置控制所述致动器的控制单元（60），所述反馈控制系统具有第一延迟（λ1），所述第一延迟为测量和基于所述测量来控制致动器之间的最大延迟；存储系统（70），用于存储所测量的位置，所述存储系统包括接收缓存器（71）和存储单元（72），所述存储系统具有第二延迟（λ2），所述第二延迟为在接收缓存器中接收测量的位置和在存储单元中存储所述测量的位置之间的平均延迟，其中，所述第一延迟比所述第二延迟小至少一个数量级，所述反馈控制系统包括用于将所述测量的位置传送至所述存储系统的单向连接（82）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】本专利技术涉及一种用于对目标（30）图案化的光刻系统（1），所述系统包括：反馈控制系统（90），所述反馈控制系统包括用于移动目标的致动器（40），用于测量所述目标的位置的测量系统（50）以及适于基于由所述测量系统测量的位置控制所述致动器的控制单元（60），所述反馈控制系统具有第一延迟（λ1），所述第一延迟为测量和基于所述测量来控制致动器之间的最大延迟；存储系统（70），用于存储所测量的位置，所述存储系统包括接收缓存器（71）和存储单元（72），所述存储系统具有第二延迟（λ2），所述第二延迟为在接收缓存器中接收测量的位置和在存储单元中存储所述测量的位置之间的平均延迟，其中，所述第一延迟比所述第二延迟小至少一个数量级，所述反馈控制系统包括用于将所述测量的位置传送至所述存储系统的单向连接（82）。【专利说明】
本专利技术涉及用于在移动的目标(例如晶片)上绘刻图案的光刻系统，以及用于存储包括所述目标在所述系统内的测量的位置在内的数据的存储系统。本专利技术还涉及存储这样的位置数据的方法。
技术介绍
美国专利申请2011/0029685披露了一种方法和系统，其中，经由通信通路将记录曝光设备操作的数据输出至包括用于存储所述数据的存储单元和用于将由一个或多个终端请求的数据传送至所述一个或多个终端的通信单元的信息处理设备。该记录曝光设备操作的数据可包括由晶片阶段测量系统以由晶片阶段控制系统使用以控制晶片的位置的信息，并且可存储数周或数天以供一个或多个终端以后请求用于进一步分析。在相似的系统中，存储单元构成反馈控制回路的部分，所述反馈控制回路包括:用于检测目标在曝光设备内的位置的一个或多个传感器，其中，所述感测的位置被存储在存储单元中；用于移动所述曝光设备的所述目标的致动器；以及基于存储在所述存储单元内的测量的位置控制所述致动器以移动所述曝光设备内的目标的控制单元。这些公知系统的缺点在于存储单元，为了使其能够保持数据的供应，必须能够至少以与晶片阶段测量系统相同的速率处理数据。当要记录的位置数据量非常庞大时，尤其是当数据被几乎同时被存储进存储系统或从存储系统读出时，成本高的惊人。本专利技术的目的在于提供一种光刻系统和方法，所述系统和方法提供在存储目标的位置数据方面更具成本优势的方式。
技术实现思路
第一方面，本专利技术提供了一种使用一束或多束曝光光束在目标上绘刻图案的光刻系统，所述系统包括:反馈控制系统，所述反馈控制系统包括用于移动所述光刻系统内的所述目标的致动器、用于基本连续地测量所述目标相对于所述光刻系统的位置的测量系统以及用于基于由所述测量系统测量的位置控制所述致动器的控制单元，所述反馈控制系统具有第一延迟，所述第一延迟被定义成所述测量和基于所述测量的所述控制致动器之间的最大延迟；存储系统，用于存储所测量的位置，所述存储系统包括接收缓存器和存储单元，所述存储系统具有第二延迟，所述第二延迟被定义成在所述接收缓存器内接收测量的位置和在所述存储单元内存储所述测量的位置之间的平均延迟，其中，所述第一延迟比所述第二延迟至少小一个数量级，所述反馈控制系统包括用于将所述测量的位置传送至所述存储系统的单向连接。由于存储系统的存储单元可具有相对高的延迟，所以可使用相对便宜的存储单元。例如，存储单元可包括一组硬盘或磁带驱动器，而不是更昂贵的基于晶体管的存储器或固态存储器。此外，在存储系统发生延误或故障的情况下，反馈控制系统的操作不受影响，因为信息仅从反馈控制系统传送至存储系统，反向则行不通。在一个实施例中，反馈控制系统适于独立于存储系统基本连续地工作。因此，即使当存储系统没有可用空间剩下，失效或被替换时，光刻系统可继续被用于绘刻目标。即使当测量的位置和/或其它数据的存储在任何时间比反馈控制系统的延迟慢时，反馈控制系统因此不会受到影响，并且进而，在光刻中的目标的定位保持不受影响。在一个实施例中，没有数据或信号从存储系统发送至反馈控制系统。由于反馈控制系统因此完全独立于存储系统操作，因此，将数据存储在存储系统中的任何错误或延误不会影响通过致动器和控制单元对光刻系统内的目标定位。在个实施例中，存储系统在反馈控制系统外部。存储系统因此提供了对来自反馈控制系统的数据的长期的存储而没有形成反馈控制系统的一部分。在一个实施例中，单向连接包括网络连接，允许存储系统和定位系统之间的简单连接，与光刻系统的测量系统和/或光刻系统的其它模块(例如，用于反馈控制系统内的通信的网络设备)的简单连接。为了便于模块的物理耦接，所述连接优选包括光纤以太网电缆。数据可以通过这样的电缆以高速传送数据而不在光刻系统内产生电场。可替换的，可使用非屏蔽双绞线(UTP)，屏蔽双绞线(STP)或箔屏蔽双绞线(foiled twisted pair, FTP)电缆。在一个实施例中，所述系统还包括具有多个输入和至少一个输出的网络交换机，其中，所述输入中的至少一个经由单向连接被连接至反馈控制系统，并且其中，所述输出被连接至接收缓存器。同样的存储系统因此可被用于存储来自多个输入的数据。除了来自反馈控制系统的数据，还包括由测量单元测量的位置数据和/或由控制单元产生的用于控制致动器的控制数据，来自光刻系统的其它模块的数据可被提供至交换机的其它输入以由存储系统长期存储。优选地，使用分开的单向连接将光刻系统的每个模块连接至网络交换机。在一个实施例中，单向连接包括从测量系统到交换机的连接和/或从反馈控制系统到交换机的连接。例如，反馈控制系统可以向交换机的两个不同的输入提供两条单向连接，一条这样的连接从测量单元到交换机用于将测量的位置传送至存储系统，而另一条这样的连接从控制单元到交换机用于将由控制单元产生的用于控制致动器的控制数据传送至存储系统。可替换的，当控制单元接收来自测量单元的测量的位置时，单向连接可包括从控制单元到存储系统的单条连接，以用于将测量的位置和由控制单元产生的用于控制致动器的控制数据传送至存储系统。在一个实施例中，所述多个输入的最大数据速率的和小于至少一个输出的最大数据速率。例如，当所述交换机具有两个输入，每个输入具有最大η比特/秒的数据速率时，那么交换机的输出必须具有至少2*η比特/秒的数据速率。优选地，输出的最大数据速率比输入的数据速率的和至少大5倍以减少在交换机处拥堵的机率。同样，在该实施例中，输入的组合数据速率总是小于至少一个输出的可用数据速率，所有输入到交换机的数据将能够从交换机输出，并且在交换机内不会发生数据丢失。在一个实施例中，第一延迟至多为200微秒，并且第二延迟至少为2000微秒。在一个实施例中，由测量系统测量的位置包括至少两个维度中的位置。因此，目标可被精确地放置在发射光学系统下方。当目标的表面基本上是平面的时，这两个分开的方向优选平行于所述平面并且优选彼此互相垂直。在一个实施例中，系统适于在单向连接上使用用户数据报协议(User DatagramProtocol)。该协议尤其适用于传送数据而不需要其确收。由于反馈控制系统在单向连接上仅传送数据而不接收数据，所以反馈控制系统的操作不受存储系统的操作影响。在一个实施例中，存储系统适于至少在从开始处理目标至结束所需的整个时间段期间存储测量的位置。在从开始到结束的处理过程中，目标通常由除根据本专利技术的光刻以外的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：亚历克修斯·奥托·洛伊耶，米歇尔·彼得·丹斯贝格，马塞尔·尼古拉斯·雅各布斯·范克尔温克，吉多·德布尔，
申请(专利权)人：迈普尔平版印刷IP有限公司，
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