本发明公开了一种无水氢氟酸精馏装置，包括喷淋塔和储料罐，喷淋塔一侧壁上设有进液管，喷淋塔远离进液管的侧壁上通过出液管设有两组精馏组件，精馏组件与储料罐相连接，喷淋塔通过转动清理机构设有喷淋组件，喷淋塔底端设有收集箱，收集箱内通过安装机构...

本实用公开了一种活化剂提纯装置，本实用，包括管体，所述管体的一端安装有进料管，所述进料管内部底端的中间位置安装有第一过滤板。本实用，管体上设置有反渗透膜、第一过滤板和第二过滤板之间的配合，使工作人员只需将活化剂通过进料管输入管体内，再从...

本实用公开了一种电子级氢氟酸过滤装置，本实用，包括主体，所述主体的两侧均等距排列安装有多个安装板，所述主体一端顶部和底部的中间位置均设置有出料口。本实用，第一过滤板的过滤精度为0.1μm，对电子级氢氟酸进行初次过滤，而第二过滤板的过滤精...

本实用公开了一种活化剂自动添加装置，本实用，包括支架，所述支架一侧的中间位置安装有控制面板，所述支架顶部的一端安装有气瓶，所述支架顶部的中间位置安装有计量气泵，所述计量气泵的输入端安装有第一软管，所述计量气泵的输出端安装有第二软管，所述...

本实用新型公开了一种氨气过滤装置，包括筒体，所述筒体内设有分离腔和过滤腔，分离腔内设有分离器，过滤腔内由下至上设置多孔板、纤维滤芯层和活性炭吸附层；所述的筒体侧部设有进气口，筒体顶部设有出气口。本实用新型通过螺旋离心分离质量较重的杂质，...

本实用新型公开了一种电子级氢氟酸生产用吸收塔，包括塔体，所述的塔体底部设有第一中间水箱和第二中间水箱，塔体内部由下至上依次设有第一吸收室、第二吸收室和第三吸收室；第一吸收室内设有第一喷淋装置，第二吸收室内设有第二喷淋装置，第三吸收室内设...

本实用新型公开了一种无水氢氟酸生产用立式冷凝器，包括冷却箱、进气单元和冷却单元；冷却箱：下侧面上固定有安装桶，所述安装桶的管壁上开设有均匀分布的安装槽，所述安装槽的内部安装有半导体制冷片，所述冷却箱右侧面的上端固定有U形管，所述U形管与...

本实用新型涉及一种硅晶圆刻蚀装置。采用的技术方案是：包括刻蚀装置外壳、控制面板、硅晶圆承载机构、滴胶机构、均布机构、氮气平布机构、检测箱和恒温恒湿机构，所述硅晶圆承载机构上部设置有所述滴胶机构，所述滴胶机构一侧设置有所述均布机构，所述均...

本发明公开了一种超纯水制备系统，其包括依次连接的预处理系统、脱盐系统和精处理系统，所述的预处理系统包括依次通过管路连接的自来水箱、多介质过滤塔、活性炭过滤器和一级精密过滤器，所述的脱盐系统包括依次通过管路连接的反渗透装置、反渗透水箱、紫...

本发明公开了一种BOE蚀刻液，按照质量百分比包括以下组分，氢氟酸2％～15％、氟化铵5％～45％、硝酸2％～9％、醋酸0.5％～2％、超纯水26％～90％和渗透剂0.5％～3％；所述的蚀刻液中注入有氢气。本发明通过在蚀刻剂中通入微量氢气...

本发明公开了一种超纯水制备系统及其制备工艺，其包括依次连接的预处理系统、脱盐系统和精处理系统，所述的预处理系统包括依次通过管路连接的自来水箱、多介质过滤塔、活性炭过滤器和一级精密过滤器，所述的脱盐系统包括依次通过管路连接的反渗透装置、反...

本实用新型公开了电子级氢氟酸蒸馏加热系统，包括蒸馏塔、热水控制塔和冷却器，蒸馏塔包括第三罐体，第三罐体内侧设有不锈钢罐体，不锈钢罐体内侧设有第一罐体，第一罐体内设有盘管，第一罐体的内腔底部固定有环形加热管；该系统通过改变蒸馏内胆的设计，...

本实用新型公开了无水氢氟酸初反应物料量控制装置，所述支架的顶部从上至下依次设有贮藏仓、缓冲仓和计量仓，所述贮藏仓的底部通过第一排料管连通于缓冲仓的入料口，所述缓冲仓的出料口通过第二排料管连通于计量仓的入料口，所述计量仓内设有失重称。该装...

本实用新型公开了超净高效电子级氢氟酸提纯装置，包括第一化学处理槽，所述第一化学处理槽的一侧从左至右横向依次排列有第一蒸馏塔、第一冷凝槽、第一输送泵、第二化学处理槽、第二蒸馏塔、第二冷凝槽、第二输送泵、第三化学处理槽、第三蒸馏塔、第三冷凝...

本实用新型公开了无水氢氟酸尾气处理装置，包括第一箱体、多级水洗槽、湍球塔、第一抽气泵、第二抽气泵、第三抽气泵、第四抽气泵、多级电石渣碱洗槽和多级氢氧化钠碱洗槽，第一箱体的内部两侧分别设有冷却炉和斗提机，冷却炉的一侧连通有贯穿第一箱体的进...

本发明公开了高安全稳定电子级氢氟酸精馏换热装置，托架的顶部设有换热器本体，固定架的内侧顶部固定有固定座，固定座的底部固定有螺纹杆，螺纹杆分别贯穿换热器本体和托架，换热器本体的上部和托架的底部均设有与螺纹杆的外侧螺纹连接的螺母，支撑板的顶...

本发明公开了一种蚀刻及清洗级氟化铵的制备方法，包括以下制备步骤：(1)高纯氨的制备；(2)高纯水的制备；(3)电子级氢氟酸的制备；(4)将步骤(1)制备的高纯氨通入装有步骤(3)制得的电子级氢氟酸溶液的合成槽中，进行气液相一步反应生成氟...

本发明公开了一种电子级氢氟酸的制备方法，包括以下制备步骤：(1)高纯氟化氢气体的制备；(2)高纯水的制备；(3)将步骤(1)制得的高纯氟化氢气体和步骤(2)制得的高纯水一起进入吸收塔中，在吸收塔中氟化氢气体与高纯水充分接触吸收，制成高纯...

本实用新型公开了一种用于电子级氢氟酸蒸馏系统的精馏换热装置，包括至少两个换热器，换热器设有冷流体进口管、热流体进口管、冷流体出口管和热流体出口管，换热器的外部安装有保护框架，换热器纵向叠加固定于保护框架中，换热器的上下两侧均设有刚性连接...

本实用新型公开了一种无水氢氟酸生产线转炉出气系统，包括转炉和总管，转炉设有出气管，出气管与总管之间设有出气支管，转炉外部安装有管道分布框架，管道分布框架的内侧固定连接有固定座，固定座活动连接有定位支架，定位支架固定连接有第一U型固定夹，...