本发明公开了一种液氮冷却循环系统，包括：循环管路、容器、高压容器、泵体、压力调节组件，容器内具有第一冷却介质，循环管路包含第一热交换管段和第二热交换管段，第一热交换管段安装在容器内第一冷却介质中，第二热交换管段安装在负载中，高压容器内具...

本发明公开了一种智能分子泵机组，使用分子泵作为主抽泵，将密闭空间内的气体全部排出以形成符合预设要求的高真空度环境，使用机械泵作为前置泵，在分子泵启动前对密闭空间进行抽气，并通过真空规管实时采集密闭空间内的真空度，当密闭空间内的真空度达到...

本技术涉及真空系统技术领域，具体涉及一种e‑TOF测试腔真空系统；包括铝型材架、脚轮、地脚、第一支撑板、主腔、etof、第一直通、第一分子泵、位移台、第二直通、调节波纹管、第二分子泵和注气杆，主腔和etof分别设置于铝型材架的上方，第一...

本技术公开了一种真空管道连接结构，包括：第一管道，所述第一管道的右侧设置有第二管道，且第二管道的左侧等角度固定连接有定位杆，所述定位杆插设于第一管道的内部，且第一管道和第二管道的内侧均固定连接有密封垫；固定块，所述固定块固定连接于第一管...

本技术公开了一种真空卡箍结构，属于卡箍结构领域，一种真空卡箍结构，包括两个固定架，两个固定架其中的一端均安装有限位杆，限位杆转动连接有连接板，连接板开设有安装槽，安装槽内安装有密封垫，两个固定架的另一端均安装有对接板，两个对接板螺纹连接...

本技术涉及超高真空系统技术领域，具体涉及一种超高真空系统用变温样品台；包括EBH加热台和样品架，样品架的一端设置有VCR液氮入口和转接杆，且VCR液氮入口位于转接杆的上方，EBH加热台与样品架之间设置有隔热陶瓷垫，样品架的下方设置有热电...

本技术涉及卡箍密封技术领域，具体公开了一种超高真空用链式卡箍，包括锁紧卡链组件、卡链连接销、转动球、锁紧螺杆、锁紧螺母、压紧弧垫和弧形卡链组件，卡链连接销的两端分别与锁紧卡链组件转动连接，转动球与卡链连接销固定连接，并套设于卡链连接销的...

本技术涉及真空技术领域，具体涉及一种磁控溅射用加热样品台结构，包括加热样品台、绝缘隔热垫片、转接件、连接杆、沉头螺钉和活套法兰，沉头孔与沉头螺钉螺纹配合，沉头螺钉与加热样品台连接，转接件与连接杆螺纹连接，活套法兰与连接杆拆卸连接，在安装...

本技术公开了一种真空泵安装结构，包括：安装座，所述安装座的顶部前后滑动安装有调节架；定位槽，所述调节架的底部左右两侧开设有定位槽；支撑架，所述支撑架上下滑动安装于安装座的内部，且支撑架的顶部内侧旋转安装有导辊；真空泵本体，所述真空泵本体...