本发明涉及抽气速率测量阀门，具体地说是一种真空阀门，包括直线步进电机、上阀盖、阀体、伸缩丝杆、阀座、下阀盖及趋近式传感器，其中阀体的上下两端分别安装有上阀盖及下阀盖，所述阀座位于该阀体内；所述直线步进电机安装在上阀盖上，输出端通过伸缩丝...

本发明涉及用于真空获得设备的节能控制系统，包括顺序连接的变频器、电机和串联腔体，在串联腔体的末级腔体外沿轴向增加若干腔体形成多级串联腔体；所述若干腔体中的每个腔体内设有转子，所述转子安装于与电机输出轴连接的主轴上。方法包括电机通过恒转矩...

本发明属于干式真空泵领域，具体地说是一种干式真空泵的排气结构，该干式真空泵包括多级泵腔，多级泵腔中的一级泵腔上开有进气口，最后一级泵腔上开有排气口，在最后一级泵腔的前一级泵腔上开有安全排气口，安全排气口处设有安全阀；安全阀包括阀体、芯轴...

本发明涉及一种节能型真空泵氮气吹扫装置,包括真空电阻规采集与电磁阀控制电路以及与其连接的电磁阀管路；所述电磁阀管路为多个电磁阀并联的管路；所述电磁阀管路的入口用于输入氮气，出口用于输出氮气。本发明体积小，响应快，节约能源和空间等优点，减...

本申请公开了一种抽真空系统，用于对真空室进行抽真空。抽真空系统包括前级泵、主抽泵、预抽阀和主阀，其中主阀设有进口、预抽口和出口，主阀的进口与真空室的抽真空口连通，主阀的预抽口与预抽阀的入口连通，主阀的出口与主抽泵的抽气口连通，以及前级泵...

本发明涉及一种用于晶体生长的温场系统，具体地说是一种适用于熔点在2000℃以上的、有效维持结构稳定的大尺寸晶体生长用温场系统，包括吊筒、发热体、电极、坩埚、坩埚盖组件﹑底屏和顶屏，其中所述发热体、坩埚﹑底屏和顶屏均设置于所述吊筒中，且所...

本发明涉及一种半导体严苛工艺环境下的真空干泵氮气加热装置，内部气管道安装在外壳内，一端设有穿出外壳的进气口，内部气管道外围设有安装在外壳内的绝热层，绝热层内填充有缠绕在内部气管道外围的双螺旋加热管，双螺旋加热管的一端由外壳穿出、分别连接...

本发明涉及真空干泵领域，具体地说是一种两端均采用密封圈密封的涡旋干泵电驱动密封结构，包括电机壳体、电机端盖、定子绕组、转子绕组、电机轴和屏蔽套，所述定子绕组通过过盈配合固装在所述电机壳体中，所述屏蔽套通过过盈配合固装在所述定子绕组中，所...

本发明属于涡旋干泵装配领域，具体地说是一种用于装配涡旋干泵中的电机与电机座的涡旋干泵装配工具及其装配方法，装配工具包括定位盘及滚针轴承，定位盘包括底盘及延伸部，底盘安装在待装配的涡旋干泵的电机座上，中间沿轴向延伸、形成延伸部，延伸部上沿...

本发明涉及干泵清洗，具体的说是一种干泵清洗生产线的水处理方法。干泵清洗线产生的废液依次经漂浮池、沉淀池、过滤器、离心池、吸附池和浓缩室，进而对废液进行清洗。本发明清洗线生产后产生的溶液中含有清洗液含有的清洗配方和清洗用的水，还含有清洗过...

本发明涉及一种柔性带状材料的连续卷绕控制系统，包括顺序连接的PLC、第一卷绕变频器、第一异步电机、第一收放卷轮，以及与PLC顺序连接的第二卷绕变频器、第二异步电机、第二收放卷轮；所述第一收放卷轮和第二收放卷轮之间依次连有第一张力传感器、...

本发明涉及无油真空获得领域，具体地说是一种用于罗茨干泵转子的快速检测系统及方法。系统包括检测台、光源系统、图像采集系统和计算机。方法包括：将待检测转子置于检测台上；通过光源系统将光束照射到待检测转子上；光束透过待检测的转子，投影于图像采...

本发明涉及化工和真空泵技术领域，特别是一种应用于化工领域的多级干式真空泵。该控制系统包含进液管路、储液罐、防爆电磁阀、变频系统。其特征在于：其中三级泵腔内均有液体管路相连接；通过防爆电磁阀控制管路中清洗液的通断；通过管路将清洗液注入泵体...

本发明涉及真空技术领域，具体地说是一种用于多级干式真空泵的气路系统。包括气路压力调节组件、气路流量计组件及进气气路，其中气路压力调节组件、气路流量计组件及进气气路依次连接、并气路压力调节组件与气源端总接口连接，所述进气气路包括气路分支I...

本发明涉及真空技术领域，具体地说是一种可有效防止磁场对轴承寿命影响的磁力传动器。包括真空室、外转子、内转子、轴承、转动套、导磁片I、导磁片II、导磁片III及转轴，其中转轴的一端插设于真空室内、并通过轴承与真空室的上下两端内壁连接，所述...

本发明涉及磁控溅射玻璃镀膜设备，具体地说是一种用于玻璃镀膜的弧线扫描机构，水平动力输入组件的输出端与水平滚珠丝杠连接、驱动水平滚珠丝杠旋转，水平支架安装在与水平滚珠丝杠螺纹连接的水平丝母上，随水平丝母沿水平滚珠丝杠水平往复移动；竖直丝母...

本发明涉及清洗机的喷头，具体地说是一种复杂零件的清洗探头结构，包括喷嘴、电机、接近开关、工作台及传动机构，其中喷嘴及接近开关分别可上下移动地安装在所述工作台上，所述喷嘴的一端连接有水管，另一端与所述接近开关的一端相连，所述接近开关的另一...

本发明涉及干式真空泵领域，具体涉及一种用于多级干式真空泵的脉冲水冷系统。本发明包括循环水冷源、流量传感器、第一单向阀、水路分配器、多个电磁阀、多个水冷装置、第二单向阀、多个温度传感器和控制主板。本发明的冷却水由进气水路通过流量传感器和单...

本发明涉及真空领域的真空泵结构，具体地说是一种真空泵用复合密封，包括活塞环密封、密封圈、氮气密封、迷宫密封及排气腔，真空泵的腔体与装有润滑油的油箱之间设有排气腔，真空泵的转子轴由腔体穿出，由排气腔穿过，并插入油箱中；转子轴位于排气腔内的...

本发明涉及真空技术领域，具体地说是一种前置于真空获得设备的气体过滤装置。包括上级过滤器、中间连接盘及下级过滤器，其中下级过滤器的下端设有下级进气口，上端与上级过滤器的底部连接，所述上级过滤器的顶部设有上级排气口，所述中间连接盘设置于上级...