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株式会社东荣科学产业专利技术
株式会社东荣科学产业共有2项专利
试验装置制造方法及图纸
试验装置(100)对形成有包括磁阻存储器或磁传感器在内的被试验器件(12)的被试验晶圆(10)进行试验。在台(130)上,在试验工序中载置被试验晶圆(10)。试验用探针卡(160)在试验工序中,能够对被试验晶圆(10)进行探测接触。晶圆...
试验装置制造方法及图纸
试验装置(100)对形成有包含磁阻存储器或磁传感器在内的被试验器件(12)的被试验晶圆(10)进行试验。在台(130)上,在试验工序中载置被试验晶圆(10)。磁场施加装置(140)在试验工序中向被试验晶圆(10)施加磁场(B
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