本技术提供一种利用三氯氢硅制备高纯硅烷气的装置，涉及化工技术领域。该装置包括分离单元、歧化单元和提纯单元，所述分离单元包括精馏分离塔和歧化反应器一，所述歧化单元包括加热器和歧化反应器二，所述提纯单元包括多级冷凝器、精制塔和纯化器。本发明...

本技术提供汽化器及汽化系统，涉及化工设备领域。汽化器包括壳体，壳体的下端设置有液体进口，壳体的上端设置有气体出口，壳体内部设置有管板、换热管和电加热器，上管板和下管板之间竖直设置有若干个换热管，电加热器分布于若干个换热管的间隙内，通过电...

本发明提供了一种用于多晶硅冷氢化装置的四氯化硅汽化系统及汽化工艺，涉及多晶硅技术领域。所述汽化系统包括：混合器和汽化器；所述汽化器包括壳体、设置在壳体内部的换热器，以及上进料管和下进料管；所述换热器包括换热管和设置在换热管两端的管板，所...

本发明提供了一种三氯氢硅歧化反应催化剂的再生方法及再生装置，涉及催化剂再生的技术领域，包括以下步骤：歧化反应后失活的树脂催化剂先通过再生液A进行浸泡并鼓泡，之后洗涤至中性，然后再通过再生液B进行浸泡并鼓泡，之后再洗涤至中性，干燥，得到再...