中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司专利技术

中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司共有136项专利

  • 一种装有偏心夹具的床头结构
    本发明涉及一种加工定位装置,具体地说是一种装有偏心夹具的床头结构,包括床头箱、主轴和偏心夹具,所述主轴设置于所述床头箱中,且所述主轴的一端伸出至所述床头箱外并与所述偏心夹具相连,所述偏心夹具设有夹紧油缸、曲柄和V型台,机构工作时,工件放...
  • 抽真空系统
    本申请公开了一种抽真空系统,用于对真空室进行抽真空。抽真空系统包括前级泵、主抽泵、预抽阀和主阀,其中主阀设有进口、预抽口和出口,主阀的进口与真空室的抽真空口连通,主阀的预抽口与预抽阀的入口连通,主阀的出口与主抽泵的抽气口连通,以及前级泵...
  • 本发明公开了一种泡生法生长大尺寸晶体的收尾脱埚工艺及其应用,属于晶体生长制备技术领域。该工艺是在晶体等径后期的收尾阶段,降低底部的粘锅程度,以及判断晶体生长完毕后,晶体脱埚的工艺。本发明的优点在于:脱埚成功率可达80%以上;可有效解决晶...
  • 一种利福平原料药的精制方法
    本发明涉及药物的制备,具体的说是一种利福平原料药的制备工艺。将利福平原料药采用干式真空泵进行减压蒸馏和真空干燥,进而制备出利福平原料药精品。本发明通过使用干式真泵调节工艺温度,使原料药产品加热温度降低、工艺时间缩短;通过使用干式真空泵,...
  • 一种用于超高真空下的全自动样品多工序生产系统及方法
    本发明涉及超高真空下样品多工序加工及检测技术领域,具体的说是一种用于超高真空下的全自动样品多工序生产系统。包括样品车行走通道、磁耦合传输系统、传输小车组件、支架、真空抽气系统及控制系统,其中样品车行走通道安装在所述支架上,真空抽气系统与...
  • 一种真空阀门
    本发明涉及抽气速率测量阀门,具体地说是一种真空阀门,包括直线步进电机、上阀盖、阀体、伸缩丝杆、阀座、下阀盖及趋近式传感器,其中阀体的上下两端分别安装有上阀盖及下阀盖,所述阀座位于该阀体内;所述直线步进电机安装在上阀盖上,输出端通过伸缩丝...
  • 一种用于真空获得设备的节能控制系统及方法
    本发明涉及用于真空获得设备的节能控制系统,包括顺序连接的变频器、电机和串联腔体,在串联腔体的末级腔体外沿轴向增加若干腔体形成多级串联腔体;所述若干腔体中的每个腔体内设有转子,所述转子安装于与电机输出轴连接的主轴上。方法包括电机通过恒转矩...
  • 一种干式真空泵的排气结构
    本发明属于干式真空泵领域,具体地说是一种干式真空泵的排气结构,该干式真空泵包括多级泵腔,多级泵腔中的一级泵腔上开有进气口,最后一级泵腔上开有排气口,在最后一级泵腔的前一级泵腔上开有安全排气口,安全排气口处设有安全阀;安全阀包括阀体、芯轴...
  • 一种节能型真空泵氮气吹扫装置
    本发明涉及一种节能型真空泵氮气吹扫装置,包括真空电阻规采集与电磁阀控制电路以及与其连接的电磁阀管路;所述电磁阀管路为多个电磁阀并联的管路;所述电磁阀管路的入口用于输入氮气,出口用于输出氮气。本发明体积小,响应快,节约能源和空间等优点,减...
  • 抽真空系统及方法
    本申请公开了一种抽真空系统,用于对真空室进行抽真空。抽真空系统包括前级泵、主抽泵、预抽阀和主阀,其中主阀设有进口、预抽口和出口,主阀的进口与真空室的抽真空口连通,主阀的预抽口与预抽阀的入口连通,主阀的出口与主抽泵的抽气口连通,以及前级泵...
  • 一种大尺寸晶体生长用温场系统
    本发明涉及一种用于晶体生长的温场系统,具体地说是一种适用于熔点在2000℃以上的、有效维持结构稳定的大尺寸晶体生长用温场系统,包括吊筒、发热体、电极、坩埚、坩埚盖组件﹑底屏和顶屏,其中所述发热体、坩埚﹑底屏和顶屏均设置于所述吊筒中,且所...
  • 一种半导体严苛工艺环境下的真空干泵氮气加热装置
    本发明涉及一种半导体严苛工艺环境下的真空干泵氮气加热装置,内部气管道安装在外壳内,一端设有穿出外壳的进气口,内部气管道外围设有安装在外壳内的绝热层,绝热层内填充有缠绕在内部气管道外围的双螺旋加热管,双螺旋加热管的一端由外壳穿出、分别连接...
  • 涡旋干泵电驱动密封结构
    本发明涉及真空干泵领域,具体地说是一种两端均采用密封圈密封的涡旋干泵电驱动密封结构,包括电机壳体、电机端盖、定子绕组、转子绕组、电机轴和屏蔽套,所述定子绕组通过过盈配合固装在所述电机壳体中,所述屏蔽套通过过盈配合固装在所述定子绕组中,所...
  • 一种涡旋干泵装配工具及其装配方法
    本发明属于涡旋干泵装配领域,具体地说是一种用于装配涡旋干泵中的电机与电机座的涡旋干泵装配工具及其装配方法,装配工具包括定位盘及滚针轴承,定位盘包括底盘及延伸部,底盘安装在待装配的涡旋干泵的电机座上,中间沿轴向延伸、形成延伸部,延伸部上沿...
  • 本发明涉及干泵清洗,具体的说是一种干泵清洗生产线的水处理方法。干泵清洗线产生的废液依次经漂浮池、沉淀池、过滤器、离心池、吸附池和浓缩室,进而对废液进行清洗。本发明清洗线生产后产生的溶液中含有清洗液含有的清洗配方和清洗用的水,还含有清洗过...
  • 本发明涉及一种柔性带状材料的连续卷绕控制系统,包括顺序连接的PLC、第一卷绕变频器、第一异步电机、第一收放卷轮,以及与PLC顺序连接的第二卷绕变频器、第二异步电机、第二收放卷轮;所述第一收放卷轮和第二收放卷轮之间依次连有第一张力传感器、...
  • 本发明涉及无油真空获得领域,具体地说是一种用于罗茨干泵转子的快速检测系统及方法。系统包括检测台、光源系统、图像采集系统和计算机。方法包括:将待检测转子置于检测台上;通过光源系统将光束照射到待检测转子上;光束透过待检测的转子,投影于图像采...
  • 本发明涉及化工和真空泵技术领域,特别是一种应用于化工领域的多级干式真空泵。该控制系统包含进液管路、储液罐、防爆电磁阀、变频系统。其特征在于:其中三级泵腔内均有液体管路相连接;通过防爆电磁阀控制管路中清洗液的通断;通过管路将清洗液注入泵体...
  • 本发明涉及真空技术领域,具体地说是一种用于多级干式真空泵的气路系统。包括气路压力调节组件、气路流量计组件及进气气路,其中气路压力调节组件、气路流量计组件及进气气路依次连接、并气路压力调节组件与气源端总接口连接,所述进气气路包括气路分支I...
  • 本发明涉及真空技术领域,具体地说是一种可有效防止磁场对轴承寿命影响的磁力传动器。包括真空室、外转子、内转子、轴承、转动套、导磁片I、导磁片II、导磁片III及转轴,其中转轴的一端插设于真空室内、并通过轴承与真空室的上下两端内壁连接,所述...