加工基板周缘部的喷丸加工装置以及喷丸加工方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供加工基板周缘部的喷丸加工装置以及喷丸加工方法。喷丸加工装置具备：基板周缘部加工机构，其具备：形成有供基板周缘部松弛插入的基板松弛插入部的基板周缘部加工室、配置为前端插入于基板周缘部加工室的内部并对松弛插入于基板松弛插入部的基板周缘部喷射喷射材料的喷嘴、与喷嘴连通并配置于该喷嘴的上方的喷射材料供给机构、以及与基板周缘部加工室连通的集尘机构；基板移动旋转机构，其具备载置基板并使该基板相对于喷嘴相对水平移动且使基板旋转的机构；基板输送机构，其将基板输送至基板移动旋转机构的初始停止位置的上方；升降机构，其用于使基板输送机构下降来将基板转移放置于基板移动旋转机构。

【技术实现步骤摘要】
喷丸加工装置以及喷丸加工方法
本专利技术涉及用于除去在基材的表面形成有薄膜层的基板上的该基板周缘部的薄膜层的加工装置亦即喷丸加工装置、以及使用了该喷丸加工装置的基板的加工方法。
技术介绍
在基材的表面形成薄膜层时，存在基板周缘部的薄膜层的厚度比中间部厚、以及薄膜层到达背面的情况。以薄膜太阳能电池板为例进行说明。对于薄膜太阳能电池板而言，层叠有透明电极层、半导体层、金属层等的薄膜层形成于玻璃等透光性基板的表面。层叠工序例如通过气相反应来进行，但是此时有上述薄膜层经由周缘部而到达背面的情况。太阳能电池模块追求表面与背面之间的绝缘性能。因此，本申请专利技术人提出用于通过利用喷丸加工技术除去薄膜太阳能电池板的周缘部的薄膜层来提高上述绝缘性能的装置。专利文献1：WO2011/152073号文本专利文献1所述的装置能够除去太阳能电池板的周缘部的薄膜层。但是，在作为环境负荷小的发电装置而急需设置太阳能电池的过程中，追求能够进设置太阳能电池一步地提高生产率的加工装置。
技术实现思路
本专利技术是一种喷丸加工装置，其用于对在表面上形成有薄膜层的基板除去基板周缘部的薄膜层，其特征在于，具备：基板周缘部加工机构，该基板周缘部加工机构具备形成有供上述基板周缘部松弛插入的基板松弛插入部的基板周缘部加工室、配置为前端插入于上述基板周缘部加工室的内部并对松弛插入于上述基板松弛插入部的上述基板周缘部喷射喷射材料的喷嘴、与上述喷嘴连通并配置于该喷嘴的上方的喷射材料供给机构、以及与上述基板周缘部加工室连通的集尘机构；基板移动旋转机构，该基板移动旋转机构具备载置上述基板并使该基板相对于上述喷嘴相对水平移动且使上述基板旋转的机构；基板输送机构，该基板输送机构将上述基板输送至上述基板移动旋转机构的初始停止位置的上方；以及升降机构，该升降机构用于使上述基板输送机构下降来将上述基板转移放置于基板移动旋转机构。本专利技术的喷丸加工装置将使基板相对于喷嘴相对水平移动的基板移动旋转机构配置于比现有的加工装置（在以下的说明中，只要无特别说明，则“现有的加工装置”是指专利文献1的加工装置）低的位置。即，相比现有的加工装置，基板移动旋转机构的重心较低，因此在为了提高生产率而使基板的水平移动的速度上升的情况下，能够无振动且稳定地移动基板。如上所述，根据本专利技术，在加快了加工速度的情况下也能够稳定地进行喷丸加工，从而能够除去基板周缘部的薄膜层。另外，本专利技术的喷丸加工装置的特征在于，上述喷嘴是通过在该喷嘴内部产生的吸引力吸引喷射材料的构造的喷嘴。本专利技术的喷丸加工装置与现有的加工装置相比将喷嘴配置于更低的位置，因此喷嘴与喷射材料供给机构之间的距离变长，所以吸引喷射材料的吸引力变小。即，从喷射喷嘴相对地喷射气固两相流的喷射力变大，因此加工能力提高。并且，本专利技术的喷丸加工装置的特征在于也可以形成为，上述喷嘴具有下述构造，即：具备喷射压缩空气的空气喷嘴、设有供给喷射材料的喷射材料供给路径且在内部设有与上述供给路径连通的混合室的喷嘴支架、以及与上述混合室连通并设于上述空气喷嘴的延长方向的喷射喷嘴，并且，该喷嘴通过在上述混合室内产生的吸引力吸引喷射材料。本专利技术的构造的喷嘴形成为：由于通过空气喷嘴喷射的压缩空气在喷嘴支架内的混合室内产生负压，通过该负压而将喷射材料吸引至混合室，在该混合室形成气固两相流，并从喷射喷嘴喷射该气固两相流的构造。该喷嘴能够连续喷射喷射材料，因此生产率较好。另外，本专利技术所述的喷丸加工装置也可以形成为，上述喷射材料供给机构还具备用于将预先设定的量的喷射材料连续供给至上述喷嘴的定量供给机构。由此能够进行稳定的喷丸加工，因此不会由于加工不足而产生不良品。另外，本专利技术所述的喷丸加工装置也可以形成为还具备与上述基板周缘部加工机构邻接的清洁机构。由此，即使通过基板周缘部加工机构未吸净喷射材料而在基板表面附着有喷射材料，也能够通过上述清洁机构除去该喷射材料。另外，本专利技术所述的喷丸加工装置也可以形成为具备：配置为与上述基板的表面不接触并对置且下端开口的壳体、配置为前端插入于上述壳体的内部并向上述基板喷射压缩空气的清洁喷嘴、以及设于上述壳体并与集尘机构连通的吸引部件。通过上述清洁喷嘴喷射的压缩空气剥离附着于基板表面的含有喷射材料的微粉末。剥离的微粉末漂浮于壳体内的空间。吸引部件与吸引机构连结，并通过该吸引机构吸引壳体内的空间。由此，能够除去附着（残留）于基板表面的喷射材料。另外，本专利技术所述的喷丸加工装置也可以形成为，还具备从外侧将上述基板周缘部加工机构、上述基板移动旋转机构、以及上述基板输送机构包装的筐体，上述基板输送机构还具备：将上述基板送入上述筐体内的功能、和将除去上述基板周缘部的薄膜层后的基板向上述筐体的外部送出的功能。由此，相比现有的加工装置，基板输送机构少，因此能够廉价地制造装置。另外，本专利技术所述的喷丸加工装置也可以形成为具备用于使被输送至上述基板移动旋转机构的上方的基板在规定的位置停止的定位机构。通过这种定位机构能够高精度地加工上述基板。另外，本专利技术所述的喷丸加工装置也可以形成为：具备一对上述基板周缘部加工机构，该基板周缘部加工机构配置为使各自的上述基板松弛插入部彼此相对且隔开规定的间隔。由于能够同时加工上述基板的彼此平行地对置的两边的基板周缘部，所以能够缩短加工时间。另外，本专利技术所述的喷丸加工装置也可以形成为：配置有基板中间部加工机构，该基板中间部加工机构具备：配置为与上述基板的表面对置且下端开口的飞散防止罩、配置为前端插入于上述飞散防止罩的内部并对除上述基板周缘部以外的部分喷射喷射材料的喷嘴、以及设于上述飞散防止罩并与上述集尘机构连结的吸引部件。飞散防止罩与集尘机构由吸引部件连通。通过由喷嘴喷射出的喷射材料来除去除基板周缘部以外的位置（基板中间部）的薄膜层。喷射材料、微粒（由于与被除去的薄膜层、基板之间的碰撞而形成为无法再使用的大小的喷射材料）这类的粉尘在飞散防止罩内被集尘机构吸引。这样，能够通过该基板中间部加工机构除去基板的内侧的薄膜层。从通过该基板中间部加工机构除去的部分的中心切断该基板，由此能够获得多块除去了周缘部的薄膜层的基板。另外，本专利技术所述的喷丸加工装置也可以形成为，通过上述喷丸加工装置加工的基板是在透光性基材（玻璃、树脂（例如聚对苯二甲酸乙二酯树脂）等）的平面上层积用于形成薄膜太阳能电池板的薄膜层（透明电极层、光半导体层、金属层等）而得的薄膜太阳能电池板。通过本专利技术的喷丸加工装置，能够获得表面与背面之间的绝缘特性优秀的太阳能电池板。另外，本专利技术涉及一种喷丸加工方法，其用于通过喷丸加工装置除去基板周缘部的薄膜层，其特征在于，具备：通过上述基板输送机构将上述基板输送至上述基板移动旋转机构的上方的工序、用于使被输送至上述基板移动旋转机构的上方的基板在规定的位置停止的定位工序、使上述基板输送机构下降来将上述基板转移放置于上述基板移动旋转机构并且将该基板固定于基板移动旋转机构的工序、使上述基板移动旋转机构水平移动来将上述基板周缘部的至少一边松弛插入于上述基板周缘部加工机构的基板松弛插入部的工序、以及一边使上述基板移动旋转机构进一步水平移动一边通过上述喷嘴喷射喷射材料来除去松弛插入于上述基板松弛插入部的上述基板周缘部的薄膜层并且通过上述集尘机构吸引该喷射材料的工本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
2012.10.19 JP 2012-2313031.一种喷丸加工装置，其用于对在表面上形成有薄膜层的基板除去基板周缘部的薄膜层，其特征在于，具备：基板周缘部加工机构，该基板周缘部加工机构具备形成有供所述基板周缘部松弛插入的基板松弛插入部的基板周缘部加工室、配置为前端插入于所述基板周缘部加工室的内部并对松弛插入于所述基板松弛插入部的所述基板周缘部喷射喷射材料的喷嘴、与所述喷嘴连通并配置于该喷嘴的上方的喷射材料供给机构、以及与所述基板周缘部加工室连通的集尘机构；基板移动旋转机构，该基板移动旋转机构具备载置所述基板并使该基板相对于所述喷嘴相对水平移动且使所述基板旋转的机构，基板输送机构，该基板输送机构将所述基板输送至所述基板移动旋转机构的初始停止位置的上方，以及升降机构，该升降机构与所述基板输送机构连结，用于使所述基板输送机构下降来将所述基板转移放置于基板移动旋转机构。2.根据权利要求1所述的喷丸加工装置，其特征在于，所述喷嘴是通过在该喷嘴内部产生的吸引力吸引喷射材料的构造的喷嘴。3.根据权利要求1或2所述的喷丸加工装置，其特征在于，所述喷嘴具有下述构造，即：具备喷射压缩空气的空气喷嘴、设有供给喷射材料的喷射材料供给路径且在内部设有与所述供给路径连通的混合室的喷嘴支架、以及与所述混合室连通并设于所述空气喷嘴的延长方向的喷射喷嘴，并且，该喷嘴通过在所述混合室内产生的吸引力吸引喷射材料。4.根据权利要求1或2所述的喷丸加工装置，其特征在于，所述喷射材料供给机构还具备用于将预先设定的量的喷射材料连续供给至所述喷嘴的定量供给机构。5.根据权利要求1或2所述的喷丸加工装置，其特征在于，所述喷丸加工装置还具备与所述基板周缘部加工机构邻接的清洁机构。6.根据权利要求5所述的喷丸加工装置，其特征在于，所述清洁机构具备配置为与所述基板的表面对置且下端开口的壳体、配置为前端插入于所述壳体的内部并向所述基板喷射压缩空气的清洁喷嘴、以及设于所述壳体并与集尘机构连通的吸引部件。7.根据权利要求1或2所述的喷丸加工装置，其特征在于，所述喷丸加工装置还具备从外侧将所述基板周缘部加工机构、所述基板移动旋转机构、以及所述基板输送机构包装的筐体，所述基板输送机构还具备：将所述基板送入所述筐体内的功能、和将除去所述基板周缘部的薄膜层后的基板向所述筐体的外部送出的功能。8.根据权利要求1或2所述的喷丸加工装置，其特征在于，所述喷丸加工装置具备用于使被输送至所述基板移动旋转机构的上方的基板在规定的位置停止的定位机构。9.根据权利要求1或2所述的喷丸加工装置，其特征在于，所述喷丸加工装置具备一对所述基板周缘部加工机构，所述基板周缘部加工机构配置为使各自的所述基板松弛插入部彼此相对且隔开规定的间隔。10.根据权利要求1或2所述的喷丸加工装置，其特征在于，所述喷丸加工装置还配置有基板中间部加工机构，该基板中间部加工机构具备配置为与所述基板的表...

【专利技术属性】
技术研发人员：前田和良，涩谷纪仁，
申请(专利权)人：新东工业株式会社，
类型：发明
国别省市：