本发明提供了一种低温装置，包括换热组件、冷媒套管组件、样品杆组件、冷屏组件、外壳组件，换热组件包括第一换热器，冷媒套管组件包括内管、外管，外管套于内管的外侧，内管的一端设置有冷媒入口、另一端连通于第一换热器，冷媒经第一换热器换热后进入外...

本技术提供了一种高低温磁光克尔检测设备，包括光学组件、样品承载组件、磁场发生组件、腔体，样品承载组件上导热连接有冷源组件、热源组件的其中至少之一，通过冷源组件、热源组件对被测物的温度进行控制，并通过光路组件检测被测物的克尔偏转角，从而对...

本发明提供了一种高低温探针台的探针组件，包括探针座、探针臂、转接件、探针，探针臂连接于探针座，探针通过转接件连接于探针臂，转接件包括连接块、弹片，连接块设置有两个，连接块被构造成包括外接部、组合部，两个连接块的组合部相互正对，弹片连接于...

本发明提供了种晶圆检测方法，通过将预设位置与对应的成像清晰时位移台的Z轴位移量ΔZ做匹配并建立数据库，在后续的同批次的其他晶圆的检测过程中，根据预设位置调用数据库中的相应数据，以通过位移台调整晶圆与成像装置之间的距离，以使得成像清晰，而...

本发明提供了一种机械式热开关，包括初级导冷连接部、第一次级导冷连接部、第二次级导冷连接部、导冷切换部、控制部，所述第一次级导冷连接部、第二次级导冷连接部间隔设置，所述初级导冷连接部与所述导冷切换部导冷连接，所述控制部被构造成能够带动所述...

本发明提供了一种低温磁场探针台的导冷结构、低温磁场探针台，通过将样品台组件、电磁铁组件与不同的冷头导冷连接，减少样品台组件、电磁铁组件之间的温度传导，避免二者在温度上的同步变化，使样品台组件、电磁铁组件的温度可以分别调节，便于进行样品台...