本发明提供一种裂缝蛋检测装置，包括：第一打击棒，具有从凸轮接受运动的致动部、与致动部连结的锤击部和对致动部进行轴支承的轴支承部；第二打击棒，具有从凸轮接受运动的致动部、与致动部连结的锤击部和对致动部进行轴支承的轴支承部；第一牵引部，施加...

本发明提供一种无论导电图案采用何种配设方式，可简单地确定断线的导电图案检查装置。该导电图案检查装置包括：从导电图案的(110)的一端施加电压信号的施加机构(12)、以及检测所述施加的电压信号的传感器(14)。该传感器(14)具有并排于Y...

本发明提供一种无论导电图案的配设方式如何都能够简易地确定断线位置的导电图案检查装置。导电图案检查装置包括：施加机构，从发生断线的导电图案(110)的一端施加交流电压；传感器，经由间隙与基板对置，并在横穿所述多个导电图案(110)的方向上...

曲折状配置型微型探针单元（４０）由上侧微型探针单元（４２）和下侧微型探针单元（４４）背对组合构成；上侧微型探针单元（４２）由具有多个凹槽（７２）的微型探针导向装置（７０）、以及分别配置于各凹槽（７２）的微型探针（５０）所构成，下侧微型探...

本发明提供一种图案检查装置，其不必使电极接触导电图案而可以判定交叉短路的位置。两个供电电极和两个检查电极呈大致十字状配置于传感器。该传感器沿着产生有交叉短路的交叉线移动。此时，供电电极向交叉线施加交流电压。另外，检查电极与对向的栅极线静...