本发明涉及一种半导体器件的加工控制方法、装置及高能粒子束光刻设备，该方法将若干层集成电路子版图分别转化为灰度图片/数字文件，根据高能粒子束加工参数与灰度值/目标参数值之间的对应关系，获取灰度图片/数字文件中各像素点对应的高能粒子束加工参...