本发明公开了射频离子源瞬态响应电源控制系统，属于电源技术领域，包括MCU控制器和保护电路模块，所述MCU控制器连接有数字控制器，所述MCU控制器连接有PID控制算法，所述MCU控制器连接有电源主芯片，所述电源主芯片连接有离子源，所述电源...

本申请涉及一种射频中和器的功率控制方法和射频中和器的功率控制系统，包括：实时检测射频中和器的发射极电流和发射极电压；判断发射极电流是否处于设定电流值的范围内，若是，判断发射极电压是否大于电压阈值；若发射极电压不大于电压阈值，将射频中和器...

本申请涉及一种射频离子源，包括：法兰，离子源结构主体，射频馈入件和电离组件；离子源结构主体集成在法兰的一侧面上，且与法兰密封连接；射频馈入件和电离组件内置于离子源结构主体中；法兰上集成有真空接头，射频馈入件通过真空接头连接至外部；射频馈...

本申请涉及一种组件安装结构，用于射频离子源，所述射频离子源包括主体结构、放电腔和栅网组件；所述组件安装结构包括：放电腔托板，放电腔压环，以及栅网组件压环；其中，所述放电腔托板安装于射频离子源的主体结构的上端，并通过螺丝进行固定到所述主体...

本申请涉及一种射频网络匹配器及射频离子源系统，所述射频网络匹配器包括：连接在射频功率源与离子源负载之间的射频传输线，连接在射频传输线上的射频耦合器，串联在射频传输线上的第一电容，并联在射频传输线上的第二电容，以及主控板；其中，射频传输线...

本申请涉及一种栅网结构及射频离子源，所述栅网结构包括至少两层的栅网组件；其特征在于，在两层栅网组件之间设置了至少一个限位码；所述限位码分布于栅网组件面上的设定位置处；其中，所述限位码用于固定两个栅网组件，使得所述栅网组件保持相对稳定。该...

本申请涉及一种隔离气针及射频离子源，所述隔离气针包括：进气管、出气管以及气针本体；其中气针本体包括多个串联连接的隔离本体，进气管以及出气管分别连接在气针本体的两端；隔离本体包括：导气件、绝缘件、第一电极和第二电极；其中导气件的两端分别连...

本申请涉及一种绝缘气针安装结构、离子源设备及其安装方法与拆卸方法，所述绝缘气针安装结构，通过安装底座以及连接安装底座上的夹持部件，夹持部件置于离子源底板的内侧空间内，通过夹持部件固定绝缘气针，通过安装底座固定到离子源底板的外侧上；在拆卸...

本申请涉及一种供气装置以及矩形射频离子源，所述供气装置包括：供气管道，导气部以及矩形均气板；供气管道穿过放电室底部的密封接口插入到放电室内的电离区域；导气部设置在供气管道的端部，导气部设有若干个出气孔，导气部的顶部设有矩形均气板；供气管...

本申请涉及一种绝缘气针及射频离子源，应用于射频离子源，包括：串联连接的进气管、气针本体以及出气管；其中，所述进气管以及出气管分别连接在气针本体两端；所述气针本体包括：导气件、绝缘件、第一电极、第二电极以及电磁屏蔽层；所述绝缘件包裹导气件...

本申请涉及一种射频网络匹配调节方法、装置及射频离子源系统，所述方法包括：依次对第一电容和第二电容进行快速调节，直至射频网络匹配器实时采集的第一阻抗值达到匹配范围值内；在匹配范围值内，以交叉调节方式并根据设定的步进值分别对第一电容和第二电...

本申请涉及一种调速阀门结构、真空腔室及真空镀膜机，调速阀门结构包括：真空密封的阀门腔体，设于阀门腔体内的真空阀板，以及设于阀门腔体外部的驱动机构和间接传动装置；阀门腔体上设有抽气口，其中，抽气口两侧面上设有上连接件和下连接件；上连接件用...

本申请涉及一种镀膜换层判停方法、装置及镀膜控制设备，所述方法包括：获取目标产品的镀膜膜层对应的目标厚度；根据镀膜速率计算所述镀膜膜层当前时刻已镀膜的估计厚度；当所述估计厚度接近于所述目标厚度时，根据所述目标产品的实时透射率对所述估计厚度...

本申请涉及一种真空镀膜设备及其镀膜控制方法，所述设备包括：真空腔室，内置有连接控制系统的产品转盘、溅射系统以及离子源；光谱检测装置，连接至控制系统，用于在镀膜过程中检测镀膜产品的光谱能量数据并上报至控制系统；控制系统，用于控制产品转盘、...

本申请涉及一种基于宽光谱监控的镀膜工艺方法，所述方法包括：安装待镀膜的工件及监控片；初始化并加载镀膜工艺；绘制圆周光谱曲线并定位监控片在产品转盘上的角度位置；镀膜工艺程序的自动执行；在镀膜过程中，实时采集监控片的光谱能量数据，拟合出当前...

本申请涉及一种靶材安装结构及真空镀膜机，靶材安装结构包括背板结构和固定装置，背板结构通过活动式的连接组件与固定装置进行连接；背板结构包括多块拼接的子背板；每个子背板的正面用于焊接对应形状的靶材；固定装置包括：支撑轴以及第一旋转结构，第一...

本申请涉及一种射频真空馈入结构、射频离子源设备以及真空镀膜机；其中射频真空馈入结构包括：连接在射频电源和射频离子源之间的射频电馈入管道，设于所述射频电馈入管道与真空腔体面板之间的绝缘件；所述射频电馈入管道通过所述绝缘件密封安装到真空腔体...

本申请涉及一种电源模块、离子源电源、离子源装置及真空镀膜机；电源模块，其特征在于，包括：控制模块、功率模块、通信模块和转接模块；其中，所述转接模块上设有交流输入端、直流输出端和电源通信端；所述电源通信端通过通信线连接至主控板的主板通信端...

本申请涉及一种故障处理方法及装置，该方法包括：在工业设备运行过程中，基于设定的通信协议实时采集各个控制设备上报的设备部件的设备状态数据；读取预配置的故障规则文件，从所述故障规则文件中获取故障规则策略信息；利用所述故障规则策略信息对各个设...

本申请涉及一种工业设备的控制系统，包括：工控机，与工控机连接的多个相互独立的控制设备；其中，各个控制设备分别连接工业设备的至少一个不同功能类型的设备部件；工控机内置总控制程序，并通过设定通讯协议与各个控制设备进行通讯；各个控制设备内置对...