公开了一种矩形基片分割设备，其能够以小的空间分割矩形基片，将通过分割而形成为单块的器件收容到器件盒中，并且可靠且高效地从贴附在矩形基片背面的保护带拾取器件。矩形基片的背面贴附着保护带，并且矩形基片上形成有用于将矩形基片分割成多个器件的预...

一种切割机，包括用于固定工件的卡盘台、门状支架、对齐装置以及切割装置，其中卡盘台被设置成它可以沿着导轨移动，所述导轨沿预先确定的方向延伸，门状支架跨越导轨设置并且具有用于允许卡盘台的运动的开口，对齐装置被设置在门状支架的一个侧面上，切割...

一种利用激光束处理机来进行晶圆的激光处理的方法，该激光束处理机包括用于保持晶圆的卡盘台、用于将激光束施加到保持在卡盘台上的晶圆的激光束施加装置以及用于使卡盘台和激光束施加装置相对彼此处理－进给的处理－进给装置，该方法包括以下步骤：晶圆附...

提供一种激光加工装置，具备可以检测出从激光束照射单元的聚焦器照射出的激光束线的聚焦点与高度位置检测单元的位置关系的功能。一种激光加工装置，具备：保持被加工物的吸盘平台、具有将激光束线照射保持在吸盘平台的被加工物用的聚焦器的激光束线照射单...

本发明提供一种一种晶片的激光加工方法，将由衬底表面上层叠的膜层形成了多个器件的晶片，沿着划分该器件的多个切割道进行激光加工，激光加工该方法包括：第１激光加工槽形成工序，沿着晶片的切割道设置预定的间隔来照射对晶片来说具有吸收性的第１激光束...

本发明提供一种激光加工装置，具有保持被加工物的卡盘台、对保持在卡盘台上的被加工物照射激光光束的激光光束照射部件，卡盘台由本体和配置在上述本体的上表面的被加工物保持部件构成，被加工物保持部件由对具有预定波长的激光光束具有透射性的材料形成。

本发明的晶片的分割方法，将由层叠在衬底表面上的层叠体形成了器件的晶片，利用切削刀片沿着划分该器件的多个切割道切断，其特征在于，包括如下工序：激光加工槽形成工序，沿着晶片上形成的切割道照射激光光线，以比该切削刀片的厚度大的间隔形成比该层叠...

公开了一种切割设备，包括用来保持工件的保持装置；可转动地安装着的心轴；固定在所述心轴上的环形切割刀片；用来旋转所述心轴的旋转装置；用来超声振动所述心轴的压电振子；以及将交流电供应至所述压电振子的供电装置。所述心轴被旋转和超声振动，从而旋...

本发明提供一种可以将晶片沿形成了变质层的预定分割线准确地进行分割，并且可以获得抗折强度高的芯片的晶片分割方法，该分割方法包括：变质层形成工序，沿该预定分割线照射对晶片来说具有透过性的激光束，并在晶片的内部沿该预定分割线形成变质层；晶片支...

本发明提供一种能够在晶片的加工面均匀地被覆保护覆膜进行激光加工的晶片的激光加工方法和激光加工装置。沿着格子状的分割道进行激光加工，上述分割道对在表面成矩阵状地形成了多个器件的晶片的该器件进行划分，其特征在于具有：保护覆膜被覆工序，用喷射...

本发明提供一种具备能减小遮挡开口部的盖部件处于避让状态时的空间、并能防止使盖部件避让时洗涤水落下的洗涤装置的加工机。其具备洗涤装置，洗涤装置具备：上面开口的洗涤外罩；旋转台，配设在该洗涤外罩内、保持并旋转被加工物；洗涤水供给机构，对保持...

本发明的目的在于：即使是难磨削材料，也不用频繁地磨锐而可以高效率地进行磨削，且不使被磨削物的品质降低。而且，使由树脂形成的海绵构件含浸流动性磨粒，并在使有机物结合剂材料与海绵构件材料发生氧化，同时用陶瓷结合剂材料烧结磨粒，由此构成带有气...

本发明提供一种借助尽可能地吸收外螺纹螺杆的振动，能使支承被加工物的卡盘工作台高精度移动的卡盘工作台移动机构。具备：卡盘工作台支承机构、导引轨道、外螺纹螺杆。卡盘工作台支承机构设有：支承卡盘工作台的卡盘工作台支承底座；配设在卡盘工作台支承...

具有切削片的切削设备被设计成用于可靠的辨别发生在切削片上的如碎裂或磨损的状态。该切削设备至少包括具有用于切削保持在卡盘台上的工件同时向工件供给切削液的切削片的切削装置，以及用于检测该切削片状态的刀片检测装置。该刀片检测装置至少包括用于成...

本发明提供一种切削工具，该切削工具能够对用各种粘接剂来固定磨粒而形成的砂轮片进行安装，并能够对砂轮片进行研磨加工，来将其修整到所需厚度的。该切削工具安装在设有超声波振动机构的旋转主轴上，具有：振动传递部件，安装在上述旋转主轴上；以及，圆...

一种激光束加工机，包括具有用于将激光束应用至夹持在卡盘式工作台上的工件以加工工件的聚光器的激光束应用装置，和用于收集并排出由于激光束加工所产生的粉尘的粉尘排出装置，其中粉尘排出装置包括第一盖组件和第二盖组件，第一盖组件安装在聚光器的底端...

本发明提供能够使切削机构不停止而高效地进行切削的切削装置和加工方法。该切削装置具有：第１吸盘台和第２吸盘台，互相邻接设置，分别保持被加工物；第１切削进给机构和第２切削进给机构，在切削进给方向上分别对该第１吸盘台和第２吸盘台进行切削进给；...

切削装置，其具有：保持被加工物的装夹台；对准机构，具有带有将被保持于该装夹台的被加工物的要加工区域加以检测的物镜的摄像机构；切削机构，对保持在该装夹台上的被加工物实施切削加工；具有将收纳摄像机构的物镜的物镜箱的下方加以遮蔽的遮蔽机构，其...

提供一种能使回转主轴的轴心与紧固螺母及切削刀片的轴心可靠地一致的切削刀片更换装置。切削刀片的更换装置，设置于切削装置中并更换切削刀片，该切削装置具备：装夹台；具有切削保持在装夹台上的被加工物的切削刀片的切削机构，该切削机构具有回转主轴、...

提供一种能够使刀片装卸机构的刀片把持机构上把持的切削刀片的轴心与回转主轴的轴心可靠地一致的切削刀片的更换装置。一种切削刀片的更换装置，被设置于切削装置中用于更换切削刀片，切削刀片装卸机构具有把持切削刀片的衬套的外周的切削刀片把持机构、安...